CN216494315U

CN216494315U - 一种存储柜的定位块

Info

Publication number: CN216494315U
Application number: CN202220097850.8U
Authority: CN
Inventors: 徐彬; 张叶; 范敏军
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2022-01-14
Filing date: 2022-01-14
Publication date: 2022-05-13
Anticipated expiration: 2032-01-14

Abstract

本实用新型提供的一种存储柜的定位块，包括第一定位面、第二定位面和第三定位面；第一定位面和第二定位面相交，第一定位面和第三定位面相交，第二定位面和第三定位面相交，第三定位面位于第一定位面的底部和第二定位面的底部；定位块设置有用于固定的安装孔；存储柜包括固定座、导轨、入口和内壁，导轨位于存储柜的入口和存储柜的内壁之间；传送盒包括第一拐角，第一拐角靠近存储柜的内壁并且远离存储柜的入口；当固定座位于存储柜的入口位置时，传送盒的第一拐角通过第一定位面和第二定位面的导向作用被放置在固定座的上表面上。所述定位块对FOUP等传送盒可以进行导向和定位，方便将传送盒放置在固定座上，从而提高生产效率。

Description

一种存储柜的定位块

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种存储柜的定位块。

背景技术

晶圆在加工完成后需要放入FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)中存放，一个FOUP中可以存放多片晶圆，FOUP需要放入存储柜(stocker，存储柜)中存放。有些型号的存储柜需要人工手动将FOUP搬运至存储柜的固定座上，固定座安装在导轨上，当FOUP放好之后，固定座带着FOUP一起向存储柜的内部移动。例如，型号为弥费的晶圆存储柜(FOUP stocker，晶圆存储柜)采用人工手动将FOUP搬运至存储柜的固定座上，固定座的上表面设置三个定位柱，FOUP的下表面设置有三个定位孔，通过所述三个定位柱和所述三个定位孔对FOUP进行定位，使FOUP固定在固定座上。

然而，在放置FOUP时，由于FOUP阻挡视线，操作人员不能直接目视FOUP的底面，导致调节FOUP位置的时间较长，如果FOUP的定位孔与固定座的定位柱没有定准，存储柜入口的安全光栅触可能被触发，从而引起机台停机或发生故障。

实用新型内容

本实用新型提供了一种存储柜的定位块，以解决FOUP不方便放在固定座上的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种存储柜的定位块，包括第一定位面、第二定位面和第三定位面；所述第一定位面和所述第二定位面相交，所述第一定位面和所述第三定位面相交，所述第二定位面和所述第三定位面相交，所述第三定位面位于所述第一定位面的底部和所述第二定位面的底部；所述定位块设置有用于固定的安装孔；

所述存储柜包括固定座、导轨、入口和内壁，所述固定座安装在所述导轨上，所述固定座在所述导轨上可移动，所述导轨位于所述存储柜的入口和所述存储柜的内壁之间；所述固定座用于固定传送盒；所述传送盒包括第一拐角，所述第一拐角靠近所述存储柜的内壁并且远离所述存储柜的入口；所述导轨的一端靠近所述存储柜的入口，另一端远离所述存储柜的入口；所述第一拐角靠近所述导轨的一端，所述第一拐角与所述导轨的另一端的距离大于所述导轨的长度；所述定位块固定在所述存储柜的内壁上或者固定在所述内壁和所述导轨之间；所述第三定位面与所述固定座的上表面平行，所述第三定位面所在的高度等于或低于所述固定座的上表面所在的高度；当所述固定座位于所述存储柜的入口位置时，所述传送盒的第一拐角通过所述第一定位面和所述第二定位面的导向作用被放置在所述固定座的上表面上。

可选的，所述第一拐角包括三个相互垂直的三个面；所述第一定位面和所述第二定位面垂直相交，所述第一定位面和所述第三定位面垂直相交，所述第二定位面和所述第三定位面垂直相交。

可选的，当所述传送盒放置在所述固定座的上表面时，所述第一拐角的顶点和所述第一侧面之间的距离为a，所述第一拐角的顶点和所述第二侧面的距离为b，所述a满足0＜a≤2mm，所述b满足0＜b≤2mm。

