CN216095714U - 一种溅射旋转靶材矫直装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板，所述基板的上端面通过滑动板配合滑槽滑动连接有L形板，所述L形板的后端面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿L形板的前端面固定连接有转盘，所述转盘的前端面对称固定连接有安装板，所述螺纹套的上端面固定连接有V形板，所述基板的上端面安装有穿直机构，所述基板的上端面固定连接有立板，所述立板的下端面通过伸缩气缸固定连接有压板，本实用新型涉及旋转靶材矫直装置技术领域。该溅射旋转靶材矫直装置，解决了现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳的问题。

Description

一种溅射旋转靶材矫直装置

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材矫直装置技术领域，具体为一种溅射旋转靶材矫直装置。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。靶材基管的直线度非常重要，不然会导致生产完的靶材无法正常使用，大大增加了工厂成本，浪费人力物力。因此，需要矫直装置对旋转靶材进行矫直。

现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳，达不到预期效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种溅射旋转靶材矫直装置，解决了现有的溅射旋转靶材矫直装置不便对不同大小的旋转靶材进行夹持矫直，容易在矫直出现偏移掉落，以及矫直效果不佳的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板，所述基板的上端面通过滑动板配合滑槽滑动连接有L形板，所述L形板的后端面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿L形板的前端面固定连接有转盘，所述转盘的前端面对称固定连接有安装板，所述安装板的侧壁贯穿转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的外壁对称螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的上端面固定连接有V形板，所述基板的上端面安装有穿直机构，所述基板的上端面固定连接有立板，所述立板的下端面通过伸缩气缸固定连接有压板。

优选的，所述螺纹套与转盘的前端面滑动连接，所述L形板的上端面通过滑槽滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的上端面固定连接有放置板，所述基板的下端面固定连接有电动伸缩杆。

优选的，所述电动伸缩杆的后端面与滑动板固定连接，所述L形板的上端面通过支撑板固定连接有弹簧伸缩杆，所述弹簧伸缩杆的前端面与滑动杆固定连接。

优选的，所述穿直机构包括圆框、螺纹柱、平板、凸板、限位轮与伸缩杆，所述基板的上端面固定连接有圆框，所述圆框的内腔壁均匀对称螺纹连接有螺纹柱。

优选的，所述螺纹柱贯穿圆框内腔壁的一端转动连接有平板，所述平板的远离螺纹柱的一侧对称固定连接有凸板。

优选的，所述凸板之间通过销轴转动连接有限位轮，所述圆框的内腔壁均匀对称固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆与平板固定连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种溅射旋转靶材矫直装置。具备以下有益效果：

(1)、该溅射旋转靶材矫直装置，通过驱动电机、转盘、双向螺纹杆、螺纹套、V形板、滑动杆、放置板、弹簧伸缩杆、支撑板、立板、伸缩气缸、压板、滑动板与电动伸缩杆的配合，首先将需要矫直的旋转靶材放置在放置板的上部，将其后后端放入转盘内部的圆槽内，之后手握双向螺纹杆进行转动，便会带动其外壁螺纹连接的两个螺纹套在转盘的前端面滑动靠近，使得两个V形板相互靠近，不仅可以将旋转靶材的一端进行夹持固定，也能夹持不同直径大小的旋转靶材，提高了适用范围，防止在矫直的时候脱落，提高矫直的工作效率，开启伸缩气缸向下带动压板向下贴合在旋转靶材的上部，之后开启驱动电机以及电动伸缩杆，驱动电机转动会带动旋转靶材进行转动，电动伸缩杆收缩会拉动滑动板以及L形板向前移动，便会带动旋转靶材经过压板的下部转动压直，从而完成了第一步矫直，并且当放置板向前移动至与圆框抵触时会受力压缩弹簧伸缩杆，能够防止放置板受到抵触使得L形板无法推动靶材向前移动进行矫直，确保了装置的运行。

(2)、该溅射旋转靶材矫直装置，通过穿直机构、圆框、螺纹柱、平板、凸板、限位轮与伸缩杆的配合，在矫直之前先手握螺纹柱进行转动，便会带动螺纹柱以及限位轮向内靠近，并且由于螺纹柱与平板转动连接，便不会带动平板以及限位轮发生转动，以及平板移动时也会拉动伸缩杆伸长，能够根据旋转靶材的直径大小来调节限位轮之间的距离，可以对不同大小的旋转靶材进行限位矫直，随着电动伸缩杆收回带动放置板与旋转板材向左移动穿入圆框内时，由于各个限位轮的中心处于同一水平线上，使得旋转靶材弯曲的部分受到挤压被压制矫直，通过双重矫直，进一步的提高了矫直效果与工作效率，也能适用于不同直径大小的旋转靶材。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型图1中A区域放大结构示意图；

