CN216185199U - 运输推车 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种运输推车，用于运输装载晶圆的晶舟盒，其包括：安装架和存放装置，存放装置设置在安装架，存放装置包括相对设置的第一支撑表面和第二支撑表面，第一支撑表面的内端与第二支撑表面的内端相连，第一支撑表面和第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置，第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度，第一支撑表面与第二支撑表面之间形成存储空间；晶舟盒放置在存储空间时，晶舟盒的底面与第二支撑表面贴合，晶舟盒的一侧面与第一支撑表面接触，以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面。本申请不仅能够较好地固定晶舟盒，保障晶圆的品质，而且结构简单。

Description

运输推车

技术领域

本申请涉及晶圆转运领域，尤其涉及一种运输推车。

背景技术

目前，晶圆广泛应用在我们生活之中。在晶圆制造行业中，晶圆的转运主要利用运输推车来进行，然而行业中的运输推车主要配置水平放置的储存平面，在使用时，将装有晶圆的晶舟盒放置在运输推车上水平放置的储存平面，在运输时，晶舟盒没有较好地被固定，容易发生晃动、摆动等现象，尤其是对于一些厚度较薄晶圆，极易导致晶圆破片、裂片等风险，会出现产品品质异常，若严重影响产品出货品质，则会给公司造成赔偿损失及信誉损伤。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种运输推车，不仅能够较好地固定晶舟盒，保障晶圆的品质，而且结构简单。

为实现上述目的，本申请提供一种运输推车，用于运输装载晶圆的晶舟盒，所述运输推车包括：

安装架，所述安装架的底端安装有车轮；

存放装置，所述存放装置设置在所述安装架，所述存放装置包括相对设置的第一支撑表面和第二支撑表面，所述第一支撑表面的内端与所述第二支撑表面的内端相连，所述第一支撑表面和所述第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置，所述第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度，所述第一支撑表面与所述第二支撑表面之间形成存储空间；

所述晶舟盒放置在所述存储空间时，所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面贴合，所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面接触，以使存放在所述晶舟盒中的晶圆的重心偏向所述第一支撑表面。

可选地，所述第一支撑表面的长度小于所述第二支撑表面的长度。

可选地，所述第一支撑表面与所述第二支撑表面之间的角度与所述晶舟盒的底面与侧面之间的角度匹配。

可选地，所述第一支撑表面和/或所述第二支撑表面设置有感应器，所述感应器被配置为检测所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面是否贴合和/或所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面是否接触。

可选地，所述存储空间设置有分隔板，所述分隔板连接在所述第一支撑表面和所述第二支撑表面，所述分隔板被配置为将所述存储空间分格，以将所述晶舟盒相隔开。

可选地，所述第一支撑表面和/或所述第二支撑表面铺设有防滑面。

可选地，所述第一支撑表面与所述第二支撑表面在与推车前进或后退方向垂直的左右方向上倾斜。

可选地，所述第一支撑表面和所述第二支撑表面分别设置有前限位件和后限位件，所述前限位件和所述后限位件被配置为于所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面贴合以及所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面接触时，将所述晶舟盒限位在其间。

可选地，所述第一支撑表面形成在第一支撑台，所述第二支撑表面形成在第二支撑台，所述第一支撑台和所述第二支撑台呈直角三棱柱，所述第一支撑台的斜面和所述第二支撑台的斜面分别形成所述第一支撑表面和第二支撑表面；

所述安装架包括位于其上端的矩形安装槽，所述第一支撑台和所述第二支撑台可分离地安装在所述矩形安装槽，所述第一支撑台的两直角面和所述第二支撑台的两直角面分别贴合在所述矩形安装槽的两侧壁和底壁，所述第一支撑台的一锐角与所述第二支撑台的一锐角相接触。

在本申请中，安装架设置有存放装置，存放装置设置有第一支撑表面和第二支撑表面，第一支撑表面的内端与第二支撑表面的内端相连，第一支撑表面和第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置，第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度，第一支撑表面与第二支撑表面之间形成存储空间。在使用时，只需将晶舟盒放置在存储空间，晶舟盒的底面与第二支撑表面贴合，晶舟盒的一侧面与第一支撑表面接触，以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面，能够在运输推车移动时，晶舟盒依旧保持在原来位置，避免里面晶圆的晃动。因此，本申请不仅能够较好地固定晶舟盒，保障晶圆的品质，而且结构简单。