可选的，所述第一定位面的上边线与所述第二定位面的上边线在同一平面上，所述第一定位面的下边线所在的高度低于所述第三定位面的下边线所在的高度。

可选的，所述定位块还包括安装面，所述安装面与所述第二定位面平行且与所述第三定位面垂直，所述安装面位于所述第三定位面的底部，所述安装孔垂直贯穿所述安装面。

可选的，所述安装孔为通孔，所述安装孔的个数为多个。

可选的，所述安装面与所述存储柜的内壁之间的距离大于所述第二定位面与所述存储柜的内壁之间的距离。

可选的，所述传送盒为前开式晶圆传送盒。

可选的，所述传送盒为存放光罩的传送盒。

可选的，所述固定座的上表面设置有多个定位柱，所述传送盒的下表面设置有多个与所述定位柱相配合的定位孔。

本实用新型提供的一种存储柜的定位块，可以安装在存储柜的入口位置，对FOUP等传送盒可以进行导向和定位，方便将传送盒放置在固定座上，从而提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的一种存储柜的定位块的结构示意图。

图2是图1的主视图。

图3是图1的右视图。

图4是本实用新型一实施例提供的一种存储柜的定位块安装在存储柜的内壁上的俯视示意图。

[附图标记说明如下]：

定位块-1、存储柜-2；

第一定位面-11、第二定位面-12、第三定位面-13、安装孔-14、安装面-15；

固定座-21、导轨-22、入口-23、内壁-24；

定位柱-211。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种存储柜的定位块作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

如图1～图4所示，本实施例提供了一种存储柜的定位块1，包括第一定位面11、第二定位面12和第三定位面13；所述第一定位面11和所述第二定位面12相交，所述第一定位面11和所述第三定位面13相交，所述第二定位面12和所述第三定位面13相交，所述第三定位面13位于所述第一定位面11的底部和所述第二定位面12的底部；所述定位块1设置有用于固定的安装孔14；所述存储柜2包括固定座21、导轨22、入口23和内壁24，所述固定座21安装在所述导轨22上，所述固定座21在所述导轨22上可移动，所述导轨22位于所述存储柜2的入口23和所述存储柜2的内壁24之间；所述固定座21用于固定传送盒；所述传送盒包括第一拐角，所述第一拐角靠近所述存储柜2的内壁24并且远离所述存储柜2的入口23；所述导轨22的一端靠近所述存储柜2的入口23，另一端远离所述存储柜2的入口23；所述第一拐角靠近所述导轨22的一端，所述第一拐角与所述导轨22的另一端的距离大于所述导轨22的长度；所述定位块1固定在所述存储柜2的内壁24上或者固定在所述内壁24和所述导轨22之间；所述第三定位面13与所述固定座21的上表面平行，所述第三定位面13所在的高度等于或低于所述固定座21的上表面所在的高度；当所述固定座21位于所述存储柜2的入口23位置时，所述传送盒的第一拐角通过所述第一定位面11和所述第二定位面12的导向作用被放置在所述固定座21的上表面上。

其中，所述传送盒可以是存放晶圆的FOUP，也可以是存放光罩(reticle)的盒子，也可以是存放其它部件的盒子；当所述导轨22的一端位于所述存储柜2的入口23位置，另一端位于所述存储柜2的右侧时，所述第一拐角是所述传送盒的左下拐角，所述定位块1位于所述导轨22的左后侧；当所述导轨22的一端位于所述存储柜2的入口23位置，另一端位于所述存储柜2的左侧时，所述第一拐角是所述传送盒的右下拐角，所述定位块1位于所述导轨22的右后侧。

本实施例提供的一种存储柜的定位块1，可以安装在存储柜2的入口位置，对FOUP等传送盒可以进行导向和定位，方便将传送盒放置在固定座21上，从而提高生产效率。

可选的，如图1～图3所示，所述第一拐角包括三个相互垂直的三个面；所述第一定位面11和所述第二定位面12垂直相交，所述第一定位面11和所述第三定位面13垂直相交，所述第二定位面12和所述第三定位面13垂直相交。目前的传送盒的拐角通常是直角型的，所述第一定位面11、所述第二定位面12和所述第三定位面13制作成直角型，可以对所述传送盒进行导向和定位。在其它实施例中，当所述传送盒的第一拐角的形状为其它形状时，所述第一定位面11、所述第二定位面12和所述第三定位面13围成的形状可以进行适当的变化，使围成的空间能够容纳所述第一拐角并对所述第一拐角进行导向和定位，所述第一定位面11、所述第二定位面12和所述第三定位面13两两之间可以垂直或者接近垂直。

可选的，参考图1～图4所示，当所述传送盒放置在所述固定座21的上表面时，所述第一拐角的顶点和所述第一侧面之间的距离为a，所述第一拐角的顶点和所述第二侧面的距离为b，所述a满足0＜a≤2mm，所述b满足0＜b≤2mm。其中，所述第一拐角的顶点是指所述第一拐角包括的三个面的交点。由于所述传送盒放置在所述固定座21上之后，所述固定座21通常还要被提升后再在所述导轨22上移动，所述a满足0＜a≤2mm，所述b满足0＜b≤2mm，这样既可以防止所述第一定位面11和所述第二定位面12与所述第一拐角产生摩擦，又可以起到较好的导向和定位作用。

