CN216173388U - 一种真空喷涂装置的靶材进出机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空喷涂装置的靶材进出机构，所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体，其特征在于：所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件，所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动；所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合实现自动将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。本实用新型能够实现在筒体外安装和拆卸靶材，大大降低了工人的劳动强度，提高了工作效率。

Description

一种真空喷涂装置的靶材进出机构

技术领域

本实用新型涉及真空喷涂装置，具体地涉及一种真空喷涂装置的靶材进出机构。

背景技术

真空喷涂装置广泛地应用于靶材的生产制造中。现有真空喷涂装置的靶材都是采用人工在筒体内进行安装和装卸，筒体内通常比较闷热，并且作业空间有限，工人容易感到疲劳，工作效率低。

发明内容

本实用新型旨在提供一种真空喷涂装置的靶材进出机构，以解决上述问题。为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种真空喷涂装置的靶材进出机构，所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体，其中，所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件，所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动；所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合实现自动将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。

进一步地，所述卧式真空筒体的进出料口安装有可转动打开的端盖。

进一步地，所述靶材转动行走组件包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。

进一步地，所述第一驱动装置包括第一电机、两个第一同步轮和第一同步传动带，所述第一电机固定在所述机架上，所述两个第一同步轮分别固定在所述第一电机的输出轴和所述转轴上，所述第一同步传动带环绕在所述两个第一同步轮上；以及所述第二驱动装置包括第二电机、两个第二同步轮和第二同步传动带，所述第二电机固定在所述机架上，所述两个第二同步轮中的一个固定在所述第二电机的输出轴上，另一个固定在所述机架上，所述第二同步传动带环绕在所述两个第二同步轮上，所述第一安装座与所述第二同步传动带固定连接。

进一步地，：所述进出料组件包括可移动支架、安装在所述可移动支架上的第三轨道和滑动接合在所述第三轨道的移动小车，所述第三轨道用于与所述第二轨道连接，所述移动小车通过遥控器控制，其上设有用于与所述第二安装座快速拆卸连接的结构。

进一步地，所述转轴是中空的，其自由端为出水口；所述靶材的自由端连接有进水管，所述转轴、所述进水管、所述靶材和所述靶材安装管一起构成一冷却通道，所述冷却通道可用于对所述靶材和所述靶材进行冷却。

进一步地，所述进水管安装在所述第二安装座上，通过法兰与所述靶材密封连接。

本实用新型采用上述技术方案，具有的有益效果是：本实用新型能够实现在筒体外安装和拆卸靶材，大大降低了工人的劳动强度，提高了工作效率。

附图说明

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

图1是本实用新型的一种真空喷涂装置的立体图；

图2是图1所示的真空喷涂装置的去除外罩后的立体图；

图3是图1所示的真空喷涂装置的局部剖切后的立体图；

图4是图1所示的真空喷涂装置的对中剖切后的立体图。

具体实施方式

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1和2所示，一种真空喷涂装置可包括机架1、卧式真空筒体2、等离子喷枪3和靶材进出机构等。机架1由钢材焊接而成。卧式真空筒体(以下简称筒体)2固定安装在机架1上。筒体2可以由不锈钢(例如，304L)制成，其内径小于500毫米，并且内壁抛光成半镜面或镜面(即，光洁度Ra≤1.5um)。筒体2可以分成多段再组装在一起，以方便加工，降低加工成本。筒体2外还设有相应可打开的护罩20，以保护员工作业安全。筒体2上设有操作口21、进出料口22、观察窗23和喷枪安装口。操作口21位于靠近筒体2左端的筒体侧面上，其上安装有可转动打开的密封盖210。密封盖210在进出料时打开，此时操作人员可以将转轴和靶材安装管连接或断开。进出料口22位于筒体2的右端，其上安装有可转动打开的端盖220。端盖220在进出料时打开，此时操作人员可以将未喷涂的靶材装入筒体2中或将喷涂好的靶材从筒体2中移出。观察窗23 与喷枪安装口安装在筒体2的同一圆周上，其中，喷枪安装口位于筒体2的侧面，用于安装等离子喷枪3。观察窗23与等离子喷枪3大致形成135度夹角，以方便观察等离子喷枪3的工作情况。

如图2-4所示，靶材进出机构包括靶材转动行走组件41和进出料组件42，所述靶材转动行走组件41部分安装在机架1上和部分安装在筒体2中，用于驱动固定在其靶材安装管410上的靶材100在筒体2内行走和转动。具体地，该靶材转动行走组件41包括第一轨道411、第二轨道412、第一安装座413和至少两个第二安装座414(示出3个)、空心转轴415、第一驱动装置416和第二驱动装置417。第一轨道411和第二轨道412分别安装在机架1上和筒体2内并在一直线上。第一安装座413和第二安装座414分别滑动接合在第一轨道411 和第二轨道412上。即，第一安装座413位于筒体2外，第二安装座414位于筒体2内。第一安装座413和第二安装座414的结构相同，呈小车状，可以沿第一轨道411和第二轨道412行走。为了防止第一安装座413和第二安装座414 在行走过程中跳动，第一安装座413和第二安装座414的顶部上还固定有滚轮 418，所述滚轮418与其上方的压杆419配合。转轴415可转动地(通过相应轴承和轴承座)安装第一安装座413和第二安装座414上，其一端与靶材安装管 410的一端连接，另一端为自由端。转轴415可以分成多段再通过法兰连接在一起，以方便加工，降低加工成本。靶材安装管410的另一端为自由端，使得靶材100可以从靶材安装管410的自由端套入并安装在靶材安装管410上，同时靶材100的末端可转动地安装在最末端的第二安装座414上。所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。因此，第一驱动装置带动靶材100旋转，以实现对靶材100的周向喷涂，当一圈喷涂完后，第二驱动装置带动靶材100沿轴向移动一个位置，进行下一圈喷涂，如此循环进行，直到整根靶材100喷涂好。

