CN216152129U - 一种可调节的喷砂机喷头 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种可调节的喷砂机喷头，包括喷枪体、可调气芯，所述喷枪体中部设置空腔，所述喷枪体上端中部设置有与空腔贯通的柱孔，可调气芯穿过柱孔，并通过螺纹与柱孔配合用于调整空腔空间；所述喷枪体下端设置喷头，所述喷枪体侧壁设置开口，并对应开口倾斜设置有进液管，所述进液管下端朝向喷头设置。本实用新型所述的可调式喷头，可快速调节喷砂流量大小，方便切换不同工艺，从而达到高效生产；同时进液管下端朝向喷口，增加喷液压力，同时减少喷液冲击到可调气芯形成的冲击力。

Description

一种可调节的喷砂机喷头

技术领域

本实用新型属于硅片加工领域，尤其是涉及一种可调节的喷砂机喷头。

背景技术

喷砂机是应用于抛光片加工中酸腐蚀后的加工工艺，主要作用是在硅片的背面进行机械损伤使其形成金属吸杂中心。当硅片达到一定温度时，如Fe,Ni,Cr,Zn等会降低载流子寿命的金属原子就会在硅体内运动。当这些原子在硅片背面遇到损伤点，它们就会被诱陷并本能地从内部移动到损伤点。从而达到减少抛光面(正面)重金属杂质和晶格缺陷的作用。喷砂法是一种比较常见的背面软损伤工艺，该工艺采用一定粒径的颗粒状物质(如Al2O3)与水混合形成的砂浆，利用气压带动砂浆对移动中的传送带上的硅片进行喷砂，以达到在硅片背面形成“软”损伤的方法。通过对气压的大小、砂浆浓度、传送带的速度以及喷枪高度的改变，来控制硅片背面“软”损伤的程度，以达到使硅片具有吸杂能力又不致因机械损伤过大而带来其它负面效应。但操作方式较为繁琐，且目前现有喷头均为不可调式，操作不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种可调节的喷砂机喷头，以解决现有的喷砂机喷头可调节性差，操作不便的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种可调节的喷砂机喷头，包括喷枪体、可调气芯，所述喷枪体中部设置空腔，所述喷枪体上端中部设置有与空腔贯通的柱孔，可调气芯穿过柱孔，并通过螺纹与柱孔配合用于调整空腔空间；

所述喷枪体下端设置喷头，所述喷枪体侧壁设置开口，并对应开口倾斜设置有进液管，所述进液管下端朝向喷头设置。

进一步的，所述喷枪体下端中部设置与空腔贯通的圆孔，所述喷枪体下端面对应圆孔垂直设置柱筒，所述喷头与柱筒可拆卸连接；所述柱孔与柱筒同轴设置。

进一步的，所述可调气芯外侧壁设置有外螺纹，所述柱孔对应可调气芯外螺纹设置内螺纹，所述喷枪体对应柱孔位置设置螺纹孔一，所述螺纹孔一与柱孔贯通，所述螺纹孔一配合拧接M6制动螺丝。

进一步的，所述可调气芯外侧壁设置外螺纹，所述可调气芯外螺纹与柱孔内螺纹配合上下调节范围为0-12mm，可调气芯内径4mm，可调气芯下端面与外侧壁相交处设置倒角，坡口直径8mm。

进一步的，所述喷头材质为氧化铝陶瓷材质，所述喷头为圆柱筒型，喷头内径8mm，上端面与喷头内壁面相交处设置倒角，坡口直径12mm，喷头总长度32mm；

所述柱筒内径大于圆孔直径，所述圆孔直径大于喷头上端端口直径，所述喷头外径与柱筒内径对应设置，所述喷头上端面与喷枪体下端面抵接；

所述喷头临近上端侧壁设置环槽，所述柱筒对应环槽开设与柱筒内侧贯通的螺纹孔二，所述螺纹孔二设置止动螺钉。

进一步的，所述进液管上端还可拆卸设置有进液接头，所述进液接头为宝塔接头，所述进液接头靠近进液管的一端设有外螺纹，所述进液管对应进液接头的外螺纹设置内螺纹，所述进液接头远离进液管的一端连接进液管路。

进一步的，所述喷枪体、进液管、柱筒三者一体成型，且均为不锈钢材质，所述可调气芯材质为不锈钢。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种可调节的喷砂机喷头具有以下有益效果：

(1)本实用新型所述的可调气芯相对于喷枪体上下移动，调整空腔的空间，进而可快速调节喷砂流量大小，方便切换不同工艺，从而达到高效生产；同时进液管下端朝向喷口，增加喷液压力，同时减少喷液冲击到可调气芯形成的冲击力。

(2)本实用新型所述的可调气芯、喷头、进液接头均与喷枪体可拆卸连接，结构简单，方便拆卸更换，并且喷枪体采用不锈钢材质，延长使用寿命。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的一种可调节的喷砂机喷头示意图；

图2为本实用新型实施例所述的一种可调节的喷砂机喷头剖视图；

图3为本实用新型实施例所述的喷头1/4剖面图。

附图标记说明：

1-喷枪体；11-空腔；12-柱孔；13-圆孔；14-柱筒；2-可调气芯；3-喷头；31-环槽；4-进液管；5-进液接头；6-M6制动螺丝；7-止动螺钉；8-气管接头。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1-图3所示，一种可调节的喷砂机喷头，包括喷枪体1、可调气芯2，所述喷枪体1中部设置空腔11，所述喷枪体1上端中部设置有与空腔11贯通的柱孔12，可调气芯2穿过柱孔，并通过螺纹与柱孔配合用于调整空腔空间；