附图说明

图1是本申请实施例运输推车的立体结构图。

图2是图1所示运输推车隐藏部分结构后的结构图。

图3是图1所述运输推车的侧面图。

具体实施方式

为了详细说明本申请的技术内容、构造特征，以下结合实施例并配合附图作进一步说明。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型和简化描述，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。

请参阅图1至图3，本申请提供一种运输推车，用于运输装载晶圆的晶舟盒，运输推车包括安装架1和存放装置2。安装架1的底端安装有车轮11。存放装置2设置在安装架1，存放装置2包括相对设置的第一支撑表面21和第二支撑表面22，第一支撑表面21的内端与第二支撑表面22的内端相连，第一支撑表面21和第二支撑表面22自内而外呈向上倾斜设置，第一支撑表面21的倾斜程度大于第二支撑表面22的倾斜程度，第一支撑表面21与第二支撑表面22之间形成存储空间3。

晶舟盒放置在存储空间3时，晶舟盒的底面与第二支撑表面22贴合，晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触，以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面21。

在本申请中，安装架1设置有存放装置2，存放装置2设置有第一支撑表面 21和第二支撑表面22，第一支撑表面21的内端与第二支撑表面22的内端相连，第一支撑表面21和第二支撑表面22自内而外呈向上倾斜设置，第一支撑表面 21的倾斜程度大于第二支撑表面22的倾斜程度，第一支撑表面21与第二支撑表面22之间形成存储空间3。在使用时，只需将晶舟盒放置在存储空间3，晶舟盒的底面与第二支撑表面22贴合，晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触，以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面21，能够在运输推车移动时，晶舟盒依旧保持在原来位置，避免里面晶圆的晃动。因此，本申请不仅能够较好地固定晶舟盒，保障晶圆的品质，而且结构简单。

进一步地，第一支撑表面21的长度小于第二支撑表面22的长度。

通过将第一支撑表面21的长度设置为小于第二支撑表面22的长度，有利于晶舟盒放置在存储空间3时，更好地将存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面21，避免晶圆被压坏。

具体地，第一支撑表面21的长度和第二支撑表面22的长度均大于晶舟盒的长度，能够保证晶舟盒的底面与第二支撑表面22贴合，以及晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触，让存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面21。

进一步地，第一支撑表面21与第二支撑表面22之间的角度A与晶舟盒的底面与侧面之间的角度匹配。

通过设置第一支撑表面21与第二支撑表面22之间的角度A与晶舟盒的底面与侧面之间的角度匹配，能够更好地将晶舟盒固定在存储空间3，保障晶圆的品质。

请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，第一支撑表面21和/或第二支撑表面22设置有感应器4，感应器4被配置为检测晶舟盒的底面与第二支撑表面22是否贴合和/或晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21是否接触。

通过设置感应器4，能够检测晶舟盒的摆放情况，以确保晶舟盒的底面与第二支撑表面22贴合，以及晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触，有利于更好地将晶舟盒固定在存储空间3，保障晶圆的品质，增强稳定性。

具体地，感应器4可以是光学感应器，当晶舟盒的底面与第二支撑表面22 贴合和/或晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触时，感应器4检测不到光线。相反地，当晶舟盒的底面与第二支撑表面22未贴合和/或晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21未接触时，感应器4检测到光线。当然，感应器4还可以是其他具体形式，在此不作限定。

请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，存储空间3设置有分隔板31，分隔板31连接在第一支撑表面21和第二支撑表面22，分隔板31被配置为将存储空间3分格，以将晶舟盒相隔开。

通过设置分隔板31，能够将放置在存储空间3上的晶舟盒分隔开，使各晶舟盒均有独立的空间，避免在运输时，晶舟盒之间发生碰撞，保证晶舟盒和晶圆的品质。

在一些实施方式中，第一支撑表面21和/或第二支撑表面22铺设有防滑面 (图未示)。

通过在第一支撑表面21和第二支撑表面22的铺设防滑面，在第二支撑表面22与晶舟盒的底面贴合以及第一支撑表面21与晶舟盒的侧面接触时，避免在运输时晶舟盒的滑动，有利于稳定晶舟盒的固定。

