CN216052039U - 一种半导体测试模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种半导体测试模块，包括模块支架，其特征在于，所述模块支架上安装有测试针模块，模块支架还与一调节组件相连，测试针模块包括测试针、滑块、滑块座、限位块和底座，底座安装在模块支架上，滑块座安装在底座上，滑块能上下移动地设置在滑块座上，滑块还与一弹性复位件连接，限位块连接在滑块上，限位块上具有物料放置槽，测试针安装在底座上。

Description

一种半导体测试模块

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种半导体测试模块。

背景技术

半导体元件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子元件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。在半导体元件测试分选过程中，测试模块举足轻重，而保证测试过程中产品的精确定位尤为重要，因此，需要设计一种测试模块，以精确定位产品，同时也需方便使用。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种半导体测试模块。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体测试模块，包括模块支架，其特征在于，所述模块支架上安装有测试针模块，模块支架还与一调节组件相连，测试针模块包括测试针、滑块、滑块座、限位块和底座，底座安装在模块支架上，滑块座安装在底座上，滑块能上下移动地设置在滑块座上，滑块还与一弹性复位件连接，限位块连接在滑块上，限位块上具有物料放置槽，测试针安装在底座上。

所述测试针模块还包括安装座和盖板，安装座安装在底座上，安装座上具有用于安装测试针的安装槽，盖板安装在安装座上，盖板上还具有与测试针相配合的定位凸块。

所述调节组件包括XY轴调节板、Z轴立柱和Z轴调节螺丝，Z轴立柱安装在XY轴调节板上，模块支架滑动连接在Z轴立柱上，模块支架上安装有连接件，Z轴调节螺丝螺纹连接在连接件上，Z轴调节螺丝端部与Z轴立柱相抵靠。

所述Z轴立柱上具有条形孔，模块支架上具有螺纹孔，锁紧螺栓穿过条形孔与螺纹孔螺纹连接。

所述模块支架一侧具有呈凸出的导向条，模块支架另一侧具有导向片，导向条与导向片两者之间形成用于与Z轴立柱滑动连接的导向部。

所述Z轴立柱安装在连接座上，连接座安装在XY轴调节板上。

所述滑块上还具有用于限制限位块的限制部。

所述限位块粘连在滑块上。

所述限位块的选材为陶瓷。

与现有技术相比，本半导体测试模块具有该优点：

其一，测试准确；该模块通过限位块将物料精确定位，使测试更可靠。

其二，适用范围广；该模块通过改动限位块尺寸可适应各种物料。

其三，方便更换测试针；该模块通过盖板可快速简单地更换测试针，且不影响测试精度，无需额外调试。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型中测试针模块的立体结构示意图。

图3是本实用新型中测试针模块的爆炸图。

图4是本实用新型中拆去部分的立体结构示意图。

图5是本实用新型中安装座的立体结构示意图。

图6是本实用新型中盖板的立体结构示意图。

图7是本实用新型中模块支架处的立体结构示意图。

图中，1、测试针模块；1-1、底座；1-2、弹性复位件；1-3、限位块；1-3x、物料放置槽；1-4、盖板；1-4x、定位凸块；1-5、测试针；1-6、滑块；1-6x、限制部；1-7、安装座；1-7x、安装槽；1-8、滑块座；2、模块支架；2x、导向片；2y、导向条；3、Z轴调节螺丝；4、Z轴立柱；5、XY轴调节板；6、吸嘴；7、物料；8、连接件；9、锁紧螺栓；10、连接座。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图7所示，本半导体测试模块，包括模块支架2，模块支架2上安装有测试针模块1，模块支架2还与一调节组件相连，测试针模块1包括测试针1-5、滑块1-6、滑块座1-8、限位块1-3和底座1-1，在本实施例中，测试针1-5采用的是市场上可以买到的现有产品，测试针1-5的数量为两组；底座1-1安装在模块支架2上，滑块座1-8安装在底座1-1上，滑块1-6能上下移动地设置在滑块座1-8上，滑块1-6还与一弹性复位件1-2连接，在本实施例中，弹性复位件1-2为圆柱弹簧，弹性复位件1-2上端与滑块1-6相抵靠，弹性复位件1-2下端与模块支架2相抵靠；限位块1-3连接在滑块1-6上，限位块1-3上具有物料放置槽1-3x，测试针1-5安装在底座1-1上。

测试针模块1还包括安装座1-7和盖板1-4，安装座1-7安装在底座1-1上，安装座1-7上具有用于安装测试针1-5的安装槽1-7x，盖板1-4安装在安装座1-7上，盖板1-4上还具有与测试针1-5相配合的定位凸块1-4x，通过盖板1-4上的定位凸台对测试针1-5进行精确限位，方便快速更换易损件测试针1-5，更换后无需额外调试；在本实施例中，安装座1-7和盖板1-4的数量均为两个。

