CN216099764U - 一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的属于多晶硅加工设备技术领域，具体为一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括工作台，所述工作台的上侧壁固定设置有支架，所述支架的下端固定设置有切割装置，所述工作台的侧壁开设有腔体，所述腔体的上端通过夹持装置固定设置有单晶硅，所述工作台的下侧壁固定设置有切割液收集槽，所述切割液收集槽的内壁开设有对称的限位槽，所述切割液收集槽内部的上端横向滑动设置有过滤网，所述过滤网的两端均固定设置有限位块，所述限位块与所述限位槽滑动连接，所述切割液收集槽的下侧壁固定设置有出液管，便于对金刚线切割过程中的切割液进行回收并有效对内部的单晶硅颗粒进行过滤收集，避免单晶硅颗粒造成浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体为一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。
背景技术
多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
在多晶硅采用金刚线切片时，为了避免长时间摩擦产生大量的热量导致金刚线损坏，所以在切割的过程中需要不停的对多晶硅喷切割液进行降温，以往的切割液回收装置直接对切割液进行回收，并不能对切割液中较多的硅片颗粒进行过滤收集，从而造成了大量的多晶硅颗粒造成浪费。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，以解决上述背景技术中提出的现有的切割液回收装置只可以对切割液进行回收，并不能有效对切割液内部的单晶硅颗粒进行过滤回收的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括工作台，所述工作台的上侧壁固定设置有支架，所述支架的下端固定设置有切割装置，所述工作台的侧壁开设有腔体，所述腔体的上端通过夹持装置固定设置有单晶硅，所述工作台的下侧壁固定设置有切割液收集槽，所述切割液收集槽的内壁开设有对称的限位槽，所述切割液收集槽内部的上端横向滑动设置有过滤网，所述过滤网的两端均固定设置有限位块，所述限位块与所述限位槽滑动连接，所述切割液收集槽的下侧壁固定设置有出液管。
优选的，所述切割装置包括固定框，所述固定框的上侧壁固定设置有连接板，所述连接板的上侧壁固定设置有液压杆，所述液压杆的上端与所述支架的下侧壁固定连接，所述固定框的内部转动设置有对称的安装辊，两个所述安装辊的后端均贯穿固定框的后侧壁延伸至固定框的后端并固定设置有第一皮带轮，所述固定框的后侧壁固定设置有机箱，所述机箱的内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有转杆，所述转杆的另一端与所述固定框的后侧壁转动连接，所述转杆的杆壁套接设置有第二皮带轮，两个所述第一皮带轮通过皮带与所述第二皮带轮转动连接，两个所述安装辊的外部共同设置有金刚线。
优选的，所述夹持装置包括两个固定块，两个所述固定块均与所述工作台的上侧壁固定连接，两个所述固定块的内部均螺纹连接有螺杆，两个所述螺杆的一端均固定设置有旋转块，两个所述螺杆的另一端均固定设置有按压块，两个所述按压块远离螺杆的一侧均与所述单晶硅的侧壁接触。
优选的，所述支架的左侧壁固定设置有水箱，所述水箱的上侧壁固定设置有进液管，所述水箱的右侧壁固定设置有喷水管。
优选的，所述工作台的下侧壁固定设置有对称的底座，两个所述底座的侧壁均开设有安装槽，所述切割液收集槽的两侧壁均固定设置有安装块，两个所述安装块均通过螺栓与所述安装槽固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过切割液收集槽、过滤网、限位块和安装块的共同配合，便于对金刚线切割过程中的切割液进行回收并有效对内部的单晶硅颗粒进行过滤收集，避免单晶硅颗粒造成浪费。
附图说明
图1为本实用新型正面结构示意图；
图2为图1中切割装置的结构示意图；
图3为图1中夹持装置的侧面结构示意图；
图4为图1中切割液收集槽的结构示意图。
图中：1工作台、2支架、3单晶硅、4切割液收集槽、5过滤网、6限位块、7出液管、8固定框、9连接板、10液压杆、11安装辊、12电机、13转杆、14金刚线、15固定块、16螺杆、17旋转块、18按压块、19水箱、20进液管、21喷水管、22底座、23安装块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例：
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括工作台1，工作台1的上侧壁固定设置有支架2，支架2的下端固定设置有切割装置，工作台1的侧壁开设有腔体，腔体的上端通过夹持装置固定设置有单晶硅3，工作台1的下侧壁固定设置有切割液收集槽4，切割液收集槽4的内壁开设有对称的限位槽，切割液收集槽4内部的上端横向滑动设置有过滤网5，过滤网5的两端均固定设置有限位块6，限位块6与限位槽滑动连接，切割液收集槽4的下侧壁固定设置有出液管7，便于有效对切割液进行回收并对切割液内部的单晶硅颗粒进行过滤，防止单晶硅颗粒造成浪费。
切割装置包括固定框8，固定框8的上侧壁固定设置有连接板9，连接板9的上侧壁固定设置有液压杆10，液压杆10的上端与支架2的下侧壁固定连接，固定框8的内部转动设置有对称的安装辊11，两个安装辊11的后端均贯穿固定框8的后侧壁延伸至固定框8的后端并固定设置有第一皮带轮，固定框8的后侧壁固定设置有机箱，机箱的内部固定设置有电机12，电机12的输出端固定设置有转杆13，转杆13的另一端与固定框8的后侧壁转动连接，转杆13的杆壁套接设置有第二皮带轮，两个第一皮带轮通过皮带与第二皮带轮转动连接，两个安装辊11的外部共同设置有金刚线14。
