CN215910363U - 一种半导体加工用测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工用测试装置，包括底座、设置于所述底座顶端的机架和工业摄像头，所述机架顶端表面固定安装有气缸，所述气缸输出端贯穿机架且固定安装有驱动部，所述驱动部底端表面固定安装有连接部，所述连接部底部四周开设有向上延伸的容纳槽，所述工业摄像头顶端固定安装有固定板；本实用新型结构简单，操作方便快捷，制作成本低且性能安全可靠，在对摄像头进行拆卸时，只需先将锁止板上的紧固螺栓拆下，然后再向下拉动固定板，则能将滑板从容纳槽内抽出，从而可实现对工业摄像头的拆卸，安装过程与上述步骤相反，使得在工业摄像头遇到损坏而需要维修或拆卸替换时，更加的方便快捷，便于检修人员对其进行拆装。

Description

一种半导体加工用测试装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用测试装置。

背景技术

半导体测试工艺属于半导体产业的关键领域，半导体测试包括CP测试，CP测试也称晶圆测试，是半导体器件后道封装测试的第一步，目的是将晶圆中的不良芯片挑选出来。通常，晶圆指制作集成电路所用的硅片，在晶圆上的集成电路全部制作完成后，晶圆上包含若干个芯片，在半导体的生产中，随着晶圆尺寸的增大和元器件尺寸的缩小，一片晶圆可划分成数千个相同或不同的芯片，由于生产设计或材料本身的特性，生产的晶圆中除了包括有正常芯片外，还可能存在有缺陷芯片，通常需要对生产后的晶圆产品进行缺陷测试，以此来保证出厂时晶圆产品的质量。

但是，目前市场上传统的测试装置通常为一体式结构，摄像头无法进行局部拆卸，当出现故障损坏而需要进行维修或拆除时，也就较为繁琐，往往需要耗费较长的时间，不便于操作人员进行检修。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用测试装置，以解决传统测试装置的摄像头无法进行局部拆卸的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用测试装置，包括底座、设置于所述底座顶端的机架和工业摄像头，所述机架顶端表面固定安装有气缸，所述气缸输出端贯穿机架且固定安装有驱动部，所述驱动部底端表面固定安装有连接部，所述连接部底部四周开设有向上延伸的容纳槽，所述工业摄像头顶端固定安装有固定板，所述固定板顶端四周固定安装有滑板，所述滑板与所述容纳槽相适应、且一一对应设置。

优选的，所述容纳槽底端开设有向上延伸的插槽，所述滑板内壁表面固定安装有插块，所述插块与所述插槽相适应、且一一对应设置。

优选的，所述连接部外壁四周位于容纳槽两侧处固定安装有锁止板，所述滑板顶端固定连接有导向块。

优选的，所述导向块表面开设有螺栓孔，所述锁止板外部螺纹安装有紧固螺栓。

优选的，所述驱动部外壁两侧固定安装有限位杆，所述机架内壁表面开设有与限位杆相匹配的限位槽，所述限位杆在所述限位槽内滑动。

优选的，所述底座顶端表面固定安装有工作台。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，操作方便快捷，制作成本低且性能安全可靠，在对摄像头进行拆卸时，只需先将锁止板上的紧固螺栓拆下，然后再向下拉动固定板，则能将滑板从容纳槽内抽出，从而可实现对工业摄像头的拆卸，安装过程与上述步骤相反，使得在工业摄像头遇到损坏而需要维修或拆卸替换时，更加的方便快捷，便于检修人员对其进行拆装，同时也提高了工作的效率，便于使用。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的连接部和固定板装配结构示意图；

图3为本实用新型的固定板正视图；

图4为本实用新型的连接部仰视图；

图5为本实用新型的固定板俯视图。

图中：10-底座；20-机架；21-气缸；22-驱动部；23-连接部；24-锁止板；25-容纳槽；26-插槽；30-工业摄像头；31-固定板；32-滑板；33-导向块；34-螺栓孔；35-插块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体加工用测试装置，包括底座10、设置于底座10顶端的机架20和工业摄像头30，机架20顶端表面固定安装有气缸21，气缸21输出端贯穿机架20且固定安装有驱动部22，驱动部22底端表面固定安装有连接部23，连接部23底部四周开设有向上延伸的容纳槽25，工业摄像头30顶端固定安装有固定板31，固定板31顶端四周固定安装有滑板32，滑板32与容纳槽25相适应、且一一对应设置。