图3为本实用新型右视整体安装结构示意图；

图4为本实用新型仰视整体安装结构示意图。

图中：1、基板；2、L形板；3、驱动电机；4、转盘；5、双向螺纹杆；6、螺纹套；7、V形板；8、穿直机构；81、圆框；82、螺纹柱；83、平板；84、凸板；85、限位轮；86、伸缩杆；9、滑动杆；10、放置板；11、弹簧伸缩杆；12、支撑板；13、立板；14、伸缩气缸；15、压板；16、滑动板；17、电动伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

实施例一：一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板1，基板1的上端面通过滑动板16配合滑槽滑动连接有L形板2，L形板2的后端面固定连接有驱动电机3，驱动电机3的输出轴贯穿L形板2的前端面固定连接有转盘4，转盘4的前端面对称固定连接有安装板，安装板的侧壁贯穿转动连接有双向螺纹杆5，双向螺纹杆5的外壁对称螺纹连接有螺纹套6，螺纹套6的上端面固定连接有V形板7，基板1的上端面安装有穿直机构8，基板1的上端面固定连接有立板13，立板13的下端面通过伸缩气缸14固定连接有压板15，螺纹套6与转盘4的前端面滑动连接，L形板的上端面通过滑槽滑动连接有滑动杆9，滑动杆9的上端面固定连接有放置板10，基板1的下端面固定连接有电动伸缩杆17，电动伸缩杆17的后端面与滑动板16固定连接，L形板2的上端面通过支撑板12固定连接有弹簧伸缩杆11，弹簧伸缩杆11的前端面与滑动杆9固定连接。通过驱动电机3、转盘4、双向螺纹杆5、螺纹套6、V形板7、滑动杆9、放置板10、弹簧伸缩杆11、支撑板12、立板13、伸缩气缸14、压板15、滑动板16与电动伸缩杆17的配合，首先将需要矫直的旋转靶材放置在放置板10的上部，将其后后端放入转盘4内部的圆槽内，之后手握双向螺纹杆5进行转动，便会带动其外壁螺纹连接的两个螺纹套6在转盘4的前端面滑动靠近，使得两个V形板7相互靠近，不仅可以将旋转靶材的一端进行夹持固定，也能夹持不同直径大小的旋转靶材，提高了适用范围，防止在矫直的时候脱落，提高矫直的工作效率，开启伸缩气缸14向下带动压板15向下贴合在旋转靶材的上部，之后开启驱动电机3以及电动伸缩杆17，驱动电机3转动会带动旋转靶材进行转动，电动伸缩杆17收缩会拉动滑动板16以及L形板2向前移动，便会带动旋转靶材经过压板15的下部转动压直，从而完成了第一步矫直，并且当放置板10向前移动至与圆框81抵触时会受力压缩弹簧伸缩杆11，能够防止放置板10受到抵触使得L形板2无法推动靶材向前移动进行矫直，确保了装置的运行。

实施例二：本实施例与实施例一的区别在于：穿直机构8包括圆框81、螺纹柱82、平板83、凸板84、限位轮85与伸缩杆86，基板1的上端面固定连接有圆框81，圆框81的内腔壁均匀对称螺纹连接有螺纹柱82，螺纹柱82贯穿圆框81内腔壁的一端转动连接有平板83，平板83的远离螺纹柱82的一侧对称固定连接有凸板84，凸板84之间通过销轴转动连接有限位轮85，圆框81的内腔壁均匀对称固定连接有伸缩杆86，伸缩杆86与平板83固定连接。通过穿直机构8、圆框81、螺纹柱82、平板83、凸板84、限位轮85与伸缩杆86的配合，在矫直之前先手握螺纹柱82进行转动，便会带动螺纹柱82以及限位轮85向内靠近，并且由于螺纹柱82与平板83转动连接，便不会带动平板83以及限位轮85发生转动，以及平板83移动时也会拉动伸缩杆86伸长，能够根据旋转靶材的直径大小来调节限位轮85之间的距离，可以对不同大小的旋转靶材进行限位矫直，随着电动伸缩杆17收回带动放置板10与旋转板材向左移动穿入圆框81内时，由于各个限位轮85的中心处于同一水平线上，使得旋转靶材弯曲的部分受到挤压被压制矫直，通过双重矫直，进一步的提高了矫直效果与工作效率，也能适用于不同直径大小的旋转靶材。

