CN216511312U - 低压扩散花篮工装六轴搬运机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂，六轴机械手臂一端固定安装有连接套筒，连接套筒的一端转动连接有拿取装置；拿取装置包括安装板，安装板转动连接于连接套筒的一端，安装板的一侧对称滑动连接有夹板，安装板的一侧安装有定位板，安装板的一侧对称固定连接有气缸，气缸的输出端传动连接有固定板，固定板的一侧设置连接有连接板，连接板的一侧设置有多个连接螺栓。本实用新型利用六轴机械手臂和拿取装置的配合使用，六轴机械手臂可以带动拿取装置在一定的空间内部移动，从而实现自动拿取搬运装有硅片的花篮，从而解放劳动力，提高其工作效率，进而提高其实用性能。

Description

低压扩散花篮工装六轴搬运机构

技术领域

本实用新型涉及搬运机构领域，特别涉及低压扩散花篮工装六轴搬运机构。

背景技术

硅片目前，在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管，这是多学科协同努力的结晶，是科学技术进步 的又一个里程碑，微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的，在对硅片原料加工使，无论是上料，还是下料，行业内一直以来都是人工搬运花篮，随着花篮工装高度越来越高，且自重已高达8公斤/个，频繁的搬运，都操作人员劳动强度是个严重的考验，导致客户端人员太累，流失严重，从而降低其实用性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供低压扩散花篮工装六轴搬运机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂，所述六轴机械手臂一端固定安装有连接套筒，所述连接套筒的一端转动连接有拿取装置；

所述拿取装置包括安装板，所述安装板转动连接于连接套筒的一端，所述安装板的一侧对称滑动连接有夹板，所述安装板的一侧安装有定位板。

优选的，所述安装板的一侧对称固定连接有气缸，所述气缸的输出端传动连接有固定板。

优选的，所述固定板的一侧设置连接有连接板，所述连接板的一侧设置有多个连接螺栓，所述连接板一侧的边侧通过连接螺栓与固定板固定连接，所述连接板一侧的另一边侧通过连接螺栓与夹板固定连接。

优选的，所述气缸的一侧固定连接有滑块，所述固定板的一侧开设有滑槽，所述滑块的外壁与滑槽的内腔滑动套接。

优选的，所述定位板的一侧对称固定连接有两个连接杆，所述连接杆的外壁与安装板滑动穿插套接。

优选的，所述连接套筒的内腔转动套接有传动轴，所述安装板一侧的中部固定连接有连接轴，所述连接轴的一端固定套接有固定套环，所述固定套环的一侧呈环形阵列等距设置有多个固定螺栓，所述固定套环通过固定螺栓与传动轴固定连接。

优选的，所述连接套筒的一端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端与传动轴传动连接。

本实用新型的技术效果和优点：

（1）本实用新型利用六轴机械手臂和拿取装置的配合使用，六轴机械手臂可以带动拿取装置在一定的空间内部移动，从而实现自动拿取搬运装有硅片的花篮，从而解放劳动力，提高其工作效率，进而提高其实用性能；

（2）本实用新型利用连接套筒、传动轴、伺服电机、连接轴和拿取装置的设置方式，伺服电机可以通过传动轴和连接轴带动拿取装置转动，从而就可以使对花篮进行翻转，从而使花篮处于不同的状态吗，进而便于将花篮中的硅片倒出，或者将花盘竖直摆放承载硅片。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图。

图3为本实用新型图1中B处放大结构示意图。

图中：1、六轴机械手臂；2、连接套筒；3、拿取装置；31、安装板；32、连接板；33、夹板；35、气缸；36、滑块；37、固定板；38、连接杆；39、定位板；4、传动轴；5、连接轴；6、固定套环；7、固定螺栓；8、伺服电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂1，六轴机械手臂1一端固定安装有连接套筒2，连接套筒2的一端转动连接有拿取装置3；

拿取装置3包括安装板31，安装板31转动连接于连接套筒2的一端，安装板31的一侧对称滑动连接有夹板33，安装板31的一侧安装有定位板39，定位板39的一侧对称固定连接有两个连接杆38，连接杆38的外壁与安装板31滑动穿插套接，安装板31一侧的中部可以安装液压缸，从而可以带动定位板39移动，从而便于将两个夹板33之间的花篮竖直推出。