本实施例中，具体的，进一步地，气缸21和工业摄像头30分别接通外接电源，并通过开关进行控制。

进一步地，在对摄像头进行拆卸时，只需先将锁止板24上的紧固螺栓拆下，然后再向下拉动固定板31，则能将滑板32从容纳槽25内抽出，从而可实现对工业摄像头30的拆卸，安装过程与上述步骤相反，使得在工业摄像头遇到损坏而需要维修或拆卸替换时，更加的方便快捷，便于检修人员对其进行拆装。

其中，容纳槽25底端开设有向上延伸的插槽26，滑板32内壁表面固定安装有插块35，插块35与插槽26相适应、且一一对应设置。

进一步地，在对摄像头进行安装时，先将滑板32插入容纳槽25内，同时插块35也会插入插槽26内，能够提高滑板32与容纳槽25连接的牢固性，提高了工业摄像头30安装的稳定性。

其中，连接部23外壁四周位于容纳槽25两侧处固定安装有锁止板24，滑板32顶端固定连接有导向块33，导向块33表面开设有螺栓孔34，锁止板24外部螺纹安装有紧固螺栓，在将滑板32插入容纳槽25内后，导向块33也会移动至锁止板24内侧，然后再将紧固螺栓依次穿过锁止板24和螺栓孔34，即能将导向块33固定在锁止板24上，可实现对工业摄像头30的安装固定。

其中，驱动部22外壁两侧固定安装有限位杆，机架20内壁表面开设有与限位杆相匹配的限位槽，限位杆在限位槽内滑动。

进一步地，当气缸21带动驱动部22进行上下移动时，也会带动限位杆在限位槽内进行移动，能够提高工业摄像头30移动时的平稳性。

其中，底座10顶端表面固定安装有工作台。

工作原理：在对摄像头进行拆卸时，只需先将锁止板24上的紧固螺栓拆下，然后再向下拉动固定板31，则能将滑板32从容纳槽25内抽出，从而可实现对工业摄像头30的拆卸，在对摄像头进行安装时，先将滑板32插入容纳槽25内，同时插块35也会插入插槽26内，在将滑板32插入容纳槽25内后，导向块33也会移动至锁止板24内侧，然后再将紧固螺栓依次穿过锁止板24和螺栓孔34，即能将导向块33固定在锁止板24上，可实现对工业摄像头30的安装固定。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体加工用测试装置，包括底座（10）、设置于所述底座（10）顶端的机架（20）和工业摄像头（30），所述机架（20）顶端表面固定安装有气缸（21），所述气缸（21）输出端贯穿机架（20）且固定安装有驱动部（22），其特征在于：所述驱动部（22）底端表面固定安装有连接部（23），所述连接部（23）底部四周开设有向上延伸的容纳槽（25），所述工业摄像头（30）顶端固定安装有固定板（31），所述固定板（31）顶端四周固定安装有滑板（32），所述滑板（32）与所述容纳槽（25）相适应、且一一对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置，其特征在于：所述容纳槽（25）底端开设有向上延伸的插槽（26），所述滑板（32）内壁表面固定安装有插块（35），所述插块（35）与所述插槽（26）相适应、且一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置，其特征在于：所述连接部（23）外壁四周位于容纳槽（25）两侧处固定安装有锁止板（24），所述滑板（32）顶端固定连接有导向块（33）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用测试装置，其特征在于：所述导向块（33）表面开设有螺栓孔（34），所述锁止板（24）外部螺纹安装有紧固螺栓。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置，其特征在于：所述驱动部（22）外壁两侧固定安装有限位杆，所述机架（20）内壁表面开设有与限位杆相匹配的限位槽，所述限位杆在所述限位槽内滑动。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置，其特征在于：所述底座（10）顶端表面固定安装有工作台。

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