工作时，通过驱动电机3、转盘4、双向螺纹杆5、螺纹套6、V形板7、滑动杆9、放置板10、弹簧伸缩杆11、支撑板12、立板13、伸缩气缸14、压板15、滑动板16与电动伸缩杆17的配合，首先将需要矫直的旋转靶材放置在放置板10的上部，将其后后端放入转盘4内部的圆槽内，之后手握双向螺纹杆5进行转动，便会带动其外壁螺纹连接的两个螺纹套6在转盘4的前端面滑动靠近，使得两个V形板7相互靠近，不仅可以将旋转靶材的一端进行夹持固定，也能夹持不同直径大小的旋转靶材，提高了适用范围，防止在矫直的时候脱落，提高矫直的工作效率，开启伸缩气缸14向下带动压板15向下贴合在旋转靶材的上部，之后开启驱动电机3以及电动伸缩杆17，驱动电机3转动会带动旋转靶材进行转动，电动伸缩杆17收缩会拉动滑动板16以及L形板2向前移动，便会带动旋转靶材经过压板15的下部转动压直，从而完成了第一步矫直，并且当放置板10向前移动至与圆框81抵触时会受力压缩弹簧伸缩杆11，能够防止放置板10受到抵触使得L形板2无法推动靶材向前移动进行矫直，确保了装置的运行，矫直之前先手握螺纹柱82进行转动，便会带动螺纹柱82以及限位轮85向内靠近，并且由于螺纹柱82与平板83转动连接，便不会带动平板83以及限位轮85发生转动，以及平板83移动时也会拉动伸缩杆86伸长，能够根据旋转靶材的直径大小来调节限位轮85之间的距离，可以对不同大小的旋转靶材进行限位矫直，随着电动伸缩杆17收回带动放置板10与旋转板材向左移动穿入圆框81内时，由于各个限位轮85的中心处于同一水平线上，使得旋转靶材弯曲的部分受到挤压被压制矫直，通过双重矫直，进一步的提高了矫直效果与工作效率，也能适用于不同直径大小的旋转靶材。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

Claims (6)

1.一种溅射旋转靶材矫直装置，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的上端面通过滑动板(16)配合滑槽滑动连接有L形板(2)，所述L形板(2)的后端面固定连接有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出轴贯穿L形板(2)的前端面固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)的前端面对称固定连接有安装板，所述安装板的侧壁贯穿转动连接有双向螺纹杆(5)，所述双向螺纹杆(5)的外壁对称螺纹连接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的上端面固定连接有V形板(7)，所述基板(1)的上端面安装有穿直机构(8)，所述基板(1)的上端面固定连接有立板(13)，所述立板(13)的下端面通过伸缩气缸(14)固定连接有压板(15)。

2.根据权利要求1所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述螺纹套(6)与转盘(4)的前端面滑动连接，所述L形板的上端面通过滑槽滑动连接有滑动杆(9)，所述滑动杆(9)的上端面固定连接有放置板(10)，所述基板(1)的下端面固定连接有电动伸缩杆(17)。

3.根据权利要求2所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述电动伸缩杆(17)的后端面与滑动板(16)固定连接，所述L形板(2)的上端面通过支撑板(12)固定连接有弹簧伸缩杆(11)，所述弹簧伸缩杆(11)的前端面与滑动杆(9)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述穿直机构(8)包括圆框(81)、螺纹柱(82)、平板(83)、凸板(84)、限位轮(85)与伸缩杆(86)，所述基板(1)的上端面固定连接有圆框(81)，所述圆框(81)的内腔壁均匀对称螺纹连接有螺纹柱(82)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述螺纹柱(82)贯穿圆框(81)内腔壁的一端转动连接有平板(83)，所述平板(83)的远离螺纹柱(82)的一侧对称固定连接有凸板(84)。

6.根据权利要求5所述的一种溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于：所述凸板(84)之间通过销轴转动连接有限位轮(85)，所述圆框(81)的内腔壁均匀对称固定连接有伸缩杆(86)，所述伸缩杆(86)与平板(83)固定连接。

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