CN215869280U - 一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，由大底板、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台组成；Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置、Y轴动力传动组件、Y轴滑块、Y轴柔性传动件、Y轴滑板等；X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置、X轴动力传动组件、X轴一级滑块、X轴二级滑块、玻片架载台底座、X轴一级柔性传动件、X轴二级柔性传动件等。本实用新型采用柔性传动方式，可以有效地在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程中引入的振动，优化了减振效果，提高了移动精度，进而能够实现玻片架的无振动移动，真实还原样本的自然状态，提升成像效果，为检验结果的精确性提供可靠保证。

Description

一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构

技术领域

本实用新型属于机器视觉成像或电镜扫描技术领域，具体涉及一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构。

背景技术

在机器视觉成像或电镜扫描领域中，为了还原检测样本的自然状态以及保证检测结果的准确性，对于玻片架载台的移动平行度的要求非常高。但是现有的玻片架载台运动机构大多采用硬连接的传动方式，因此通常存在减振效果不佳，移动精度不高等问题，很容易造成扫描或成像效果不理想，无法保证样本检测结果的准确性。而且现有的玻片架载台运动机构的结构较为复杂，整体体积也相对较大，投资成本也高，无法满足今后对视觉成像系统或电子显微镜结构小型化、紧凑化的要求。

实用新型内容

针对现有技术存在的缺陷，本实用新型提供了一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，能有效在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程所引入的轻微震动，真实还原样本的自然状态，对检验结果的精确性提供可靠保证。

为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，由大底板、 Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台组成；

所述Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置、Y轴动力传动组件、Y轴一级线性滑轨、两条Y轴二级线性滑轨、Y轴滑块、Y 轴柔性传动件、Y轴柔性传动件第一固定组件、Y轴滑板和Y轴柔性传动件第二固定组件；所述Y轴一级线性滑轨和两条所述Y轴二级线性滑轨在Y轴方向平行地设置在所述大底板的上表面，所述Y 轴滑块设置在所述Y轴一级线性滑轨上，所述Y轴滑板共同设置在两条所述Y轴二级线性滑轨上，所述Y轴动力装置设置在所述大底板上，且所述Y轴动力装置通过所述Y轴动力传动组件与所述Y 轴滑块传动连接，所述Y轴柔性传动件第一固定组件设置在所述Y 轴滑块上，所述Y轴柔性传动件第二固定组件设置在所述Y轴滑板上，所述Y轴柔性传动件连接在所述Y轴柔性传动件第一固定组件和所述Y轴柔性传动件第二固定组件之间，所述Y轴滑块通过所述 Y轴柔性传动件与所述Y轴滑板柔性传动连接；

所述X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置、X轴动力传动组件、X轴一级线性滑轨、X轴二级线性滑轨、X轴主滑轨、X轴一级滑块、X轴二级滑块、玻片架载台底座、X轴一级柔性传动件、 X轴一级柔性传动件第一固定组件、X轴一级柔性传动件第二固定组件、X轴二级柔性传动件、X轴二级柔性传动件第一固定组件和 X轴二级柔性传动件第二固定组件；所述X轴一级线性滑轨、所述 X轴二级线性滑轨、所述X轴主滑轨在X轴方向平行地设置在所述 Y轴滑板的上表面，所述X轴一级滑块设置在所述X轴一级线性滑轨上，所述X轴二级滑块设置在所述X轴二级线性滑轨上，所述玻片架载台底座设置在所述X轴主滑轨上，所述X轴动力装置设置在所述玻片架载台底座上，且所述X轴动力装置通过所述X轴动力传动组件与所述X轴一级滑块传动连接，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件设置在所述X轴一级滑块上，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件设置在所述X轴二级滑块上，所述X轴一级柔性传动件连接在所述X轴一级柔性传动件第一固定组件和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件之间，所述X轴一级滑块通过所述X轴一级柔性传动件与所述X轴二级滑块柔性传动连接，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件与所述述X轴一级柔性传动件第二固定组件固定连接，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件设置在所述玻片架载台底座上，所述X轴二级柔性传动件连接在所述X轴二级柔性传动件第一固定组件和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件之间，所述X轴二级滑块通过所述X轴二级柔性传动件与所述玻片架载台底座柔性传动连接，所述玻片架载台设置在所述玻片架载台底座的上表面。

