CN216192697U - 气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种气相沉积设备，包括沉积室、预抽管道、节流阀、节流阀控制器和冷却装置，预抽管道连通于沉积室，节流阀设置于预抽管道中，节流阀控制器设置于预抽管道外并连接于节流阀，冷却装置包括进气总管、分气管和若干分支管道，进气总管连通于供气装置，用于引入冷却气体；分气管的进气口连通于进气总管，分气管具有若干出气口；若干分支管道沿第一方向间隔设置，每个分支管道环设于节流阀控制器的外周，若干分支管道与若干出气口一一对应连通，分支管道上开设有喷气口，喷气口朝向节流阀控制器设置。该气相沉积设备的节流阀控制器的冷却效率较高，冷却效果好，保证节流阀控制器的通信正常，从而保证气相沉积设备的正常工作和工作效率。

Description

气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及面板制造设备技术领域，尤其涉及一种气相沉积设备。

背景技术

Chemical Vapor Deposition(CVD)工程是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，其主要通过两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。为了形成均匀的薄膜，需要在真空状态下维持恒定的压力，在这个过程中，如果调节压力的节流阀控制器过载而发生热量，会发生通信异常，或因匹配压力与输入不同而导致设备故障或不良。而现有技术中，对节流阀控制器冷却大都是采用氮气对其中部分区域进行冷却。现有技术存在以下缺陷：对节流阀控制器的部分冷却，使得节流阀控制器温度分布部均匀，温度较大的地方依然较高，容易发生通信异常等，从而造成设备故障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种气相沉积设备，其对节流阀控制器的冷却效率较高，冷却效果较高，保证节流阀控制器的通信正常，从而保证气相沉积设备的正常工作和工作效率。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种气相沉积设备，包括沉积室、预抽管道、节流阀和节流阀控制器，所述预抽管道连通于所述沉积室，所述节流阀设置于所述预抽管道内，所述节流阀控制器设置于所述预抽管道外并与所述节流阀连接，还包括冷却装置，所述冷却装置包括：

进气总管，连通于供气装置，用于引入冷却气体；

分气管，进气口连通于所述进气总管，所述分气管具有若干出气口；

若干分支管道，沿第一方向间隔设置，每个所述分支管道均环设于所述节流阀控制器的外周，若干所述分支管道与若干所述出气口一一对应连通，所述分支管道上开设有喷气口，所述喷气口朝向所述节流阀控制器设置。

作为一种气相沉积设备的优选方案，若干所述分支管道间隔且均匀分布。

作为一种气相沉积设备的优选方案，每个所述分支管道上均开设有若干喷气口，若干所述喷气口沿所述分支管道的内周间隔设置。

作为一种气相沉积设备的优选方案，若干所述喷气口沿所述分支管道的长内周朝向所述节流阀控制器的外周均匀环设。

作为一种气相沉积设备的优选方案，还包括：

喷嘴，连通于所述喷气口，所述喷嘴朝向所述节流阀控制器设置。

作为一种气相沉积设备的优选方案，所述喷嘴与所述喷气口之间通过伸缩软管连通。

作为一种气相沉积设备的优选方案，还包括：

导流管，所述导流管连通于所述喷嘴和所述伸缩软管之间。

作为一种气相沉积设备的优选方案，还包括：

若干阀门，一一对应设置于若干所述分支管道的进气口。

作为一种气相沉积设备的优选方案，所述供气装置为干燥压缩空气装置。

作为一种气相沉积设备的优选方案，还包括：

过滤装置，所述过滤装置设置于所述供气装置的进气口。

本实用新型的有益效果为：通过进气总管引入供气装置的冷却气体，然后经由分气管分送至若干分支管道中，最后由分支管道上的喷气口对着节流阀控制器喷出冷却气体，以对节流阀控制器进行冷却降温，保证节流阀控制器的通信正常，使得节流阀控制器能够精准控制预抽管道中的节流阀，保证对预抽管道中的气流控制，从而保证气相沉积设备的正常工作和工作效率。在上述结构下，将多个分支管道间隔环设在节流阀控制器的外周，能够对节流阀控制器的各处进行冷却，提高冷却均匀性和冷却效率。同时，通过分气管道分至若干分支管道中，使得冷却气体进入各个分支管道中的流量相差较小，对节流阀控制器的冷却较为均匀，提高冷却效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的气相沉积设备的部分结构的侧视图。