夹持装置包括两个固定块15，两个固定块15均与工作台1的上侧壁固定连接，两个固定块15的内部均螺纹连接有螺杆16，两个螺杆16的一端均固定设置有旋转块17，两个螺杆16的另一端均固定设置有按压块18，两个按压块18远离螺杆16的一侧均与单晶硅3的侧壁接触。
支架2的左侧壁固定设置有水箱19，水箱19的上侧壁固定设置有进液管20，水箱19的右侧壁固定设置有喷水管21。
工作台1的下侧壁固定设置有对称的底座22，两个底座22的侧壁均开设有安装槽，切割液收集槽4的两侧壁均固定设置有安装块23，两个安装块23均通过螺栓与安装槽固定连接。
工作原理：使用时，将单晶硅3放置在工作台1的上端，转动旋转块17，旋转块17带动侧壁固定连接的螺杆16移动，螺杆16带动另一端固定连接的按压块18移动，两个按压块18将单晶硅3按压固定，启动电机12，电机12带动输出端固定连接的转杆13转动，转杆13带动杆壁的第二皮带轮转动，第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动，第一皮带轮带动安装辊11转动，安装辊11带动金刚线14转动，快速对单晶硅3进行切割，通过喷水管21喷出大量的切割液对金刚线14进行冷却降温，切割液流入切割液收集槽4的内部并通过过滤网5对内部的单晶硅颗粒进行有效过滤。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的上侧壁固定设置有支架(2)，所述支架(2)的下端固定设置有切割装置，所述工作台(1)的侧壁开设有腔体，所述腔体的上端通过夹持装置固定设置有单晶硅(3)，所述工作台(1)的下侧壁固定设置有切割液收集槽(4)，所述切割液收集槽(4)的内壁开设有对称的限位槽，所述切割液收集槽(4)内部的上端横向滑动设置有过滤网(5)，所述过滤网(5)的两端均固定设置有限位块(6)，所述限位块(6)与所述限位槽滑动连接，所述切割液收集槽(4)的下侧壁固定设置有出液管(7)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述切割装置包括固定框(8)，所述固定框(8)的上侧壁固定设置有连接板(9)，所述连接板(9)的上侧壁固定设置有液压杆(10)，所述液压杆(10)的上端与所述支架(2)的下侧壁固定连接，所述固定框(8)的内部转动设置有对称的安装辊(11)，两个所述安装辊(11)的后端均贯穿固定框(8)的后侧壁延伸至固定框(8)的后端并固定设置有第一皮带轮，所述固定框(8)的后侧壁固定设置有机箱，所述机箱的内部固定设置有电机(12)，所述电机(12)的输出端固定设置有转杆(13)，所述转杆(13)的另一端与所述固定框(8)的后侧壁转动连接，所述转杆(13)的杆壁套接设置有第二皮带轮，两个所述第一皮带轮通过皮带与所述第二皮带轮转动连接，两个所述安装辊(11)的外部共同设置有金刚线(14)。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述夹持装置包括两个固定块(15)，两个所述固定块(15)均与所述工作台(1)的上侧壁固定连接，两个所述固定块(15)的内部均螺纹连接有螺杆(16)，两个所述螺杆(16)的一端均固定设置有旋转块(17)，两个所述螺杆(16)的另一端均固定设置有按压块(18)，两个所述按压块(18)远离螺杆(16)的一侧均与所述单晶硅(3)的侧壁接触。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述支架(2)的左侧壁固定设置有水箱(19)，所述水箱(19)的上侧壁固定设置有进液管(20)，所述水箱(19)的右侧壁固定设置有喷水管(21)。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述工作台(1)的下侧壁固定设置有对称的底座(22)，两个所述底座(22)的侧壁均开设有安装槽，所述切割液收集槽(4)的两侧壁均固定设置有安装块(23)，两个所述安装块(23)均通过螺栓与所述安装槽固定连接。
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| CN202122115442.9U CN216099764U (zh) | 2021-09-03 | 2021-09-03 | 一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115890938A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-04-04 | 无锡展照精密机械科技有限公司 | 一种冷却液循环利用的金刚线切片设备 |
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2021
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Cited By (2)
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| CN115890938A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-04-04 | 无锡展照精密机械科技有限公司 | 一种冷却液循环利用的金刚线切片设备 |
| CN115890938B (zh) * | 2022-11-02 | 2023-10-31 | 无锡展照精密机械科技有限公司 | 一种冷却液循环利用的金刚线切片设备 |
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