可选的，如图1～图3所示，所述第一定位面11的上边线与所述第二定位面12的上边线在同一平面上，所述第一定位面11的下边线所在的高度低于所述第三定位面13的下边线所在的高度。所述第一定位面11沿竖直方向的高度高于所述第二定位面12的高度和所述第三定位面13的高度之和，这样可以使所述定位块1具有更好的导向和定位作用。

可选的，如图1～图3所示，所述定位块1还包括安装面15，所述安装面15与所述第二定位面12平行且与所述第三定位面13垂直，所述安装面15位于所述第三定位面13的底部，所述安装孔14垂直贯穿所述安装面15。设置所述安装面15可以防止用于固定所述定位块1的螺丝与所述传送盒干涉。在其它实施例中，所述安装孔14也可以设置在所述第二定位面12上。

可选的，如图1～图3所示，所述安装孔14为通孔，所述安装孔14的个数为多个。这样可以使所述定位块1被牢固的固定。

可选的，如图1～图4所示，所述安装面15与所述存储柜2的内壁24之间的距离大于所述第二定位面12与所述存储柜2的内壁24之间的距离。所述安装面15位于所述定位块1的底部，所述定位块1的底部的厚度大于上部的厚度，这样可以提高所述定位块1的强度。

可选的，所述传送盒为前开式晶圆传送盒。所述传送盒可以是符合semi(Semiconductor Equipment and Materials International，半导体设备与材料的国际性组织)标准中各种类型的FOUP，例如所述FOUP可以是弥费的FOUP、信越的FOUP或Entegris(英特格)等厂家的FOUP。

可选的，参考图1～图4所示，所述传送盒为存放光罩的传送盒。当所述传送盒为存放光罩(reticle)的传送盒时，所述存储柜2为存放光罩的存储柜，所述定位块1的尺寸可以根据存放光罩的传送盒的尺寸和存放光罩的存储柜的尺寸进行调整。

可选的，如图4所示，所述固定座21的上表面设置有多个定位柱211，所述传送盒的下表面设置有多个与所述定位柱211相配合的定位孔。这样可以对所述传送盒进行方向定位，防止所述传送盒放置偏斜。

综上所述，本实用新型提供的一种存储柜的定位块1，可以安装在存储柜2的入口位置，对FOUP等传送盒可以进行导向和定位，方便将传送盒放置在固定座21上，从而提高生产效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种存储柜的定位块，其特征在于，包括第一定位面、第二定位面和第三定位面；所述第一定位面和所述第二定位面相交，所述第一定位面和所述第三定位面相交，所述第二定位面和所述第三定位面相交，所述第三定位面位于所述第一定位面的底部和所述第二定位面的底部；所述定位块设置有用于固定的安装孔；

2.如权利要求1所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述第一拐角包括三个相互垂直的三个面；所述第一定位面和所述第二定位面垂直相交，所述第一定位面和所述第三定位面垂直相交，所述第二定位面和所述第三定位面垂直相交。

3.如权利要求2所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，当所述传送盒放置在所述固定座的上表面时，所述第一拐角的顶点和所述第一侧面之间的距离为a，所述第一拐角的顶点和所述第二侧面的距离为b，所述a满足0＜a≤2mm，所述b满足0＜b≤2mm。

4.如权利要求3所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述第一定位面的上边线与所述第二定位面的上边线在同一平面上，所述第一定位面的下边线所在的高度低于所述第三定位面的下边线所在的高度。

5.如权利要求4所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述定位块还包括安装面，所述安装面与所述第二定位面平行且与所述第三定位面垂直，所述安装面位于所述第三定位面的底部，所述安装孔垂直贯穿所述安装面。

6.如权利要求5所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述安装孔为通孔，所述安装孔的个数为多个。

7.如权利要求5所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述安装面与所述存储柜的内壁之间的距离大于所述第二定位面与所述存储柜的内壁之间的距离。

8.如权利要求1所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述传送盒为前开式晶圆传送盒。

9.如权利要求1所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述传送盒为存放光罩的传送盒。

10.如权利要求1所述的一种存储柜的定位块，其特征在于，所述固定座的上表面设置有多个定位柱，所述传送盒的下表面设置有多个与所述定位柱相配合的定位孔。