图2是本实用新型实施例提供的冷却装置的主视图。

图3是本实用新型实施例提供的冷却装置的结构示意图。

图1至图3中：

1、进气总管；2、分气管；3、分支管道；4、喷嘴；5、伸缩软管；6、导流管；

10、节流阀控制器；20、预抽管道；30、喷气口。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图1至图3所示，本实施例提供一种气相沉积设备，该气相沉积设备包括沉积室、预抽管道20、节流阀和节流阀控制器10，预抽管道20连通于沉积室，节流阀设置于预抽管道20内，节流阀控制器10设置于预抽管道20外并与节流阀连接，该气相沉积设备还包括冷却装置，冷却装置包括进气总管1、分气管2和若干分支管道3，进气总管1连通于供气装置，用于引入冷却气体；分气管2的进气口连通于进气总管1，分气管2具有若干出气口；若干分支管道3沿第一方向间隔设置，每个分支管道3均环设于节流阀控制器10的外周，若干分支管道3与若干出气口一一对应连通，分支管道3上开设有喷气口30，喷气口30朝向节流阀控制器10设置。通过进气总管1引入供气装置的冷却气体，然后经由分气管2分送至若干分支管道3中，最后由分支管道3上的喷气口30对着节流阀控制器10喷出冷却气体，以对节流阀控制器10进行冷却降温，保证节流阀控制器10的通信正常，使得节流阀控制器10能够精准控制预抽管道20中的节流阀，保证对预抽管道20中的气流控制，从而保证气相沉积设备的正常工作和工作效率。在上述结构下，将多个分支管道3间隔环设在节流阀控制器10的外周，能够对节流阀控制器10的各处进行冷却，提高冷却均匀性和冷却效率。同时，通过分气管2道分至若干分支管道3中，使得冷却气体进入各个分支管道3中的流量相差较小，对节流阀控制器10的冷却较为均匀，提高冷却效率。示例性地，分支管道3设置有三个，三个分支管道3间隔设置。当然，在其它实施例中，分支管道3的数量可以根据实际情况设计，例如根据节流阀控制器10的大小设置。

通过在节流阀控制器10外周设置上述的冷却装置，使得节流阀控制器10温度保持正常，避免过载而发热导致通信异常，或因匹配压力与输入不同而导致设备故障或不良等。提高节流阀控制器10的使用寿命，保证节流阀控制器10能够正常工作，以保证其精确控制预抽管道20内的节流阀，从而提高气相沉积设备的工作稳定性。

优选地，供气装置的进气口设置有过滤装置。过滤装置能够对进入供气装置的气体进行过滤，避免供气装置损坏，以及避免供气装置输送至进气总管1的气体杂质较多，影响冷却效率，甚至损坏节流阀控制器10。

可选地，供气装置为干燥压缩空气装置，可选用冷干机或吸干机制取干燥压缩空气。

优选地，若干分支管道3间隔且均匀分布。均匀分布在节流阀控制器10的外周的分支管道3，使得冷却气体能够对节流阀控制器10均匀冷却，避免节流阀控制器10出现部分温度过高部分温度过低的情况，保证节流阀控制器10的工作正常。

优选地，分支管道3呈圆形。分支管道3呈圆形设置便于内部的冷却气体的流动，减少压损，使得冷却气体能够快速地从喷气口30喷向节流阀控制器10，提高冷却效率。且圆形设置的分支管道3能够使得内部气流分布均匀，提高冷却均匀性。

