CN216045539U - 一种真空闸板阀门机构 - Google Patents
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Abstract
一种真空闸板阀门机构，包括腔室上盖、阀门腔室、阀门侧壁、门板、旋转板、两个提升件、固定板、提升轴、气缸、底板、两个导向销、两个轴承和传力轴，所述阀门腔室设置在阀门侧壁上方并与阀门侧壁固定连接，所述门板设置在阀门腔室内，所述气缸设置在阀门侧壁下部，且气缸的缸体与阀门侧壁固定连接；本实用新型所述的一种真空闸板阀门机构，门板以仰面贴合并压紧的关闭形式密封住阀门腔室的连通口，避免门板密封面与阀门连通口内端密封面产生摩擦，从而不会产生颗粒污染阀门腔室；门板旋转密封的形式，并且由于密封面完全贴合，大大地提高了阀门的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体刻蚀装备技术领域，尤其涉及一种真空闸板阀门机构。
背景技术
真空闸板阀是半导体刻蚀装备的关键部件，其快速的启闭，高的重复运行寿命，以及高气密性，起到隔绝、联通各个工艺腔室的作用。
现有的应用于半导体工艺腔室内的真空闸板阀，其启闭过程中门板存在二个动作。闸板关闭时：门板上升，摆动关闭；闸板开启时：门板摆动开启，下降。上述两个动作通过先后驱动两个气缸实现，但是由于闸板零件的制造误差以及装配误差，以及气动精度的缺陷，门板在未完全完成一个动作时，就立即进行了下一个动作，导致了门板密封面与阀门连通口内端密封面产生轻微的摩擦，并产生颗粒，在上百次的运行过程中，颗粒不仅污染了工艺腔室，并且由于密封面不完全贴合，而极大地降低了阀门的使用寿命。
实用新型内容
为了克服上述技术的不足，本实用新型的目的是提供一种真空闸板阀门机构。
本实用新型所采用的技术方案是：一种真空闸板阀门机构，包括腔室上盖、阀门腔室、阀门侧壁、门板、旋转板、两个提升件、固定板、提升轴、气缸、底板、两个导向销、两个轴承和传力轴，所述阀门腔室设置在阀门侧壁上方并与阀门侧壁固定连接，所述门板设置在阀门腔室内，所述气缸设置在阀门侧壁下部，且气缸的缸体与阀门侧壁固定连接，所述旋转板的下部设置在阀门腔室与气缸之间，所述两个轴承对称固定安装在旋转板下部两端，旋转板上部伸入至阀门腔室内并与门板固定连接，所述传力轴的两端分别穿设在所述两个轴承内，所述两个提升件均与传力轴的中部固定连接，所述提升轴的底部与气缸的伸缩杆固定连接，提升轴的顶部通过固定板与两个提升件固定连接，所述阀门腔室上设置有连通口，连通口位于阀门腔室内的端部密封面倾斜向下设置，所述旋转板的两端各对称设置有一个导向槽，所述导向槽包括竖直设置的提升槽段和倾斜设置的旋转槽段，提升槽段设置在旋转槽段上方，所述两个导向销对称固定安装在阀门侧壁两端上部，所述两个导向销分别伸入在两个导向槽中。
所述腔室上盖固定安装在阀门腔室顶部。
所述底板固定安装在阀门侧壁底部。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型所述的一种真空闸板阀门机构，门板以仰面贴合并压紧的关闭形式密封住阀门腔室的连通口，避免门板密封面与阀门连通口内端密封面产生摩擦，从而不会产生颗粒污染阀门腔室；门板旋转密封的形式，并且由于密封面完全贴合，大大地提高了阀门的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1中A处的局部放大示意图；
图3是本实用新型开启状态时的结构示意图；
图4是本实用新型关闭状态时的结构示意图；
图5是本实用新型中传力轴的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明。
如图1至图5所示，一种真空闸板阀门机构，包括腔室上盖1、阀门腔室2、阀门侧壁3、门板4、旋转板5、两个提升件6、固定板7、提升轴8、气缸9、底板10、两个导向销11、两个轴承12和传力轴13，所述阀门腔室2设置在阀门侧壁3上方并与阀门侧壁3固定连接，所述门板4设置在阀门腔室2内，所述气缸9设置在阀门侧壁3下部，且气缸9的缸体与阀门侧壁3固定连接，所述旋转板5的下部设置在阀门腔室2与气缸9之间，所述两个轴承12对称固定安装在旋转板5下部两端，旋转板5上部伸入至阀门腔室2内并与门板4固定连接，所述传力轴13的两端分别穿设在所述两个轴承12内，所述两个提升件6均与传力轴13的中部固定连接，所述提升轴8的底部与气缸9的伸缩杆固定连接，提升轴8的顶部通过固定板7与两个提升件6固定连接，所述阀门腔室2上设置有连通口15，连通口15位于阀门腔室2内的端部密封面倾斜向下设置，所述旋转板5的两端各对称设置有一个导向槽14，所述导向槽14包括竖直设置的提升槽段1401和倾斜设置的旋转槽段1402，提升槽段1401设置在旋转槽段1402上方，所述两个导向销11对称固定安装在阀门侧壁3两端上部，所述两个导向销11分别伸入在两个导向槽14中。
