CN216084846U - 一种晶圆夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型旨在提供一种结构紧凑、兼容性强的晶圆夹持机构。本实用新型包括安装座和滑块，滑块沿竖直方向滑动配合在安装座的一端，安装座上设置有第一压缩弹簧，第一压缩弹簧的两端分别与安装座和滑块配合，滑块的底部固定有上压块，安装座设置有下压块且下压块位于上压块的下方，安装座远离滑块的一端设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端转动设置有若干个滚轮，上压块靠近驱动气缸的一端设置有凸块，滚轮与凸块配合实现上压块的升降，安装座上设置有若干根对称设置的导向杆，传动块通过轴承滑动设置在若干根导向杆上，安装座上设置有与传动块配合的第二压缩弹簧。本实用新型应用于夹持机构的技术领域。

Description

一种晶圆夹持机构

技术领域

本实用新型应用于夹持机构的技术领域,特别涉及一种晶圆夹持机构。

背景技术

随着人类的不断进步，人们对物质提出了越来越高的要求，为了满足人类越来越高的物质要求，社会生产模式正逐渐转变为大规模自动化生产的模式，伴随着这一历史趋势，工业机械手越来越多地应用在目前的工业自动化生产中，将机械手运用在工业生产中具有生产效率高、生产质量稳定、节省人力成本等传统生产模式所不具备的优点。机械手末端通常安装有夹持机构，用以夹持工件。但是现在的晶圆夹持机构只能夹持一种规格的工件，当工件尺寸发生变化时，必须更换对应的夹持机构，显然导致成本高、工作效率低下，因此有必要提供一种结构紧凑、兼容性强的晶圆夹持机构。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构紧凑、兼容性强的晶圆夹持机构。

本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括安装座和滑块，所述滑块沿竖直方向滑动配合在所述安装座的一端，所述安装座上设置有第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述安装座和所述滑块配合，所述滑块的底部固定有上压块，所述安装座设置有下压块且所述下压块位于所述上压块的下方，所述安装座远离所述滑块的一端设置有驱动气缸，所述驱动气缸的输出端转动设置有若干个滚轮，所述上压块靠近所述驱动气缸的一端设置有凸块，所述滚轮与所述凸块配合实现所述上压块的升降。

由上述方案可见，所述安装座上设置有与所述滑块配合的所述第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧对所述滑块起到弹性支撑作用，所述滑块滑动配合在所述安装座的一端，所述安装座设置有下压块且所述下压块位于所述上压块的下方，当所述上压块受到压力时，所述上压块向下运动，所述上压块与所述下压块配合实现闭合动作，从而完成晶圆产品的夹持，所述驱动气缸作为所述晶圆夹持机构的动力源，所述驱动气缸的输出端转动设置有若干个所述滚轮，所述滚轮与所述上压块一端的所述凸块配合，所述凸块靠近所述滚轮的一端设置有由低到高的坡度，当所述驱动气缸驱动所述滚轮向前运动时，所述滚轮对所述凸块进行滚动按压，所述上压块与所述下压块逐渐完成闭合动作，同时实现夹持不同规格的晶圆产品。

一个优选方案是，所述安装座靠近所述凸块的一端设置有若干个限位螺丝，所述限位螺丝与所述第一压缩弹簧平行设置，所述限位螺丝与所述上压块配合实现限位。

由上述方案可见，所述限位螺丝螺纹连接在所述安装座上，通过调整所述限位螺丝的伸出长度实现控制所述上压块的上限位。

一个优选方案是，所述滚轮的数量为两个，两个所述滚轮对称转动设置在所述驱动气缸的输出端。

由上述方案可见，两个所述滚轮对称设置在所述驱动气缸的输出端，当所述驱动气缸驱动两个所述滚轮向前运动时，两个所述滚轮对所述凸块进行滚动按压。

一个优选方案是，所述驱动气缸的输出端传动连接有安装块，所述滚轮转动设置在所述安装块的一端，所述安装块靠近所述驱动气缸的一端设置有锁紧螺丝，所述锁紧螺丝与所述驱动气缸的输出端配合实现固定连接。

由上述方案可见，所述锁紧螺丝与所述驱动气缸的输出端配合实现固定连接，避免所述驱动气缸的输出端移动过撑，对晶圆产品造成损伤。

一个优选方案是，所述安装座上沿竖直方向设置有两个直线导轨，所述滑块滑动配合在两个所述直线导轨上。

由上述方案可见，两个所述直线导轨用于所述滑块的导正，两个所述直线导轨与所述第一压缩弹簧配合对所述上压块起到弹性支撑作用。

一个优选方案是，所述晶圆夹持机构还包括传动块，所述安装座上设置有若干根导向杆，所述传动块通过轴承滑动设置在若干根所述导向杆上，所述安装座上设置有与所述传动块配合的第二压缩弹簧。

由上述方案可见，所述传动块的上端与外部动力源配合连接，所述传动块通过所述轴承滑动设置在若干根所述导向杆上，所述第二压缩弹簧对所述传动块的移动起到缓冲作用，避免外部动力源驱动晶圆夹持机构进行移动夹持时，所述上压块与所述下压块对晶圆产品发生硬性碰撞，从而损坏晶圆产品。

