CN216426769U - 还原炉钟罩密封结构及还原炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种还原炉钟罩密封结构及还原炉,涉及多晶硅还原炉技术领域,主要目的是避免拆炉倒棒和人员踩踏对底盘垫片造成损坏。本实用新型的主要技术方案为:还原炉钟罩密封结构,其包括:底盘垫片和钟罩法兰体;所述底盘垫片的上表面径向宽度大于所述底盘垫片的下表面径向宽度;所述钟罩法兰体的下端面设有安装槽,所述安装槽的径向尺寸吻合于所述底盘垫片的径向尺寸,用于将所述底盘垫片嵌设于所述安装槽内。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅还原炉技术领域,尤其涉及一种还原炉钟罩密封结构及还原炉。
背景技术
在生产多晶硅的生产技术中,改良西门子法为主要的生产方法。多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备,也是决定系统产能、安全的关键环节。
在多晶硅生产中,还原炉炉内温度1080-1100°,TCS和氢气在还原炉钟罩内部反应。还原炉主要由钟罩、底盘组成一密闭容器,底盘大垫片安装在钟罩和底盘之间,外面由底盘大螺栓紧固连接。
还原炉底盘大垫片直径比较大,在三米多左右,价格比较贵。前期一直放在底盘表面,材质为高温橡胶。但由于在生产多晶硅的过程中,在拆炉提开钟罩时,有些多晶硅棒倒炉,导致底盘大垫片被砸坏砸断,垫片密封面受到损害,再起不到密封作用而报废。而且垫片安装在底盘上,只能硅棒拆卸后才能把垫片取下,导致在拆棒过程中,由于人员踩踏等因素,垫片极易损坏,导致使用寿命不长。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供一种还原炉密封结构及还原炉,主要目的是避免拆炉倒棒和人员踩踏对底盘垫片造成损坏。
为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:
一方面,本实用新型提供了一种还原炉钟罩密封结构,其包括:底盘垫片和钟罩法兰体;
所述底盘垫片的上表面径向宽度大于所述底盘垫片的下表面径向宽度;
所述钟罩法兰体的下端面设有安装槽,所述安装槽的径向尺寸吻合于所述底盘垫片的径向尺寸,用于将所述底盘垫片嵌设于所述安装槽内。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
可选的,所述底盘垫片的径向截面呈倒置的等腰梯形。
可选的,还包括环形通道,所述环形通道设置于所述钟罩法兰体内部,所述环形通道位于所述安装槽上方的对应位置,所述环形通道设有径向挡板,所述环形通道的外侧面分别连接于冷却水进水管和冷却水出水管,所述冷却水进水管和所述冷却水出水管分别位于所述径向挡板的相对侧。
可选的,所述钟罩法兰体包括一体成型的上法兰体和下凸台,所述上法兰体的法兰孔位于所述下凸台的外围,所述环形通道位于所述下凸台内部,所述安装槽位于所述下凸台的下端面。
另一方面,本实用新型还提供了一种还原炉,其包括:底盘和前述还原炉钟罩密封结构,所述钟罩法兰体通过螺栓连接于所述底盘。
借由上述技术方案,本实用新型至少具有下列优点:
因为底盘垫片的上表面径向宽度大于底盘垫片的下表面径向宽度,当底盘垫片嵌设于安装槽内后,在还原炉拆炉的过程中,起吊钟罩时,底盘垫片不会脱离安装槽,底盘垫片随着钟罩一起被吊离还原炉底盘。
所以,在还原炉拆炉的过程中,即使发生多晶硅倒棒现象,多晶硅棒也不会砸伤底盘垫片;同时,操作人员在拆棒的过程中,人员踩踏底盘,也不会影响到底盘垫片。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种还原炉钟罩密封结构的侧视剖面图;
图2为图1中A部分的放大图;
图3为图1中B部分的放大图;
图4为还原炉的侧视图;
图5为图4中C部分的放大图;
图6为环形通道的部分俯视剖面图。
说明书附图中的附图标记包括:底盘垫片1、钟罩法兰体2、安装槽3、环形通道4、冷却水进水管5、冷却水出水管6、径向挡板7、上法兰体201、下凸台202、法兰孔203、底盘8。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图1、图2、图3、图4、图5所示,一方面,本实用新型的一个实施例提供的一种还原炉钟罩密封结构,其包括:底盘垫片1和钟罩法兰体2;
所述底盘垫片1的上表面径向宽度大于所述底盘垫片1的下表面径向宽度;
所述钟罩法兰体2的下端面设有安装槽3,所述安装槽3的径向尺寸吻合于所述底盘垫片1的径向尺寸,用于将所述底盘垫片1嵌设于所述安装槽3内。
还原炉钟罩密封结构工作过程如下:
因为底盘垫片1的上表面径向宽度大于底盘垫片1的下表面径向宽度,当底盘垫片1嵌设于安装槽3内后,在还原炉拆炉的过程中,起吊钟罩时,底盘垫片1不会脱离安装槽3,底盘垫片1随着钟罩一起被吊离还原炉底盘8。
所以,在还原炉拆炉的过程中,即使发生多晶硅倒棒现象,多晶硅棒也不会砸伤底盘垫片1;同时,操作人员在拆棒的过程中,人员踩踏底盘8,也不会影响到底盘垫片1。
在本实用新型的技术方案中,通过将底盘垫片1嵌设于安装槽3内,以使底盘垫片1能够随钟罩一起移动,避免了现有技术中底盘垫片1损坏的情况。