进一步的，所述Y轴滑板的内侧面紧挨着所述Y轴滑块的内侧面，且所述Y轴滑块的下表面高于所述Y轴滑板的上表面，所述Y 轴柔性传动件第一固定组件竖直向上地固定在所述Y轴滑块上表面的内侧端，所述Y轴柔性传动件第二固定组件竖直向下的固定在所述Y轴滑板下表面的内侧端，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件与所述Y轴柔性传动件第二固定组件的位置上下对应，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件和所述Y轴柔性传动件第二固定组件通过所述Y轴柔性传动件连接，从而尽可能地减小所述Y轴滑板与所述 Y轴滑块之间的间距，使机构整体结构紧凑。

进一步的，所述Y轴柔性传动件第一固定组件为两个在Y轴方向上对称设置的Y轴柔性传动件端部固定座，所述Y轴柔性传动件第二固定组件为一个Y轴柔性传动件中部固定座，且所述Y轴柔性传动件中部固定座位于两个所述Y轴柔性传动件端部固定座的中间，所述Y轴柔性传动件的两端分别通过对应的Y轴柔性传动件端部压块与两个所述Y轴柔性传动件端部固定座固定连接，所述Y轴柔性传动件的中部则通过对应的Y轴柔性传动件中部压块与所述Y 轴柔性传动件中部固定座固定连接。

进一步的，所述Y轴柔性传动件中部压块通过一条对应的Y轴柔性传动件中部Z轴线性小滑轨安装在所述Y轴柔性传动件中部固定座上，两块所述Y轴柔性传动件端部压块分别通过一条对应的Y 轴柔性传动件端部Z轴线性小滑轨安装在两个所述Y轴柔性传动件端部固定座上，从而可以进一步减小传动过程中所述Y轴柔性传动件在Z轴方向上的应力变化。

进一步的，两个所述Y轴柔性传动件端部固定座分别通过一条对应的Y轴柔性传动件端部X轴线性小滑轨安装在所述Y轴滑块的上表面，从而可以进一步减小传动过程中所述Y轴柔性传动件在 X轴方向上的应力变化，优化减振效果。

进一步的，所述X轴二级滑块的一个侧面紧挨着所述X轴一级滑块的内侧面，且所述X轴二级滑块的上表面与所述X轴一级滑块的上表面持平，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件竖直向上地固定在所述X轴一级滑块上表面的内侧端，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件竖直向上地固定在所述X轴二级滑块的上表面，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件与所述X轴一级柔性传动件第二固定组件的位置前后对应，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件通过所述X轴一级柔性传动件连接；同时，所述玻片架载台底座的内侧面紧挨着所述 X轴二级滑块的另一个侧面，且所述玻片架载台底座的上表面高于所述X轴二级滑块的上表面，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件固定在所述X轴一级柔性传动件第二固定组件的顶部，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件竖直向上地固定在所述玻片架载台底座上表面的内侧端，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件与所述 X轴二级柔性传动件第二固定组件的位置前后对应，且所述X轴二级柔性传动件第一固定组件和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件通过所述X轴二级柔性传动件连接，从而尽可能地减小所述X轴二级滑块与所述X轴一级滑块之间以及所述玻片架载台底座与所述 X轴二级滑块之间的间距，使机构整体结构紧凑。

进一步的，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件为两个沿X 轴方向对称设置的X轴一级柔性传动件端部固定座，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件为一个X轴一级柔性传动件中部固定座，所述X轴一级柔性传动件中部固定座位于两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座的中间，所述X轴一级柔性传动件的两端通过对应的X轴一级柔性传动件端部压块与两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座固定连接，所述X轴一级柔性传动件的中部通过对应的X 轴一级柔性传动件中部压块与所述X轴一级柔性传动件中部固定座固定连接；同时，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件为一个X 轴二级柔性传动件中部固定座，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件包括一块Y型连接板和两个X轴二级柔性传动件端部固定座，所述Y型连接板水平地悬设在所述玻片架载台底座上表面的内侧端，所述Y型连接板的主板与所述X轴一级柔性传动件中部固定座的顶部固定连接，所述Y型连接板的两块支板分别位于所述X轴二级柔性传动件中部固定座的左右两侧，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座分别设置在所述Y型连接板的两块支板上，所述X轴二级柔性传动件的两端通过对应的X轴二级柔性传动件端部压块与两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座固定连接，所述X轴二级柔性传动件的中部通过对应的X轴二级柔性传动件中部压块与所述 X轴二级柔性传动件中部固定座固定连接。