调节组件包括XY轴调节板5、Z轴立柱4和Z轴调节螺丝3，Z轴立柱4安装在XY轴调节板5上，模块支架2滑动连接在Z轴立柱4上，模块支架2上安装有连接件8，Z轴调节螺丝3螺纹连接在连接件8上，Z轴调节螺丝3端部与Z轴立柱4相抵靠，在本实施例中，XY轴调节板5采用现有结构与整个设备的机架相连，且XY轴调节板5可相对机架左右前后调整，这点采用的是现有技术，XY轴调节板5可以采用比如专利号2020212386579中的现有结构。

Z轴立柱4上具有条形孔，模块支架2上具有螺纹孔，锁紧螺栓9穿过条形孔与螺纹孔螺纹连接，采用该结构，在模块支架2高低位置调整好后，通过锁紧螺栓9将模块支架2锁定住。

模块支架2一侧具有呈凸出的导向条2y，模块支架2另一侧具有导向片2x，导向条2y与导向片2x两者之间形成用于与Z轴立柱4滑动连接的导向部。

Z轴立柱4安装在连接座10上，连接座10安装在XY轴调节板5上。

滑块1-6上还具有用于限制限位块1-3的限制部1-6x；限位块1-3粘连在滑块1-6上，采用该结构，可方便对限位块1-3进行拆装更换。

限位块1-3的选材为陶瓷，可使其绝缘且耐磨，使用寿命长；在实际应用中，通过改变限位块1-3的物料放置槽1-3x尺寸可兼容不同大小的物料7；当然，限位块1-3的选材根据实际，也可以选择其它材料。

本实用新型中：测试针模块1固定于模块支架2上，通过Z轴调节螺丝3可调整模块支架2在Z轴立柱4上的高低位置，即可调整测试针模块1的高度位置，通过XY轴调节模块与整个设备的机架相连接，可精细调整测试针模块1的左右前后位置；即通过Z轴调节螺丝3与XY轴调节模块相配合，可对测试针模块1位置进行精确调整，使得测试针1-5稳定可靠的接触产品所需测试区域，测试准确性大大提高。

安装座1-7通过与盖板1-4相配合，精确固定了测试针1-5；限位块1-3粘连于滑块1-6，随滑块1-6在滑块座1-8中仅可上下滑动，通过弹性复位件1-2实现其复位；当吸嘴6将物料7下压后，限位块1-3将物料7四周包围，防止物料7在XY轴方向偏移，物料7下压接触限位块1-3后，继续随滑块1-6下压直至物料7完全接触测试针1-5后，可对物料7进行电气测试。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (9)

1.一种半导体测试模块，包括模块支架(2)，其特征在于，所述模块支架(2)上安装有测试针模块(1)，模块支架(2)还与一调节组件相连，测试针模块(1)包括测试针(1-5)、滑块(1-6)、滑块座(1-8)、限位块(1-3)和底座(1-1)，底座(1-1)安装在模块支架(2)上，滑块座(1-8)安装在底座(1-1)上，滑块(1-6)能上下移动地设置在滑块座(1-8)上，滑块(1-6)还与一弹性复位件(1-2)连接，限位块(1-3)连接在滑块(1-6)上，限位块(1-3)上具有物料放置槽(1-3x)，测试针(1-5)安装在底座(1-1)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述测试针模块(1)还包括安装座(1-7)和盖板(1-4)，安装座(1-7)安装在底座(1-1)上，安装座(1-7)上具有用于安装测试针(1-5)的安装槽(1-7x)，盖板(1-4)安装在安装座(1-7)上，盖板(1-4)上还具有与测试针(1-5)相配合的定位凸块(1-4x)。

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述调节组件包括XY轴调节板(5)、Z轴立柱(4)和Z轴调节螺丝(3)，Z轴立柱(4)安装在XY轴调节板(5)上，模块支架(2)滑动连接在Z轴立柱(4)上，模块支架(2)上安装有连接件(8)，Z轴调节螺丝(3)螺纹连接在连接件(8)上，Z轴调节螺丝(3)端部与Z轴立柱(4)相抵靠。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述Z轴立柱(4)上具有条形孔，模块支架(2)上具有螺纹孔，锁紧螺栓(9)穿过条形孔与螺纹孔螺纹连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述模块支架(2)一侧具有呈凸出的导向条(2y)，模块支架(2)另一侧具有导向片(2x)，导向条(2y)与导向片(2x)两者之间形成用于与Z轴立柱(4)滑动连接的导向部。

6.根据权利要求3所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述Z轴立柱(4)安装在连接座(10)上，连接座(10)安装在XY轴调节板(5)上。

7.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述滑块(1-6)上还具有用于限制限位块(1-3)的限制部(1-6x)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述限位块(1-3)粘连在滑块(1-6)上。

9.根据权利要求1所述的一种半导体测试模块，其特征在于，所述限位块(1-3)的选材为陶瓷。

Images