请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，第一支撑表面21与第二支撑表面22在与推车前进或后退方向垂直的左右方向上倾斜。

通过设置第一支撑表面21与第二支撑表面22在与推车前进或后退方向垂直的左右方向上倾斜，能够避免晶舟盒中的晶圆随推车前进或后退方向晃动，保障晶圆的品质。

请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，第一支撑表面21和第二支撑表面22分别设置有前限位件23和后限位件24，前限位件23和后限位件24被配置为于晶舟盒的底面与第二支撑表面22贴合以及晶舟盒的一侧面与第一支撑表面21接触时，将晶舟盒限位在其间。

通过设置前限位件23和后限位件24，能够更好地固定晶舟盒，避免在推车前进或后退时跟随推车发生晃动。

请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，第一支撑表面21形成在第一支撑台210，第二支撑表面22形成在第二支撑台220，第一支撑台210和第二支撑台220呈直角三棱柱，第一支撑台210的斜面和第二支撑台220的斜面分别形成第一支撑表面21和第二支撑表面22；

安装架1包括位于其上端的矩形安装槽12，第一支撑台210和第二支撑台 220可分离地安装在矩形安装槽12，第一支撑台210的两直角面和第二支撑台 220的两直角面分别贴合在矩形安装槽12的两侧壁和底壁，第一支撑台210的一锐角与第二支撑台220的一锐角相接触。

通过上述技术手段，可以根据不同需求，自行更换、拆卸第一支撑台210 和第二支撑台220，适用于不同的场景，增加便捷性，同时结构简单。

以上所揭露的仅为本申请的较佳实例而已，不能以此来限定本申请之权利范围，因此依本申请权利要求所作的等同变化，均属于本申请所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种运输推车，用于运输装载晶圆的晶舟盒，其特征在于，所述运输推车包括：

安装架，所述安装架的底端安装有车轮；

存放装置，所述存放装置设置在所述安装架，所述存放装置包括相对设置的第一支撑表面和第二支撑表面，所述第一支撑表面的内端与所述第二支撑表面的内端相连，所述第一支撑表面和所述第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置，所述第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度，所述第一支撑表面与所述第二支撑表面之间形成存储空间；

所述晶舟盒放置在所述存储空间时，所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面贴合，所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面接触，以使存放在所述晶舟盒中的晶圆的重心偏向所述第一支撑表面。

2.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面的长度小于所述第二支撑表面的长度。

3.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面与所述第二支撑表面之间的角度与所述晶舟盒的底面与侧面之间的角度匹配。

4.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面和/或所述第二支撑表面设置有感应器，所述感应器被配置为检测所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面是否贴合和/或所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面是否接触。

5.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述存储空间设置有分隔板，所述分隔板连接在所述第一支撑表面和所述第二支撑表面，所述分隔板被配置为将所述存储空间分格，以将所述晶舟盒相隔开。

6.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面和/或所述第二支撑表面铺设有防滑面。

7.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面与所述第二支撑表面在与推车前进或后退方向垂直的左右方向上倾斜。

8.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面和所述第二支撑表面分别设置有前限位件和后限位件，所述前限位件和所述后限位件被配置为于所述晶舟盒的底面与所述第二支撑表面贴合以及所述晶舟盒的一侧面与所述第一支撑表面接触时，将所述晶舟盒限位在其间。

9.如权利要求1所述的运输推车，其特征在于，

所述第一支撑表面形成在第一支撑台，所述第二支撑表面形成在第二支撑台，所述第一支撑台和所述第二支撑台呈直角三棱柱，所述第一支撑台的斜面和所述第二支撑台的斜面分别形成所述第一支撑表面和第二支撑表面；

所述安装架包括位于其上端的矩形安装槽，所述第一支撑台和所述第二支撑台可分离地安装在所述矩形安装槽，所述第一支撑台的两直角面和所述第二支撑台的两直角面分别贴合在所述矩形安装槽的两侧壁和底壁，所述第一支撑台的一锐角与所述第二支撑台的一锐角相接触。

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