进一步的，所述X轴一级柔性传动件中部压块通过一条对应的 X轴一级柔性传动件中部Z轴线性小滑轨安装在所述X轴一级柔性传动件中部固定座上，两个所述X轴一级柔性传动件端部压块分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨安装在两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座上；同时，所述X轴二级柔性传动件中部压块通过一条对应的X轴二级柔性传动件中部Z轴线性小滑轨安装在所述X轴二级柔性传动件中部固定座上，两个所述 X轴二级柔性传动件端部压块分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨安装在两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座上，从而可以进一步减小传动过程中所述X轴一级柔性传动件和所述X轴二级柔性传动件在Z轴方向上的应力变化。

进一步的，两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨安装在所述X 轴一级滑块左右延伸部的上表面；同时，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨安装在所述Y型连接板的两块支板上，从而可以进一步减小传动过程中所述X轴一级柔性传动件和所述X轴二级柔性传动件在Y轴方向上的应力变化，优化减振效果。

进一步的，所述X轴一级柔性传动件、所述X轴二级柔性传动件和所述Y轴柔性传动件为传动软块或柔性传动线绳。

进一步的，所述柔性传动线绳必须为高强度、耐磨损、无弹性的线或绳。

进一步的，所述Y轴动力装置和所述X轴动力装置均为伺服电机，且所述Y轴动力传动组件和所述X轴动力传动组件均为齿轮齿条机构；所述伺服电机分别紧挨在所述Y轴滑块和所述X轴一级滑块的外侧，所述齿轮齿条机构中的齿轮分别安装在所述Y轴伺服电机和所述X轴伺服电机的输出轴上，所述齿轮齿条机构中的齿条分别设置在所述Y轴滑块和所述X轴一级滑块的外侧表面上；从而尽可能地减小所述Y轴动力装置与所述Y轴滑块之间以及所述X轴动力装置和所述X轴一级滑块之间的间距，使机构整体结构更加紧凑。

进一步的，每条滑轨的两端均设置有限位块或限位螺钉。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型将传统的硬传动方式改进为柔性传动方式，采用可进行自适应调节平行度的柔性连接件来逐级消减动力端与执行端之间动力传导过程中的应力变换，因此可以有效地在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程中引入的振动，优化了减振效果，提高了移动精度，进而能够实现玻片架的无振动移动，能够真实还原检测样本的自然状态，可以提升扫描或成像效果，对检验结果的精确性提供了可靠保证。

同时，本实用新型对整体结构进行优化设计，使得本机构具有构思新颖，结构紧凑，体积小巧，性能可靠，操作简便，配置合理使用，应用领域广泛，取材便利，成本不高等优点，可以满足今后对视觉成像系统或电子显微镜结构小型化、紧凑化、低成本的要求。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的整体结构立体图；

图2为本实用新型中Y轴柔性传动移动机构的局部放大图；

图3为本实用新型中X轴柔性传动移动机构的一级传动结构的局部放大图；

图4为本实用新型中X轴柔性传动移动机构的二级传动结构的局部放大图。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。此处所作说明用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

参见图1所示，一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，由大底板1、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台2组成；

所述Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置3、Y轴动力传动组件4、Y轴一级线性滑轨5、两条Y轴二级线性滑轨6、Y轴滑块7、Y轴柔性传动件8、Y轴柔性传动件第一固定组件9、Y轴滑板10和Y轴柔性传动件第二固定组件11；所述Y轴一级线性滑轨 5和两条所述Y轴二级线性滑轨6在Y轴方向平行地设置在所述大底板1的上表面，所述Y轴滑块7设置在所述Y轴一级线性滑轨5 上，所述Y轴滑板10共同设置在两条所述Y轴二级线性滑轨6上，所述Y轴动力装置3设置在所述大底板1上，且所述Y轴动力装置 3通过所述Y轴动力传动组件4与所述Y轴滑块7传动连接，所述 Y轴柔性传动件第一固定组件9设置在所述Y轴滑块7上，所述Y 轴柔性传动件第二固定组件11设置在所述Y轴滑板10上，所述Y 轴柔性传动件8连接在所述Y轴柔性传动件第一固定组件9和所述 Y轴柔性传动件第二固定组件11之间，所述Y轴滑块7通过所述Y 轴柔性传动件8与所述Y轴滑板10柔性传动连接；

