CN216000111U - 一种用于夹盘喷砂的保护结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于夹盘喷砂的保护结构，包括夹盘和对夹盘装配部位进行遮蔽的治具，治具可拆卸连接在夹盘上。治具根据需要遮蔽部位的形状进行仿形设计，治具为异形、圆形或多边形结构等，本实用新型彻底改变了传统的喷砂胶带遮蔽保护方式，使用仿形治具直接填充需要保护的部位，避免贴胶困难、且容易在夹盘表面留下残胶与胶印的问题。

Description

一种用于夹盘喷砂的保护结构

技术领域

本实用新型属于夹盘喷砂技术领域，具体涉及一种用于夹盘喷砂的保护结构。

背景技术

半导体制程中用到PVD、CVD、ETCH、PHOTO、CMP、扩散等工艺，其中PVD是利用物理气象沉积的方法将需要的金属物质以溅射的方式沉积到硅片表面。此工序会用到各种不同名称的PVD装置，MRC是其中一种较为常见的机台。在沉积金属物质的过程中，我们只希望金属物质沉积在硅片的表面，因此需要对机台内部其它构造进行遮蔽，其中夹盘就是较为关键的部件，因为它是直接与硅片接触的部件。为了能够最大限度的吸附金属沉积物，在再生清洗过程中会使用喷砂工艺对夹盘表面进行增粗处理。在喷砂增粗前需要对夹盘的特定位置使用喷砂胶带进行遮蔽保护，避免砂砾溅到光滑表面，影响夹盘与其它部件的装配。

针对喷砂部件遮蔽保护的常规做法是使用喷砂胶带对不需要喷砂部位进行贴胶带保护，对于一些形状不规则的部件，员工贴胶带操作不方便，喷砂时胶带容易被砂材打碎，造成部品污染，且取下胶带的时候容易在部品表面残留胶印。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、使用方便的用于夹盘喷砂的保护结构，改变了传统的喷砂胶带遮蔽保护方式，使用仿形治具直接填充需要保护的部位，避免残胶与胶印的问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：一种用于夹盘喷砂的保护结构，包括夹盘和对夹盘装配部位进行遮蔽的治具，治具可拆卸连接在夹盘上。

进一步的，所述夹盘上设有用于与弹片装配的凹槽，凹槽沿夹盘的圆周方向均匀分布。

进一步的，所述治具为板状结构，治具的形状与凹槽的形状相同，治具连接在夹盘上位于凹槽的上方并对凹槽进行遮蔽。

进一步的，所述治具上设有定位孔，治具通过紧固件与定位孔配合紧固连接在夹盘上。

进一步的，所述凹槽的底部设有与定位孔配合的装配孔，紧固件的一端穿过定位孔与装配孔配合。

进一步的，所述装配孔为螺纹孔，紧固件包括螺柱和螺母，螺柱的一端穿过定位孔与凹槽的底部的装配孔配合紧固，螺母套接在螺柱另一端并与治具贴合进行紧固。

进一步的，所述治具为异形、圆形或多边形结构。

采用本实用新型技术方案的优点为：

1、本实用新型的治具根据需要遮蔽部位的形状进行仿形设计，治具为异形、圆形或多边形结构等，改变了传统的喷砂胶带遮蔽保护方式，使用仿形治具直接填充需要保护的部位，避免贴胶困难、且容易在夹盘表面留下残胶与胶印的问题。

2、本实用新型定位孔和装配孔的设置用于固定治具，防止在搬运或者喷砂过程中，治具滑落、偏移，造成保护不彻底的现象出现；治具的外形要契合需要遮蔽的部位，使用仿形治具进行保护对员工技能要求低，适合批量生产。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1为本实用新型用于夹盘喷砂的保护结构示意图；

图2为本实用新型异形治具的结构示意图。

上述图中的标记分别为：1夹盘；2、治具；21、定位孔。

具体实施方式

在本实用新型中，需要理解的是，术语“长度”；“宽度”；“上”；“下”；“前”；“后”；“左”；“右”；“竖直”；“水平”；“顶”；“底”“内”；“外”；“顺时针”；“逆时针”；“轴向”；“平面方向”；“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位；以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1、图2所示，一种用于夹盘喷砂的保护结构，包括夹盘1和对夹盘装配部位进行遮蔽的治具2，治具2可拆卸连接在夹盘1上。治具2根据需要遮蔽部位的形状进行仿形设计，治具2为异形、圆形或多边形结构等，本实用新型彻底改变了传统的喷砂胶带遮蔽保护方式，使用仿形治具直接填充需要保护的部位，避免贴胶困难、且容易在夹盘表面留下残胶与胶印的问题。

夹盘1上设有用于与弹片装配的凹槽，凹槽沿夹盘1的圆周方向均匀分布。治具2为板状结构，治具2的形状与凹槽的形状相同，治具2连接在夹盘1上位于凹槽的上方并对凹槽进行遮蔽；治具2的尺寸略大于凹槽，确保能将凹槽进行完全遮蔽。

治具2上设有定位孔21，治具2通过紧固件与定位孔21配合紧固连接在夹盘1上。凹槽的底部设有与定位孔21配合的装配孔，紧固件的一端穿过定位孔21与装配孔配合。

装配孔为螺纹孔，紧固件包括螺柱和螺母，螺柱的一端穿过定位孔21与凹槽的底部的装配孔配合紧固，螺母套接在螺柱另一端并与治具2贴合进行紧固。

定位孔和装配孔的设置用于固定治具，防止在搬运或者喷砂过程中，治具滑落、偏移，造成保护不彻底的现象出现。治具2的外形要契合需要遮蔽的部位，使用仿形治具进行保护对员工技能要求低，适合批量生产。

以上结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种用于夹盘喷砂的保护结构，其特征在于：包括夹盘(1)和对夹盘装配部位进行遮蔽的治具(2)，治具(2)可拆卸连接在夹盘(1)上；所述夹盘(1)上设有用于与弹片装配的凹槽，凹槽沿夹盘(1)的圆周方向均匀分布；所述治具(2)为板状结构，治具(2)的形状与凹槽的形状相同，治具(2)连接在夹盘(1)上位于凹槽的上方并对凹槽进行遮蔽；所述治具(2)上设有定位孔(21)，治具(2)通过紧固件与定位孔(21)配合紧固连接在夹盘(1)上；所述凹槽的底部设有与定位孔(21)配合的装配孔，紧固件的一端穿过定位孔(21)与装配孔配合。

2.如权利要求1所述的一种用于夹盘喷砂的保护结构，其特征在于：所述装配孔为螺纹孔，紧固件包括螺柱和螺母，螺柱的一端穿过定位孔(21)与凹槽的底部的装配孔配合紧固，螺母套接在螺柱另一端并与治具(2)贴合进行紧固。

3.如权利要求1或2所述的一种用于夹盘喷砂的保护结构，其特征在于：所述治具(2)为圆形或多边形结构。

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