一个优选方案是，所述下压块的上端设置有压力传感器，所述压力传感器与所述上压块配合。

由上述方案可见，所述压力传感器用于检测所述上压块对所述下压块的夹紧力，通过调节所述驱动气缸输出端的伸出长度，从而调节到合适的夹紧力，既能夹紧晶圆产品又不会损坏晶圆产品。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的立体结构分解示意图；

图3是本实用新型的剖视图；

图4是本实用新型局部的的剖视图。

具体实施方式

如图1至图4所示，在本实施例中，本实用新型包括安装座1和滑块2，所述滑块2沿竖直方向滑动配合在所述安装座1的一端，所述安装座1上设置有第一压缩弹簧3，所述第一压缩弹簧3的两端分别与所述安装座1和所述滑块2配合，所述滑块2的底部固定有上压块4，所述安装座1设置有下压块5且所述下压块5位于所述上压块4的下方，所述安装座1远离所述滑块2的一端设置有驱动气缸6，所述驱动气缸6的输出端转动设置有若干个滚轮8，所述上压块4靠近所述驱动气缸6的一端设置有凸块9，所述滚轮8与所述凸块9配合实现所述上压块4的升降。

在本实施例中，所述安装座1靠近所述凸块9的一端设置有若干个限位螺丝10，所述限位螺丝10与所述第一压缩弹簧3平行设置，所述限位螺丝10与所述上压块4配合实现限位。

在本实施例中，所述滚轮8的数量为两个，两个所述滚轮8对称转动设置在所述驱动气缸6的输出端。

在本实施例中，所述驱动气缸6的输出端传动连接有安装块，所述滚轮8转动设置在所述安装块的一端，所述安装块靠近所述驱动气缸6的一端设置有锁紧螺丝11，所述锁紧螺丝11与所述驱动气缸6的输出端配合实现固定连接。

在本实施例中，所述安装座1上沿竖直方向设置有两个直线导轨12，所述滑块2滑动配合在两个所述直线导轨12上。

在本实施例中，所述晶圆夹持机构还包括传动块13，所述安装座1上设置有若干根导向杆14，所述传动块13通过轴承15滑动设置在若干根所述导向杆14上，所述安装座1上设置有与所述传动块13配合的第二压缩弹簧16。

在本实施例中，所述下压块5的上端设置有压力传感器17，所述压力传感器17与所述上压块4配合。

本实用新型的工作原理：外部动力源驱动所述晶圆夹持机构移动到晶圆产品的待取工位时，所述驱动气缸驱动所述滚轮向前运动，所述上压块逐渐向下运动，所述上压块与所述下压块实现闭合动作，从而完成对晶圆产品的夹持，外部动力源驱动所述晶圆夹持机构移动到晶圆产品的放料工位时，所述驱动气缸驱动所述滚轮向后运动，所述上压块逐渐向上运动，从而完成对晶圆产品的张开。

Claims (7)

1.一种晶圆夹持机构，其特征在于：它包括安装座（1）和滑块（2），所述滑块（2）沿竖直方向滑动配合在所述安装座（1）的一端，所述安装座（1）上设置有第一压缩弹簧（3），所述第一压缩弹簧（3）的两端分别与所述安装座（1）和所述滑块（2）配合，所述滑块（2）的底部固定有上压块（4），所述安装座（1）设置有下压块（5）且所述下压块（5）位于所述上压块（4）的下方，所述安装座（1）远离所述滑块（2）的一端设置有驱动气缸（6），所述驱动气缸（6）的输出端转动设置有若干个滚轮（8），所述上压块（4）靠近所述驱动气缸（6）的一端设置有凸块（9），所述滚轮（8）与所述凸块（9）配合实现所述上压块（4）的升降。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述安装座（1）靠近所述凸块（9）的一端设置有若干个限位螺丝（10），所述限位螺丝（10）与所述第一压缩弹簧（3）平行设置，所述限位螺丝（10）与所述上压块（4）配合实现限位。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述滚轮（8）的数量为两个，两个所述滚轮（8）对称转动设置在所述驱动气缸（6）的输出端。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述驱动气缸（6）的输出端传动连接有安装块，所述滚轮（8）转动设置在所述安装块的一端，所述安装块靠近所述驱动气缸（6）的一端设置有锁紧螺丝（11），所述锁紧螺丝（11）与所述驱动气缸（6）的输出端配合实现固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述安装座（1）上沿竖直方向设置有两个直线导轨（12），所述滑块（2）滑动配合在两个所述直线导轨（12）上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述晶圆夹持机构还包括传动块（13），所述安装座（1）上设置有若干根导向杆（14），所述传动块（13）通过轴承（15）滑动设置在若干根所述导向杆（14）上，所述安装座（1）上设置有与所述传动块（13）配合的第二压缩弹簧（16）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持机构，其特征在于：所述下压块（5）的上端设置有压力传感器（17），所述压力传感器（17）与所述上压块（4）配合。

Images