所述X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置12、X轴动力传动组件13、X轴一级线性滑轨14、X轴二级线性滑轨15、X轴主滑轨16、X轴一级滑块17、X轴二级滑块18、玻片架载台底座 19、X轴一级柔性传动件20、X轴一级柔性传动件第一固定组件21、 X轴一级柔性传动件第二固定组件22、X轴二级柔性传动件23、X 轴二级柔性传动件第一固定组件24和X轴二级柔性传动件第二固定组件25；所述X轴一级线性滑轨14、所述X轴二级线性滑轨15、所述X轴主滑轨16在X轴方向平行地设置在所述Y轴滑板10的上表面，所述X轴一级滑块17设置在所述X轴一级线性滑轨14 上，所述X轴二级滑块18设置在所述X轴二级线性滑轨15上，所述玻片架载台底座19设置在所述X轴主滑轨16上，所述X轴动力装置12设置在所述玻片架载台底座19上，且所述X轴动力装置12 通过所述X轴动力传动组件13与所述X轴一级滑块17传动连接，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21设置在所述X轴一级滑块17上，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22设置在所述X 轴二级滑块18上，所述X轴一级柔性传动件20连接在所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22之间，所述X轴一级滑块17通过所述X轴一级柔性传动件20与所述X轴二级滑块18柔性传动连接，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件24与所述述X轴一级柔性传动件第二固定组件22固定连接，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件25设置在所述玻片架载台底座19上，所述X轴二级柔性传动件23连接在所述 X轴二级柔性传动件第一固定组件24和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件25之间，所述X轴二级滑块18通过所述X轴二级柔性传动件23与所述玻片架载台底座19柔性传动连接，所述玻片架载台2设置在所述玻片架载台底座19的上表面。

作为进一步的实施例，所述Y轴滑板10的内侧面紧挨着所述 Y轴滑块7的内侧面，且所述Y轴滑块7的下表面高于所述Y轴滑板10的上表面，所述Y轴柔性传动件第一固定组件9竖直向上地固定在所述Y轴滑块7上表面的内侧端，所述Y轴柔性传动件第二固定组件11竖直向下的固定在所述Y轴滑板10下表面的内侧端，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件9与所述Y轴柔性传动件第二固定组件11的位置上下对应，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件9和所述Y轴柔性传动件第二固定组件11通过所述Y轴柔性传动件 8连接，从而尽可能地减小所述Y轴滑板10与所述Y轴滑块7之间的间距，使机构整体结构紧凑。

作为进一步的实施例，参见图2所示，所述Y轴柔性传动件第一固定组件9为两个在Y轴方向上对称设置的Y轴柔性传动件端部固定座9a，所述Y轴柔性传动件第二固定组件11为一个Y轴柔性传动件中部固定座11a，且所述Y轴柔性传动件中部固定座11a位于两个所述Y轴柔性传动件端部固定座9a的中间，所述Y轴柔性传动件8的两端分别通过对应的Y轴柔性传动件端部压块9b与两个所述Y轴柔性传动件端部固定座9a固定连接，所述Y轴柔性传动件8的中部则通过对应的Y轴柔性传动件中部压块11b与所述Y 轴柔性传动件中部固定座11a固定连接。

作为进一步的实施例，参见图2所示，所述Y轴柔性传动件中部压块11b通过一条对应的Y轴柔性传动件中部Z轴线性小滑轨11c 安装在所述Y轴柔性传动件中部固定座11a上，两块所述Y轴柔性传动件端部压块9b分别通过一条对应的Y轴柔性传动件端部Z轴线性小滑轨9c安装在两个所述Y轴柔性传动件端部固定座9a上，从而可以进一步减小传动过程中所述Y轴柔性传动件8在Z轴方向上的应力变化。

作为进一步的实施例，参见图2所示，两个所述Y轴柔性传动件端部固定座9a分别通过一条对应的Y轴柔性传动件端部X轴线性小滑轨9d安装在所述Y轴滑块7的上表面，从而可以进一步减小传动过程中所述Y轴柔性传动件8在X轴方向上的应力变化，优化减振效果。