安装板31的一侧对称固定连接有气缸35，气缸35的输出端传动连接有固定板37，固定板37的一侧设置连接有连接板32，连接板32的一侧设置有多个连接螺栓，连接板32一侧的边侧通过连接螺栓与固定板37固定连接，连接板32一侧的另一边侧通过连接螺栓与夹板33固定连接，其中一个夹板33的一侧固定连接有多个限位杆，限位杆的外壁与其中另一个夹板33滑动穿插套接，从而多个限位杆可以对两个夹板33之间的花篮进行位置限定，避免两个夹板33对其夹紧运输时，其从两个夹板33之间掉落，气缸35的一侧固定连接有滑块36，滑块36可以对固定板37进行位置限定，从而保证两个夹板33运动的稳定性，固定板37的一侧开设有滑槽，滑块36的外壁与滑槽的内腔滑动套接。

连接套筒2的内腔转动套接有传动轴4，安装板31一侧的中部固定连接有连接轴5，连接轴5的一端固定套接有固定套环6，固定套环6的一侧呈环形阵列等距设置有多个固定螺栓7，固定套环6通过固定螺栓7与传动轴4固定连接，连接套筒2的一端固定连接有伺服电机8，伺服电机8的输出端与传动轴4传动连接，伺服电机8通过连接套筒2、传动轴4和连接轴5带动拿取装置3转动，从而使拿取装置3带动花篮处于竖直或平行状态，从而便于将其中花篮中的硅片排出，或者向花篮内部存放硅片。

气缸35、伺服电机8和液压缸分别通过外接的气缸开关、伺服电机开关和液压缸开关与外部电源电性连接。

本实用新型工作原理：当对竖直摆放并存有硅片的花篮进行拿取时，首先六轴机械手臂1通过连接套筒2、传动轴4和连接轴5带动拿取装置3移动到花篮附近，然后打开伺服电机开关，伺服电机8通过连接套筒2、传动轴4和连接轴5带动拿取装置3转动，使其处于竖直状态，然后移动拿取装置3，使两个夹板33分别夹取在花篮的的顶部和底部，然后打开气缸开关，气缸35通过固定板37和连接板32带动夹板33运动，从而使两个夹板33夹紧在花篮的顶部和底部，然后六轴机械手臂1带动拿取装置3和花篮移动到硅片加工区域，然后伺服电机8通过连接套筒2、传动轴4和连接轴5带动拿取装置3转动，使拿取装置3带动花篮处于水平状态，并且使拿取装置3与花篮分离，从而便于花篮中的硅片取出加工，花篮中的硅片取出之后，拿取装置3在六轴机械手臂1、伺服电机8、连接套筒2、传动轴4和连接轴5的作用下将花篮竖直摆放在硅片排出设备的底部，使花篮继续承载硅片。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂（1），其特征在于，所述六轴机械手臂（1）一端固定安装有连接套筒（2），所述连接套筒（2）的一端转动连接有拿取装置（3）；

所述拿取装置（3）包括安装板（31），所述安装板（31）转动连接于连接套筒（2）的一端，所述安装板（31）的一侧对称滑动连接有夹板（33），所述安装板（31）的一侧安装有定位板（39）。

2.根据权利要求1所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述安装板（31）的一侧对称固定连接有气缸（35），所述气缸（35）的输出端传动连接有固定板（37）。

3.根据权利要求2所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述固定板（37）的一侧设置连接有连接板（32），所述连接板（32）的一侧设置有多个连接螺栓，所述连接板（32）一侧的边侧通过连接螺栓与固定板（37）固定连接，所述连接板（32）一侧的另一边侧通过连接螺栓与夹板（33）固定连接。

4.根据权利要求2所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述气缸（35）的一侧固定连接有滑块（36），所述固定板（37）的一侧开设有滑槽，所述滑块（36）的外壁与滑槽的内腔滑动套接。

5.根据权利要求1所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述定位板（39）的一侧对称固定连接有两个连接杆（38），所述连接杆（38）的外壁与安装板（31）滑动穿插套接。

6.根据权利要求1所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述连接套筒（2）的内腔转动套接有传动轴（4），所述安装板（31）一侧的中部固定连接有连接轴（5），所述连接轴（5）的一端固定套接有固定套环（6），所述固定套环（6）的一侧呈环形阵列等距设置有多个固定螺栓（7），所述固定套环（6）通过固定螺栓（7）与传动轴（4）固定连接。

7.根据权利要求6所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述连接套筒（2）的一端固定连接有伺服电机（8），所述伺服电机（8）的输出端与传动轴（4）传动连接。

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