如图2所示，第一驱动装置416包括第一电机4161、两个第一同步轮4162a 和4162b和第一同步传动带4163。第一电机4161固定在机架1上，位于转轴 415的下方。两个第一同步轮4162a和4162b分别固定在第一电机4161的输出轴和转轴415上。两个第一同步轮4162a和4162b上下布置。第一同步传动带 4163环绕在两个第一同步轮4162a和4162b上。第一电机4161旋转，通过第一同步传动带4163带动转轴415旋转，进而带动靶材100旋转。同样地，第二驱动装置417包括第二电机4171、两个第二同步轮4172a和4172b和第二同步传动带4173。第二电机4171固定在机架1上，两个第二同步轮4172a和4172b中的一个4172a固定在第二电机4171的输出轴上，另一个4172b固定在机架1上。两个第二同步轮4172a和4172b左右布置(沿机架1的长度方向)。第二同步传动带4173环绕在两个第二同步轮4172a和4172b上，第一安装座413与第二同步传动带4173固定连接。因此，第二电机4171旋转，通过第二同步传动带4173 带动第一安装座413沿第一轨道411移动，进而带动靶材100在筒体内沿第二轨道412移动。第一电机4161和第二电机4171可以是伺服电机。

由于靶材100在喷涂过程中温度升高，并且使靶材安装管410温度也升高，这会使吸附在靶材安装管410上的氧释放。因此需要对其进行冷却。相应地，靶材转动行走机构上设有用于对靶材安装管410和靶材100进行冷却的第三水冷结构具体地，第二水冷结构由进水管4110、靶材100、靶材安装管410和转轴415构成，进水管410安装在第二安装座414上，通过法兰与靶材100密封连接，转轴415的自由端4150为出水口。也就是说，进水管4110、靶材100、靶材安装管410和转轴415彼此密封连接，其中心通孔形成一条过水通道，冷水从进水管4110进入，依次经过靶材100、靶材安装管410和转轴415，从转轴415的自由端流出，以对靶材安装管410和靶材100进行冷却，同时可以减小靶材安装管410的氧释放量。

进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合实现自动将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。具体地，进出料组件包括可移动支架421和安装在可移动支架421上的第三轨道422和滑动接合在第三轨道422的移动小车423，所述移动小车423可以通过遥控器控制。第三轨道422可以与第二轨道412连接。移动小车423上设有用于与第二安装座414快速拆卸连接的结构(例如，销孔配合)。进料时，可移动支架421移动到进出料口22，使第三轨道422与第二轨道412 连接，移动小车423与第二安装座414连接并将装好待喷涂靶材100的第二安装座414从第三轨道422移动到第二轨道412上，移动到位后，将移动小车与第二安装座414脱开，以及在操作窗口将转轴和靶材安装管连接好；出料时，在操作窗口将转轴和靶材安装管断开，将移动小车423与第二安装座414连接，操控移动小车将靶材100从筒体2内移出，无需在筒体2内进行太多作业，减少工人劳动强度。

尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内，在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化，均为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种真空喷涂装置的靶材进出机构，所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体，其特征在于：所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件，所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动；所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合自动实现将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。

2.如权利要求1所述的靶材进出机构，其特征在于：所述卧式真空筒体的进出料口安装有可转动打开的端盖。

3.如权利要求1所述的靶材进出机构，其特征在于：所述靶材转动行走组件包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。

4.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述第一驱动装置包括第一电机、两个第一同步轮和第一同步传动带，所述第一电机固定在所述机架上，所述两个第一同步轮分别固定在所述第一电机的输出轴和所述转轴上，所述第一同步传动带环绕在所述两个第一同步轮上；以及所述第二驱动装置包括第二电机、两个第二同步轮和第二同步传动带，所述第二电机固定在所述机架上，所述两个第二同步轮中的一个固定在所述第二电机的输出轴上，另一个固定在所述机架上，所述第二同步传动带环绕在所述两个第二同步轮上，所述第一安装座与所述第二同步传动带固定连接。

5.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述进出料组件包括可移动支架、安装在所述可移动支架上的第三轨道和滑动接合在所述第三轨道的移动小车，所述第三轨道用于与所述第二轨道连接，所述移动小车通过遥控器控制，其上设有用于与所述第二安装座快速拆卸连接的结构。

6.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述转轴是中空的，其自由端为出水口；所述靶材的自由端连接有进水管，所述转轴、所述进水管、所述靶材和所述靶材安装管一起构成一冷却通道，所述冷却通道可用于对所述靶材和所述靶材进行冷却。

7.如权利要求6所述的靶材进出机构，其特征在于：所述进水管安装在所述第二安装座上，通过法兰与所述靶材密封连接。

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