作为进一步的实施例，所述X轴二级滑块18的一个侧面紧挨着所述X轴一级滑块17的内侧面，且所述X轴二级滑块18的上表面与所述X轴一级滑块17的上表面持平，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21竖直向上地固定在所述X轴一级滑块17上表面的内侧端，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22竖直向上地固定在所述X轴二级滑块18的上表面，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21与所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22的位置前后对应，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21和所述 X轴一级柔性传动件第二固定组件22通过所述X轴一级柔性传动件20连接；同时，所述玻片架载台底座19的内侧面紧挨着所述X轴二级滑块18的另一个侧面，且所述玻片架载台底座19的上表面高于所述X轴二级滑块18的上表面，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件24固定在所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22的顶部，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件25竖直向上地固定在所述玻片架载台底座19上表面的内侧端，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件24与所述X轴二级柔性传动件第二固定组件25的位置前后对应，且所述X轴二级柔性传动件第一固定组件24和所述 X轴二级柔性传动件第二固定组件25通过所述X轴二级柔性传动件 23连接，从而尽可能地减小所述X轴二级滑块18与所述X轴一级滑块17之间以及所述玻片架载台底座19与所述X轴二级滑块18 之间的间距，使机构整体结构紧凑。

作为进一步的实施例，参见图3所示，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件21为两个沿X轴方向对称设置的X轴一级柔性传动件端部固定座21a，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件22 为一个X轴一级柔性传动件中部固定座22a，所述X轴一级柔性传动件中部固定座22a位于两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座 21a的中间，所述X轴一级柔性传动件20的两端通过对应的X轴一级柔性传动件端部压块21b与两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座21a固定连接，所述X轴一级柔性传动件20的中部通过对应的X轴一级柔性传动件中部压块22b与所述X轴一级柔性传动件中部固定座22a固定连接；同时参见图4所示，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件25为一个X轴二级柔性传动件中部固定座25a，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件24包括一块Y型连接板24a 和两个X轴二级柔性传动件端部固定座24b，所述Y型连接板24a 水平地悬设在所述玻片架载台底座19上表面的内侧端，所述Y型连接板24a的主板与所述X轴一级柔性传动件中部固定座22a的顶部固定连接，所述Y型连接板24a的两块支板分别位于所述X轴二级柔性传动件中部固定座25a的左右两侧，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座24b分别设置在所述Y型连接板24a的两块支板上，所述X轴二级柔性传动件23的两端通过对应的X轴二级柔性传动件端部压块24c与两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座24b 固定连接，所述X轴二级柔性传动件23的中部通过对应的X轴二级柔性传动件中部压块25b与所述X轴二级柔性传动件中部固定座 25a固定连接。

作为进一步的实施例，参见图3所示，所述X轴一级柔性传动件中部压块22b通过一条对应的X轴一级柔性传动件中部Z轴线性小滑轨22c安装在所述X轴一级柔性传动件中部固定座22a上，两个所述X轴一级柔性传动件端部压块21b分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨21c安装在两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座21a上；同时参见图4所示，所述X轴二级柔性传动件中部压块25b通过一条对应的X轴二级柔性传动件中部 Z轴线性小滑轨25c安装在所述X轴二级柔性传动件中部固定座25a 上，两个所述X轴二级柔性传动件端部压块24c分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨24d安装在两个所述X 轴二级柔性传动件端部固定座24b上，从而可以进一步减小传动过程中所述X轴一级柔性传动件20和所述X轴二级柔性传动件23在 Z轴方向上的应力变化。

作为进一步的实施例，参见图3所示，两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座21a分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨21d安装在所述X轴一级滑块17左右延伸部的上表面；同时参见图4所示，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座24b分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨24e安装在所述Y型连接板24a的两块支板上，从而可以进一步减小传动过程中所述X轴一级柔性传动件20和所述X轴二级柔性传动件23在Y轴方向上的应力变化，优化减振效果。

作为进一步的实施例，所述X轴一级柔性传动件20、所述X 轴二级柔性传动件23和所述Y轴柔性传动件8为传动软块或柔性传动线绳。

作为进一步的实施例，所述柔性传动线绳必须为高强度、耐磨损、无弹性的线或绳。

作为进一步的实施例，所述Y轴动力装置3和所述X轴动力装置12均为伺服电机，且所述Y轴动力传动组件4和所述X轴动力传动组件13均为齿轮齿条机构；所述伺服电机分别紧挨在所述Y 轴滑块7和所述X轴一级滑块17的外侧，所述齿轮齿条机构中的齿轮分别安装在所述Y轴伺服电机和所述X轴伺服电机的输出轴上，所述齿轮齿条机构中的齿条分别设置在所述Y轴滑块7和所述 X轴一级滑块17的外侧表面上；从而尽可能地减小所述Y轴动力装置3与所述Y轴滑块7之间以及所述X轴动力装置12和所述X 轴一级滑块17之间的间距，使机构整体结构更加紧凑。

