CN216173886U - 一种集成电路生产用基片涂层烘干设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，涉及集成电路生产技术领域。该集成电路生产用基片涂层烘干设备，包括机箱、升降机构和烘干机构，所述机箱的内壁固定安装有两个固定隔板，机箱的内部设置有升降隔板，升降隔板与机箱和固定隔板相接触，机箱的内部设置有移动板。通过固定隔板和升降隔板的配合使用，可以使机箱的内部分为进料区、加热区和取料区，再通过固定板、转动杆、转动齿、带齿长杆和伺服电机的配合使用，可以对升降隔板进行升降，从而调节进料区、加热区和取料区的相通，在进取料的过程中，降低加热区内部温度的散失，使下次基片烘干过程中，需要减少烘干时间，保障烘干装置内部的温度和基片的固化程度。

Description

一种集成电路生产用基片涂层烘干设备

技术领域

本实用新型涉及集成电路生产技术领域，特别涉及一种集成电路生产用基片涂层烘干设备。

背景技术

集成电路在生产过程中，会在集成电路上的基片的表面涂抹防水涂层，以提高集成电路的抗腐蚀能力，在低温环境中，防水涂层的固化速度较为缓慢，会影响集成电路的生产速度，而市场上的部分涂层烘干装置在使用的过程中，需要频繁的对基片进行取料，导致烘干装置内的热量散失，使下次基片烘干过程中，需要延长烘干时间，以保证烘干装置内部的温度和固化程度，因此，发明一种集成电路生产用基片涂层烘干设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，能够解决频繁的对基片进行取料，导致烘干装置内的热量散失的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，包括机箱、升降机构和烘干机构，所述机箱的内壁固定安装有两个固定隔板，机箱的内部设置有升降隔板，升降隔板与机箱和固定隔板相接触，机箱的内部设置有移动板，可以使机箱的内部分为进料区、加热区和取料区，移动板的下方设置有运输机构，机箱的内侧顶部固定安装有加热箱，机箱的底部设置有取风盒；

所述升降机构设置于升降隔板的顶部，升降机构可带动升降隔板进行升降，烘干机构设置于加热箱的内部与机箱的外壁。

优选的，所述升降机构包括固定板、转动杆、转动齿、带齿长杆和伺服电机，固定板、转动齿和带齿长杆均有两个，两个固定板均固定安装于机箱的顶部，转动杆转动安装于两个固定板的相邻侧壁，两个转动齿固定安装于转动杆的外壁，带齿长杆滑动安装于机箱的顶部，带齿长杆与升降隔板的顶部固定安装，带齿长杆与转动齿相啮合，伺服电机固定安装于固定板的一侧，伺服电机的输出轴通过联轴器贯穿固定板并与转动杆的一端固定安装，可以对升降隔板进行升降，从而调节进料区、加热区和取料区的相通，在进取料的过程中，降低加热区内部温度的散失，使下次基片烘干过程中，需要减少烘干时间，保障烘干装置内部的温度和基片的固化程度。

优选的，所述运输机构包括运输杆、运输辊、运输齿、运输链和电机，运输杆转动安装于机箱的前后侧内壁，运输辊固定安装于运输杆的外壁，运输杆的一端贯穿机箱的前侧并与运输齿固定安装，运输链套设于运输齿的外壁，运输齿通过运输链进行传动连接，电机固定安装于机箱的后侧，电机的输出轴通过联轴器贯穿机箱的后侧并与运输杆的一端固定安装，可以对移动板进行移动，从而对放置于移动板上的基片进行移动，使基片可以移动至各个区域，与便于对基片进行进料、加热及取料，提高该装置的使用性能。

优选的，所述烘干机构包括加热丝、风机、排气管和吸气管，加热丝固定安装于加热箱的两侧内壁，风机固定安装于机箱的顶部，排气管的一端与风机的输出端固定连接，排气管的另一端贯穿机箱的顶部并延伸加热箱的内部，吸气管的一端与风机的输入端固定连接，吸气管的另一端贯穿取风盒的底部并延伸至取风盒的内部，可以在加热区内部形成匀速流动的风，加快基片涂层的固化速度，从而加快集成电路的生产。

优选的，所述机箱的底部开设有吸气口，加热箱的底部开设有出气孔。

优选的，所述机箱的两侧均开设有开口，开口内均铰接安装有设备门，设备门的一侧均固定安装有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该集成电路生产用基片涂层烘干设备，通过固定隔板和升降隔板的配合使用，可以使机箱的内部分为进料区、加热区和取料区，再通过固定板、转动杆、转动齿、带齿长杆和伺服电机的配合使用，可以对升降隔板进行升降，从而调节进料区、加热区和取料区的相通，在进取料的过程中，降低加热区内部温度的散失，使下次基片烘干过程中，需要减少烘干时间，保障烘干装置内部的温度和基片的固化程度。