门板密封面与连通口位于阀门腔室内的端部密封面之间平面度要求0.01mm及以下，门板密封面边缘设燕尾槽，并用全氟橡胶在燕尾槽内一体硫化O型密封圈。
连通口阀门腔室内的端部密封面沿门板到连通口方向倾斜向下设置，使得与门板关闭动作贴合。
阀门腔室和阀门侧壁通过通过定位销定位后再通过螺钉连接，螺钉进行固定，提高整个对称机构的装配精度。
阀门侧壁设有与导向销配合的定位孔，旋转板外侧设有导向槽，导向销可为钢制销，一端固定在阀门侧壁的定位孔内，露出端可在导向槽内滑动。
提升槽段和旋转槽段之间的夹角与连通口阀门腔室内的端部密封面倾斜角度一致，优选为3度到5度。旋转槽段沿旋转板到阀门侧壁方向倾斜向下设置。
传力轴中部横截面为正方形，用于传输气缸向上的提升力。通过传力轴与两个轴承的配合，提高零部件安装对中度的同时，允许旋转板带动门板绕传力轴作旋转运动。
门板、旋转板、阀门腔室内壁需进行本色阳极氧化处理，膜厚30±5μm。
所述腔室上盖固定安装在阀门腔室顶部。
所述底板固定安装在阀门侧壁底部。
工作原理，本实用新型开启时，即需要使门板远离门腔室的连通口时，气缸的伸缩杆缩回，从而使门板、旋转板、两个提升件、固定板、提升轴、两个轴承和传力轴均向下移动，从而使连通口可以与其它工艺腔室连通。
本实用新型关闭时，即需要使门板密封住连通口时，气缸的伸缩杆伸出，从而使门板、旋转板、两个提升件、固定板、提升轴、两个轴承和传力轴均向上移动，由于两个导向销始终固定不动，当导向销经过导向槽的旋转槽段时，通过传力轴与两个轴承的配合，使旋转板绕传力轴产生旋转，从而使门板的倾斜角度与连通口位于阀门腔室内的端部密封面倾斜角度一致，然后门板覆盖在连通口位于阀门腔室内的端部密封面上，从而使连通口与其它工艺腔室不连通。
上述实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于上述的实施例。
Claims (3)
1.一种真空闸板阀门机构，其特征在于：包括腔室上盖(1)、阀门腔室(2)、阀门侧壁(3)、门板(4)、旋转板(5)、两个提升件(6)、固定板(7)、提升轴(8)、气缸(9)、底板(10)、两个导向销(11)、两个轴承(12)和传力轴(13)，所述阀门腔室(2)设置在阀门侧壁(3)上方并与阀门侧壁(3)固定连接，所述门板(4)设置在阀门腔室(2)内，所述气缸(9)设置在阀门侧壁(3)下部，且气缸(9)的缸体与阀门侧壁(3)固定连接，所述旋转板(5)的下部设置在阀门腔室(2)与气缸(9)之间，所述两个轴承(12)对称固定安装在旋转板(5)下部两端，旋转板(5)上部伸入至阀门腔室(2)内并与门板(4)固定连接，所述传力轴(13)的两端分别穿设在所述两个轴承(12)内，所述两个提升件(6)均与传力轴(13)的中部固定连接，所述提升轴(8)的底部与气缸(9)的伸缩杆固定连接，提升轴(8)的顶部通过固定板(7)与两个提升件(6)固定连接，所述阀门腔室(2)上设置有连通口(15)，连通口(15)位于阀门腔室(2)内的端部密封面倾斜向下设置，所述旋转板(5)的两端各对称设置有一个导向槽(14)，所述导向槽(14)包括竖直设置的提升槽段(1401)和倾斜设置的旋转槽段(1402)，提升槽段(1401)设置在旋转槽段(1402)上方，所述两个导向销(11)对称固定安装在阀门侧壁(3)两端上部，所述两个导向销(11)分别伸入在两个导向槽(14)中。
2.如权利要求1所述的一种真空闸板阀门机构，其特征在于：所述腔室上盖(1)固定安装在阀门腔室(2)顶部。
3.如权利要求1所述的一种真空闸板阀门机构，其特征在于：所述底板(10)固定安装在阀门侧壁(3)底部。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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2021
- 2021-10-21 CN CN202122539173.9U patent/CN216045539U/zh active Active
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