作为进一步的实施例，每条滑轨的两端均设置有限位块或限位螺钉。

本实用新型的工作原理如下：

本实用新型除了采用伺服电机作为Y轴动力装置3和X轴动力装置12之外，还采用齿轮齿条机构作为Y轴动力传动组件4和X 轴动力传动组件13，因此在伺服电机驱动齿轮齿条运动的过程中避免不了会产生轻微振动。

这时在Y轴滑块7和Y轴滑板10之间采用Y轴柔性传动件8 进行柔性传动，在X轴一级滑块17和X轴二级滑块18之间以及在 X轴二级滑块18和玻片架载台底座19之间分别采用X轴一级柔性传动件20和X轴二级柔性传动件23进行柔性传动，由于在X轴方向和Y轴方向上的移动只采用柔性传动件连接，而且X轴一级柔性传动件20、X轴二级柔性传动件23和Y轴柔性传动件8均专门采用可进行自适应调节平行度的传动软块或柔性传动线绳，因此使得玻片架载台底座19的水平移动由硬传动方式变为柔性传动方式，可以大大削弱齿轮齿条运动的过程中产生的应力变化，减小振动，从而可以有效地把动力装置和传动装置工作过程中引入的振动在执行端，也就是在玻片架载台底座19消除。

为了进一步消除振动，因此分别在X轴一级柔性传动件20、X 轴二级柔性传动件23和Y轴柔性传动件8的两端及中部的固定处增加了Z轴方向上的小滑轨，使得X轴一级柔性传动件20、X轴二级柔性传动件23和Y轴柔性传动件8的两端和中部能够在Z轴方向上浮动，从而进一步减小传动过程中X轴一级柔性传动件20、 X轴二级柔性传动件23和Y轴柔性传动件8在Z轴方向上的应力变化。

为了再进一步优化减振效果，分别在X轴一级柔性传动件20、 X轴二级柔性传动件23的两端的固定处增加了Y轴方向上的小滑轨，并且在Y轴柔性传动件8的两端的固定处增加了X轴方向上的小滑轨，使得X轴一级柔性传动件20、X轴二级柔性传动件23的两端能够在Y轴方向上浮动，Y轴柔性传动件8的两端能够在X轴方向上浮动，从而进一步减小传动过程中X轴一级柔性传动件20、 X轴二级柔性传动件23和Y轴柔性传动件8在水平方向上的应力变化。

因此本实用新型的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构可以大幅削弱硬传动产生的应力变化，有效地在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程中引入的振动，优化了减振效果，提高了移动精度，进而能够实现玻片架的无振动移动，能够真实还原检测样本的自然状态，可以提升扫描或成像效果，对检验结果的精确性提供了可靠保证。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：由大底板(1)、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台(2)组成；

所述Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置(3)、Y轴动力传动组件(4)、Y轴一级线性滑轨(5)、两条Y轴二级线性滑轨(6)、Y轴滑块(7)、Y轴柔性传动件(8)、Y轴柔性传动件第一固定组件(9)、Y轴滑板(10)和Y轴柔性传动件第二固定组件(11)；所述Y轴一级线性滑轨(5)和两条所述Y轴二级线性滑轨(6)在Y轴方向平行地设置在所述大底板(1)的上表面，所述Y轴滑块(7)设置在所述Y轴一级线性滑轨(5)上，所述Y轴滑板(10)共同设置在两条所述Y轴二级线性滑轨(6)上，所述Y轴动力装置(3)设置在所述大底板(1)上，且所述Y轴动力装置(3)通过所述Y轴动力传动组件(4)与所述Y轴滑块(7)传动连接，所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)设置在所述Y轴滑块(7)上，所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)设置在所述Y轴滑板(10)上，所述Y轴柔性传动件(8)连接在所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)和所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)之间，所述Y轴滑块(7)通过所述Y轴柔性传动件(8)与所述Y轴滑板(10)柔性传动连接；