所述喷枪体下端设置喷头3，所述喷枪体1侧壁设置开口，并对应开口倾斜设置有进液管4，所述进液管4下端朝向喷头设置。

如图1、图2所示，所述喷枪体1下端中部设置与空腔贯通的圆孔13，所述喷枪体1下端面对应圆孔13垂直设置柱筒14，所述喷头3与柱筒14可拆卸连接；所述柱孔12与柱筒14同轴设置。

保证柱孔12处安装的可调气芯2喷射的气体正对喷头上端冲击，稳定持续向喷头输出气体的压力。

如图1、图2所示，所述可调气芯2外侧壁设置有外螺纹，所述柱孔12对应可调气芯外螺纹设置内螺纹，所述喷枪体1对应柱孔12位置设置螺纹孔一，所述螺纹孔一与柱孔12贯通，所述螺纹孔一配合拧接M6制动螺丝6。

可调气芯上端设置气管接头，通过气管接头连接气管。

如图1、图2所示，所述可调气芯2外侧壁设置M18细牙外螺纹，所述可调气芯2外螺纹与柱孔12内螺纹配合上下调节范围为0-12mm，可调气芯2内径4mm，可调气芯下端面与外侧壁相交处设置倒角，坡口直径8mm。

如图1-图3所示，所述喷头3材质为氧化铝陶瓷材质，所述喷头3为圆柱筒型，喷头内径8mm，上端面与喷头内壁面相交处设置倒角，坡口直径12mm，喷头总长度32mm；

所述柱筒14内径大于圆孔13直径，所述圆孔13直径大于喷头3上端端口直径，所述喷头外径与柱筒14内径对应设置，所述喷头3上端面与喷枪体1下端面抵接；

所述喷头3临近上端侧壁设置环槽31，所述柱筒14对应环槽31开设与柱筒14内侧贯通的螺纹孔二，所述螺纹孔二设置止动螺钉7。

当向柱筒14内侧插入喷头，喷头上端与喷枪体1下端面抵接，对应螺纹孔二拧接制动螺钉，所述制动螺钉一端延伸到环槽处，实现喷头的可拆卸连接。

如图1、图2所示，所述进液管4上端还可拆卸设置有进液接头5，所述进液接头为宝塔接头，所述进液接头5靠近进液管4的一端设有外螺纹，所述进液管4对应进液接头5的外螺纹设置内螺纹，所述进液接头远离进液管4的一端连接进液管路。

如图1、图2所示，所述喷枪体1、进液管4、柱筒14三者一体成型，且均为SUS304不锈钢材质，所述可调气芯2材质为SUS304不锈钢。

材质稳定安全，抗冲击，延长寿命。

上口供气，侧口供液，利用气压将液体从喷头下口压出，进而从喷枪出来液体形成圆锥体用于加工，实现被损伤工艺，根据不同的密度参数，对气芯高度进行调节，变更下口出液流量大小，实现可加工不同工艺参数。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：包括喷枪体(1)、可调气芯(2)，所述喷枪体(1)中部设置空腔(11)，所述喷枪体(1)上端中部设置有与空腔(11)贯通的柱孔(12)，可调气芯(2)穿过柱孔，并通过螺纹与柱孔配合用于调整空腔(11)空间；

所述喷枪体下端设置喷头(3)，所述喷枪体(1)侧壁设置开口，并对应开口倾斜设置有进液管(4)，所述进液管(4)下端朝向喷头设置。

2.根据权利要求1所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述喷枪体(1)下端中部设置与空腔贯通的圆孔(13)，所述喷枪体(1)下端面对应圆孔(13)垂直设置柱筒(14)，所述喷头(3)与柱筒(14)可拆卸连接；所述柱孔(12)与柱筒(14)同轴设置。

3.根据权利要求1所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述可调气芯(2)外侧壁设置有外螺纹，所述柱孔(12)对应可调气芯外螺纹设置内螺纹，所述喷枪体(1)对应柱孔(12)位置设置螺纹孔一，所述螺纹孔一与柱孔(12)贯通，所述螺纹孔一配合拧接M6制动螺丝(6)。

4.根据权利要求3所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述可调气芯(2)外侧壁设置外螺纹，所述可调气芯(2)外螺纹与柱孔(12)内螺纹配合上下调节范围为0-12mm，可调气芯(2)内径4mm，可调气芯下端面与外侧壁相交处设置倒角，坡口直径8mm。

5.根据权利要求2所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述喷头(3)材质为氧化铝陶瓷材质，所述喷头(3)为圆柱筒型，喷头内径8mm，上端面与喷头内壁面相交处设置倒角，坡口直径12mm，喷头总长度32mm；

所述柱筒(14)内径大于圆孔(13)直径，所述圆孔(13)直径大于喷头(3)上端端口直径，所述喷头外径与柱筒(14)内径对应设置，所述喷头(3)上端面与喷枪体(1)下端面抵接；

所述喷头(3)临近上端侧壁设置环槽(31)，所述柱筒(14)对应环槽(31)开设与柱筒(14)内侧贯通的螺纹孔二，所述螺纹孔二设置止动螺钉(7)。

6.根据权利要求1所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述进液管(4)上端还可拆卸设置有进液接头(5)，所述进液接头为宝塔接头，所述进液接头(5)靠近进液管(4)的一端设有外螺纹，所述进液管(4)对应进液接头(5)的外螺纹设置内螺纹，所述进液接头远离进液管(4)的一端连接进液管路。

7.根据权利要求2所述的一种可调节的喷砂机喷头，其特征在于：所述喷枪体(1)、进液管(4)、柱筒(14)三者一体成型，且均为不锈钢材质，所述可调气芯(2)材质为不锈钢。

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