具体的,底盘垫片1的三分之二位于安装槽3内,底盘垫片1的三分之一位于安装槽3外部。当钟罩固定安装于底盘8上时,底盘垫片1被挤压,底盘垫片1位于安装槽3外部的部分起到密封钟罩法兰体2和底盘8之间间隙的目的。
具体的,底盘垫片1采用高温橡胶材质。
如图2和图3所示,在具体实施方式中,所述底盘垫片1的径向截面呈倒置的等腰梯形。
在本实施方式中,具体的,底盘垫片1的径向截面为对称图形,当底盘垫片1受到挤压的时候,底盘垫片1的内缘和外缘抵紧安装槽3内侧壁的程度相同,提高了底盘垫片1在安装槽3内的稳定性。
具体的,底盘垫片1的径向截面的倒置等腰梯形的上端相对侧的顶角大于80°,小于90°;所述安装槽3的径向尺寸吻合于所述底盘垫片1的径向尺寸,安装槽3的径向截面的倒置等腰梯形的上端相对侧的顶角大于80°,小于90°。顶角大于80°,安装槽3径向内顶面的宽度略大于安装槽3下端槽口的宽度,便于降低操作人员将底盘垫片1自槽口嵌入安装槽3内的难度;顶角小于90°,避免嵌入安装槽3的底盘垫片1掉落出来。
如图1、图3、图6所示,在具体实施方式中,还包括环形通道4,所述环形通道4设置于所述钟罩法兰体2内部,所述环形通道4位于所述安装槽3上方的对应位置,所述环形通道4设有径向挡板7,所述环形通道4的外侧面分别连接于冷却水进水管5和冷却水出水管6,所述冷却水进水管5和所述冷却水出水管6分别位于所述径向挡板7的相对侧。
在本实施方式中,具体的,外界循环冷却水自冷却水进水管5进入环形通道4,经冷却水出水管6流出环形通道4,从而对安装槽3上方对应区域进行换热,径向挡板7避免环形通道4内换热前后的冷却水窜流。
具体的,径向挡板7沿环形通道4的宽度方向延伸,并焊接于环形通道4的内侧壁,从而阻止径向挡板7两侧的冷却水混流。
如图1和图3所示,在具体实施方式中,所述钟罩法兰体2包括一体成型的上法兰体201和下凸台202,所述上法兰体201的法兰孔203位于所述下凸台202的外围,所述环形通道4位于所述下凸台202内部,所述安装槽3位于所述下凸台202的下端面。
在本实施方式中,具体的,上法兰体201的中轴线重合于下凸台202的中轴线。当螺栓穿过上法兰体201边缘的法兰孔203,并螺纹连接于底盘8后,在还原炉运行前做气密性测试,操作人员观察下凸台202的下端面的外缘,及时发现下凸台202和底盘8间隙处的底盘垫片1是否有泄漏位置,通过加大压紧力或者更换底盘垫片1的方式来处理。
如图1至图6所示,另一方面,本实用新型的另一个实施例还提供了一种还原炉,其包括:底盘8和前述还原炉钟罩密封结构,所述钟罩法兰体2通过螺栓连接于所述底盘8。
在本实施方式中,具体的,采用本钟罩密封结构的还原炉,避免导致底盘垫片1损坏的因素(被倒棒砸伤,或者被人员踩踏),减少了辅材损耗,增加了底盘垫片1的使用次数,降低了生产成本。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种还原炉钟罩密封结构,其特征在于,包括:
底盘垫片,所述底盘垫片的上表面径向宽度大于所述底盘垫片的下表面径向宽度;
钟罩法兰体,所述钟罩法兰体的下端面设有安装槽,所述安装槽的径向尺寸吻合于所述底盘垫片的径向尺寸,用于将所述底盘垫片嵌设于所述安装槽内。
2.根据权利要求1所述的还原炉钟罩密封结构,其特征在于,
所述底盘垫片的径向截面呈倒置的等腰梯形。
3.根据权利要求1所述的还原炉钟罩密封结构,其特征在于,
还包括环形通道,所述环形通道设置于所述钟罩法兰体内部,所述环形通道位于所述安装槽上方的对应位置,所述环形通道设有径向挡板,所述环形通道的外侧面分别连接于冷却水进水管和冷却水出水管,所述冷却水进水管和所述冷却水出水管分别位于所述径向挡板的相对侧。
4.根据权利要求3所述的还原炉钟罩密封结构,其特征在于,
所述钟罩法兰体包括一体成型的上法兰体和下凸台,所述上法兰体的法兰孔位于所述下凸台的外围,所述环形通道位于所述下凸台内部,所述安装槽位于所述下凸台的下端面。
5.一种还原炉,其特征在于,包括:
底盘和权利要求1至4任一项所述的还原炉钟罩密封结构,所述钟罩法兰体通过螺栓连接于所述底盘。
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CN202123264168.8U CN216426769U (zh) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | 还原炉钟罩密封结构及还原炉 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN117658147A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-03-08 | 内蒙古大全半导体有限公司 | 一种还原炉钟罩及多晶硅还原炉 |
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2021
- 2021-12-23 CN CN202123264168.8U patent/CN216426769U/zh active Active
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