(2)、该集成电路生产用基片涂层烘干设备，通过运输杆、运输辊、运输齿、运输链和电机的配合使用，可以对移动板进行移动，从而对放置于移动板上的基片进行移动，使基片可以移动至各个区域，与便于对基片进行进料、加热及取料，提高该装置的使用性能，再通过加热丝、风机、排气管和吸气管的配合使用，可以在加热区内部形成匀速流动的热风，加快基片涂层的固化速度，从而加快集成电路的生产。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的运输辊俯视结构示意图；

图3为本实用新型的机箱右视结构示意图。

附图标记：机箱1、固定隔板2、升降隔板3、移动板4、加热箱5、取风盒6、升降机构7、固定板71、转动杆72、转动齿73、带齿长杆74、伺服电机75、运输机构8、运输杆81、运输辊82、运输齿83、运输链84、电机85、把手9、烘干机构10、加热丝101、风机102、排气管103、吸气管104、设备门11。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，包括机箱1、升降机构7和烘干机构10，机箱1的内壁固定安装有两个固定隔板2，机箱1的内部设置有升降隔板3，升降隔板3与机箱1和固定隔板2相接触，机箱1的内部设置有移动板4，可以使机箱1的内部分为进料区、加热区和取料区，移动板4的下方设置有运输机构8，机箱1的内侧顶部固定安装有加热箱5，机箱1的底部设置有取风盒6，升降机构7设置于升降隔板3的顶部，升降机构7可带动升降隔板3进行升降，烘干机构10设置于加热箱5的内部与机箱1的外壁。

进一步的，机箱1的底部开设有吸气口，加热箱5的底部开设有出气孔。

更进一步的，机箱1的两侧均开设有开口，开口内均铰接安装有设备门11，设备门11的一侧均固定安装有把手9。

实施例二：

请参阅图1-3，在实施例一的基础上，升降机构7包括固定板71、转动杆72、转动齿73、带齿长杆74和伺服电机75，固定板71、转动齿73和带齿长杆74均有两个，两个固定板71均固定安装于机箱1的顶部，转动杆72转动安装于两个固定板71的相邻侧壁，两个转动齿73固定安装于转动杆72的外壁，带齿长杆74滑动安装于机箱1的顶部，带齿长杆74与升降隔板3的顶部固定安装，带齿长杆74与转动齿73相啮合，伺服电机75固定安装于固定板71的一侧，伺服电机75的输出轴通过联轴器贯穿固定板71并与转动杆72的一端固定安装，启动伺服电机75，伺服电机75的输出轴带动转动杆72和转动齿73进行转动，转动齿73带动带齿长杆74和升降隔板3进行上升，从而调节进料区、加热区和取料区的相通，在进取料的过程中，降低加热区内部温度的散失，使下次基片烘干过程中，需要减少烘干时间，保障烘干装置内部的温度和基片的固化程度。

进一步的，运输机构8包括运输杆81、运输辊82、运输齿83、运输链84和电机85，运输杆81转动安装于机箱1的前后侧内壁，运输辊82固定安装于运输杆81的外壁，运输杆81的一端贯穿机箱1的前侧并与运输齿83固定安装，运输链84套设于运输齿83的外壁，运输齿83通过运输链84进行传动连接，电机85固定安装于机箱1的后侧，电机85的输出轴通过联轴器贯穿机箱1的后侧并与运输杆81的一端固定安装，启动电机85，电机85的输出轴带动一个运输杆81、运输辊82和运输齿83进行转动，运输齿83通过运输链84带动其他运输齿83、运输杆81和运输辊82进行转动，可以对移动板4进行移动，从而对放置于移动板4上的基片进行移动，使基片可以移动至各个区域，与便于对基片进行进料、加热及取料，提高该装置的使用性能。

更进一步的，烘干机构10包括加热丝101、风机102、排气管103和吸气管104，加热丝101固定安装于加热箱5的两侧内壁，风机102固定安装于机箱1的顶部，排气管103的一端与风机102的输出端固定连接，排气管103的另一端贯穿机箱1的顶部并延伸加热箱5的内部，吸气管104的一端与风机102的输入端固定连接，吸气管104的另一端贯穿取风盒6的底部并延伸至取风盒6的内部，启动加热丝101和风机102，加热丝101产生热量，而风机102通过吸气管104对机箱1的空气进行抽取，再通过排气管103将空气输送至加热箱5的内部，使加热丝101对空气加热，再通过加热箱5底部的出气孔排出，可以在加热区内部形成匀速流动的热风，加快基片涂层的固化速度，从而加快集成电路的生产。