如图2所示，进一步地，所述分支管道3上均开设有若干喷气口30，若干喷气口30沿分支管道3的长度方向间隔设置。分支管道3中的冷却气体沿分支管道3流动过程中，从多个喷气口30喷向节流阀控制器10，设置多个喷气口30使得冷却气体能够对节流阀控制器10的多个面进行冷却，使得节流阀控制温度分布均匀，提高节流阀控制器10的使用寿命，保证节流阀控制器10的正常工作。

优选地，每个喷气口30均连通有一个喷嘴4，喷嘴4朝向节流阀控制器10设置。冷却气体经过喷嘴4能够更加均匀快速地喷向节流阀控制器10，提高冷却效率。更为优选地，喷嘴4和喷气口30之间通过伸缩软管5连通。通过调整伸缩软管5的伸缩长度，实现喷嘴4与节流阀控制器10之间的距离调节，从而实现冷却量的调整，以及能够适用于不同尺寸的节流阀控制器10。同时，还可以通过调整该伸缩软管5的弯曲角度，实现喷嘴4朝向的调整，以实现根据实际需求进行精确冷却，提高冷却效率。

如图3所示，为了便于伸缩软管5的连接以及提高其稳固性，每个喷气口30连通有一个导流管6，导流管6连通在喷气口30和伸缩软管5之间，使得伸缩软管5能够稳定连接在导流管6上，避免脱落，同时也便于伸缩软管5的拆装，节省人力成本。

更进一步地，该气相沉积设备还包括若干阀门(图中未示出)，若干阀门一一对应设置于若干分支管道3的进气口。通过控制阀门的启闭实现控制每个分支管道3的通断，从而控制对节流阀控制器10的冷却的冷却量和冷却位置，实现精准冷却，节能环保。本实施例中，进气总管1中也设置有总阀门，控制全部冷却气体的通断。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种气相沉积设备，包括沉积室、预抽管道、节流阀和节流阀控制器，所述预抽管道连通于所述沉积室，所述节流阀设置于所述预抽管道内，所述节流阀控制器设置于所述预抽管道外并与所述节流阀连接，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置包括：

进气总管，连通于供气装置，用于引入冷却气体；

分气管，进气口连通于所述进气总管，所述分气管具有若干出气口；

若干分支管道，沿第一方向间隔设置，每个所述分支管道均环设于所述节流阀控制器的外周，若干所述分支管道与若干所述出气口一一对应连通，所述分支管道上开设有喷气口，所述喷气口朝向所述节流阀控制器设置。

2.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，若干所述分支管道间隔且均匀分布。

3.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，每个所述分支管道上均开设有若干喷气口，若干所述喷气口沿所述分支管道的内周间隔设置。

4.根据权利要求3所述的气相沉积设备，其特征在于，若干所述喷气口沿所述分支管道的内周朝向所述节流阀控制器的外周均匀环设。

5.根据权利要求3所述的气相沉积设备，其特征在于，还包括：

喷嘴，连通于所述喷气口，所述喷嘴朝向所述节流阀控制器设置。

6.根据权利要求5所述的气相沉积设备，其特征在于，所述喷嘴与所述喷气口之间通过伸缩软管连通。

7.根据权利要求6所述的气相沉积设备，其特征在于，还包括：

导流管，所述导流管连通于所述喷嘴和所述伸缩软管之间。

8.根据权利要求1-7任一项所述的气相沉积设备，其特征在于，还包括：

若干阀门，一一对应设置于若干所述分支管道的进气口。

9.根据权利要求1-7任一项所述的气相沉积设备，其特征在于，所述供气装置为干燥压缩空气装置。

10.根据权利要求1-7任一项所述的气相沉积设备，其特征在于，还包括：

过滤装置，所述过滤装置设置于所述供气装置的进气口。

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