CN216208650U - 基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构 - Google Patents

Abstract

一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，包括机架和补光灯，机架上垂直设置有导轨，在机架上导轨的一侧设置有主动轮和从动轮，主动轮和从动轮通过张紧的同步带传动，从动轮与机架转动连接，主动轮与机架内的电机的转轴固定连接，所述同步带上靠近导轨的一侧设有齿套，齿套与连杆一端固定连接，连杆的另一端与导轨上适配的滑块固定连接，所述连杆上设有固定套，固定套内固定连接有垂直设置的吸杆，所述机架底部设有补光灯，与现有技术相比，适用于人工免疫技术检测芯片表面缺陷时暗场灯光的布置需要，且减少机械手的运动轨迹。

Description

基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构

技术领域

本实用新型涉及芯片表面缺陷检测技术领域，特别涉及一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构。

背景技术

人工免疫算法主要包括：基于免疫特异性的否定选择算法、基于克隆选择学说的克隆算法、基于免疫网络学说的人工免疫网络模型等，而针对数字图像处理领域中的重要且关键的图像分割问题，应用免疫克隆选择优化的智能信息处理手段设计新的图像分割方法，可以解决了图像分割中存在的一些问题。

在使用机械手提取芯片移至特殊光照组合环境下，并由CCD相机采集图像的过程中，特殊光照组合环境设备布置复杂，即包括远离芯片的明场照明设备，又包括靠近芯片的暗场照明设备，此种情况下机械手行动轨迹严重受限，且各类设备布置的集中度低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，适用人工免疫技术检测芯片表面缺陷时暗场灯光的布置需要，且减少机械手的运动轨迹。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，包括用于与机械手连接的机架和用于提供暗场光照明的补光灯，机架上垂直设置有导轨，导轨的一侧设置有主动轮和从动轮，主动轮和从动轮通过张紧的同步带传动，从动轮与机架转动连接，主动轮与机架内的电机的转轴固定连接，所述同步带上靠近导轨的一侧设有齿套，齿套与连杆一端固定连接，连杆的另一端与导轨上适配的滑块固定连接，所述连杆上设有固定套，固定套内固定连接有垂直设置的吸杆，吸杆顶部设有与气管适配的气动接头，底部设有弹性的吸嘴，所述机架底部设有补光灯。

作为进一步改进，所述补光灯的照射光为直射光，照射角度与水平面成5~10°夹角向上照射。

作为进一步改进，所护补光灯为圆环形，补光灯发出的照射光为环形向中心照射。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构中，通过吸杆提取芯片，再移动至补光灯内，补光灯发出的暗场直射光照射在芯片表面金属部缺陷处反射的光线进入相机多，可以获得芯片金属部缺陷处清晰图像，便于算法进一步处理；使补光灯设置在吸嘴上方，机械手的运动轨迹就主要以水平运动为主，不仅降低设备成本，也减少编程难度，可以很好适用于人工免疫技术检测芯片表面金属部缺陷时暗场灯光的布置需要；机械手、照明设备、芯片托盘、CCD相机等设备布置的集中度也显著提高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的另一角度结构示意图。

图3为本实用新型常态下吸嘴位置的示意图。

图4为本实用新型在使用人工免疫技术检测芯片表面缺陷时吸嘴位置的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

如图1至图2所示，一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，包括机架1和补光灯7，机架1上垂直设置有导轨12，在机架1上导轨12的一侧设置有主动轮3和从动轮4，主动轮3和从动轮4通过张紧的同步带5传动，从动轮4与机架1转动连接，主动轮3与机架1内的电机2的转轴固定连接，所述同步带5上靠近导轨12的一侧设有齿套51，齿套51与连杆52一端固定连接，连杆52的另一端与导轨12上适配的滑块13固定连接，所述连杆52上设有固定套53，固定套53内固定连接有垂直设置的吸杆6，吸杆6顶部设有气动接头62，底部设有弹性的吸嘴63，所述机架1底部设有补光灯7，为了避免曝光过度，优选光源为蓝色和红色LED灯珠交替设置，被补光灯7外壳约束，发出的光线为平行的直射光。

所述机架1顶部设有与机械手适配的法兰11，所述机架1上在吸杆6的移动方向设有轴套14、15，所述吸杆6从轴套14、15中穿过，所述轴套14顶面设有限位套61，限位套61与吸杆6外部固定连接，所述补光灯7上设有与内部电路板电气连接的电气接头71。

电机2转动可调节同步带5移动，其上的齿套51通过连杆52与滑块13连动，固定在滑块13上的固定套53带动吸杆6沿导轨12延申方向上、下移动，在吸嘴63吸取芯片8后，吸杆6向上位移，使吸嘴63底部位于补光灯7内。

如图3至图4所示，所述补光灯7的照射光为直射光，照射角度与水平面成5~10°夹角向上照射，所护补光灯7为圆环形，补光灯7发出的照射光为环形向中心照射，所述吸嘴63最大向上位移不超过补光灯7顶面，补光灯7发出的暗场直射光照射在芯片8表面金属部缺陷处反射的光线进入相机多，可以获得芯片8金属部缺陷处清晰图像，便于算法进一步处理。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，包括机架（1）和补光灯（7），其特征在于，机架（1）上垂直设置有导轨（12），在机架（1）上导轨（12）的一侧设置有主动轮（3）和从动轮（4），主动轮（3）和从动轮（4）通过张紧的同步带（5）传动，从动轮（4）与机架（1）转动连接，主动轮（3）与机架（1）内的电机（2）的转轴固定连接，所述同步带（5）上靠近导轨（12）的一侧设有齿套（51），齿套（51）与连杆（52）一端固定连接，连杆（52）的另一端与导轨（12）上适配的滑块（13）固定连接，所述连杆（52）上设有固定套（53），固定套（53）内固定连接有垂直设置的吸杆（6），所述机架（1）底部设有补光灯（7）；

所述吸杆（6）顶部设有气动接头（62），底部设有弹性的吸嘴（63）。

2.根据权利要求1所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述补光灯（7）的照射光为直射光，照射角度与水平面成5~10°夹角向上照射。

3.根据权利要求1或2任一项所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所护补光灯（7）为圆环形，补光灯（7）发出的照射光为环形向中心照射。

4.根据权利要求1所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述机架（1）顶部设有与机械手适配的法兰（11）。

5.根据权利要求1所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述机架（1）上在吸杆（6）的移动方向设有轴套（14、15），所述吸杆（6）从轴套（14、15）中穿过。

6.根据权利要求5所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述轴套（14）顶面设有限位套（61），限位套（61）与吸杆（6）外部固定连接。

7.根据权利要求1所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述补光灯（7）上设有与内部电路板电气连接的电气接头（71）。

8.根据权利要求1所述的基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构，其特征在于，所述吸嘴（63）最大向上位移不超过补光灯（7）顶面。

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