工作原理：手动打开机箱1一侧的设备门11，将带有涂层的基片放置于进料区内的移动板4顶部，关闭设备门11，启动伺服电机75，伺服电机75的输出轴带动转动杆72和转动齿73进行转动，转动齿73带动带齿长杆74和升降隔板3进行上升，然后启动电机85，电机85的输出轴带动一个运输杆81、运输辊82和运输齿83进行转动，运输齿83通过运输链84带动其他运输齿83、运输杆81和运输辊82进行转动，从而使移动板4和基片移动至加热区，然后启动伺服电机75使加热区密闭，启动加热丝101和风机102，加热丝101产生热量，而风机102通过吸气管104对机箱1的空气进行抽取，再通过排气管103将空气输送至加热箱5的内部，使加热丝101对空气加热，再通过加热箱5底部的出气孔排出，对基片进行均匀烘干固化，固化后启动伺服电机75，使升降隔板3上升，再启动电机85，使移动板4和基片移动至取料区，再启动伺服电机75，使升降隔板3下降，打开机箱1另一侧的设备门11，取出基片并关闭设备门11。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (6)

1.一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，包括机箱(1)、升降机构(7)和烘干机构(10)，其特征在于：所述机箱(1)的内壁固定安装有两个固定隔板(2)，机箱(1)的内部设置有升降隔板(3)，升降隔板(3)与机箱(1)和固定隔板(2)相接触，机箱(1)的内部设置有移动板(4)，移动板(4)的下方设置有运输机构(8)，机箱(1)的内侧顶部固定安装有加热箱(5)，机箱(1)的底部设置有取风盒(6)；

所述升降机构(7)设置于升降隔板(3)的顶部，升降机构(7)可带动升降隔板(3)进行升降，烘干机构(10)设置于加热箱(5)的内部与机箱(1)的外壁。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，其特征在于：所述升降机构(7)包括固定板(71)、转动杆(72)、转动齿(73)、带齿长杆(74)和伺服电机(75)，固定板(71)、转动齿(73)和带齿长杆(74)均有两个，两个固定板(71)均固定安装于机箱(1)的顶部，转动杆(72)转动安装于两个固定板(71)的相邻侧壁，两个转动齿(73)固定安装于转动杆(72)的外壁，带齿长杆(74)滑动安装于机箱(1)的顶部，带齿长杆(74)与升降隔板(3)的顶部固定安装，带齿长杆(74)与转动齿(73)相啮合，伺服电机(75)固定安装于固定板(71)的一侧，伺服电机(75)的输出轴通过联轴器贯穿固定板(71)并与转动杆(72)的一端固定安装。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，其特征在于：所述运输机构(8)包括运输杆(81)、运输辊(82)、运输齿(83)、运输链(84)和电机(85)，运输杆(81)转动安装于机箱(1)的前后侧内壁，运输辊(82)固定安装于运输杆(81)的外壁，运输杆(81)的一端贯穿机箱(1)的前侧并与运输齿(83)固定安装，运输链(84)套设于运输齿(83)的外壁，运输齿(83)通过运输链(84)进行传动连接，电机(85)固定安装于机箱(1)的后侧，电机(85)的输出轴通过联轴器贯穿机箱(1)的后侧并与运输杆(81)的一端固定安装。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，其特征在于：所述烘干机构(10)包括加热丝(101)、风机(102)、排气管(103)和吸气管(104)，加热丝(101)固定安装于加热箱(5)的两侧内壁，风机(102)固定安装于机箱(1)的顶部，排气管(103)的一端与风机(102)的输出端固定连接，排气管(103)的另一端贯穿机箱(1)的顶部并延伸加热箱(5)的内部，吸气管(104)的一端与风机(102)的输入端固定连接，吸气管(104)的另一端贯穿取风盒(6)的底部并延伸至取风盒(6)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，其特征在于：所述机箱(1)的底部开设有吸气口，加热箱(5)的底部开设有出气孔。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干设备，其特征在于：所述机箱(1)的两侧均开设有开口，开口内均铰接安装有设备门(11)，设备门(11)的一侧均固定安装有把手(9)。

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