所述X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置(12)、X轴动力传动组件(13)、X轴一级线性滑轨(14)、X轴二级线性滑轨(15)、X轴主滑轨(16)、X轴一级滑块(17)、X轴二级滑块(18)、玻片架载台底座(19)、X轴一级柔性传动件(20)、X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)、X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)、X轴二级柔性传动件(23)、X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)和X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)；所述X轴一级线性滑轨(14)、所述X轴二级线性滑轨(15)、所述X轴主滑轨(16)在X轴方向平行地设置在所述Y轴滑板(10)的上表面，所述X轴一级滑块(17)设置在所述X轴一级线性滑轨(14)上，所述X轴二级滑块(18)设置在所述X轴二级线性滑轨(15)上，所述玻片架载台底座(19)设置在所述X轴主滑轨(16)上，所述X轴动力装置(12)设置在所述玻片架载台底座(19)上，且所述X轴动力装置(12)通过所述X轴动力传动组件(13)与所述X轴一级滑块(17)传动连接，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)设置在所述X轴一级滑块(17)上，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)设置在所述X轴二级滑块(18)上，所述X轴一级柔性传动件(20)连接在所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)之间，所述X轴一级滑块(17)通过所述X轴一级柔性传动件(20)与所述X轴二级滑块(18)柔性传动连接，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)与所述述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)固定连接，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)设置在所述玻片架载台底座(19)上，所述X轴二级柔性传动件(23)连接在所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)之间，所述X轴二级滑块(18)通过所述X轴二级柔性传动件(23)与所述玻片架载台底座(19)柔性传动连接，所述玻片架载台(2)设置在所述玻片架载台底座(19)的上表面。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述Y轴滑板(10)的内侧面紧挨着所述Y轴滑块(7)的内侧面，且所述Y轴滑块(7)的下表面高于所述Y轴滑板(10)的上表面，所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)竖直向上地固定在所述Y轴滑块(7)上表面的内侧端，所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)竖直向下的固定在所述Y轴滑板(10)下表面的内侧端，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)与所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)的位置上下对应，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)和所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)通过所述Y轴柔性传动件(8)连接。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)为两个在Y轴方向上对称设置的Y轴柔性传动件端部固定座(9a)，所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)为一个Y轴柔性传动件中部固定座(11a)，且所述Y轴柔性传动件中部固定座(11a)位于两个所述Y轴柔性传动件端部固定座(9a)的中间，所述Y轴柔性传动件(8)的两端分别通过对应的Y轴柔性传动件端部压块(9b)与两个所述Y轴柔性传动件端部固定座(9a)固定连接，所述Y轴柔性传动件(8)的中部则通过对应的Y轴柔性传动件中部压块(11b)与所述Y轴柔性传动件中部固定座(11a)固定连接。

4.根据权利要求3所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述Y轴柔性传动件中部压块(11b)通过一条对应的Y轴柔性传动件中部Z轴线性小滑轨(11c)安装在所述Y轴柔性传动件中部固定座(11a)上，两块所述Y轴柔性传动件端部压块(9b)分别通过一条对应的Y轴柔性传动件端部Z轴线性小滑轨(9c)安装在两个所述Y轴柔性传动件端部固定座(9a)上。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：两个所述Y轴柔性传动件端部固定座(9a)分别通过一条对应的Y轴柔性传动件端部X轴线性小滑轨(9d)安装在所述Y轴滑块(7)的上表面。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述X轴二级滑块(18)的一个侧面紧挨着所述X轴一级滑块(17)的内侧面，且所述X轴二级滑块(18)的上表面与所述X轴一级滑块(17)的上表面持平，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)竖直向上地固定在所述X轴一级滑块(17)上表面的内侧端，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)竖直向上地固定在所述X轴二级滑块(18)的上表面，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)与所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)的位置前后对应，且所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)通过所述X轴一级柔性传动件(20)连接；同时，所述玻片架载台底座(19)的内侧面紧挨着所述X轴二级滑块(18)的另一个侧面，且所述玻片架载台底座(19)的上表面高于所述X轴二级滑块(18)的上表面，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)固定在所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)的顶部，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)竖直向上地固定在所述玻片架载台底座(19)上表面的内侧端，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)与所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)的位置前后对应，且所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)通过所述X轴二级柔性传动件(23)连接。

7.根据权利要求6所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)为两个沿X轴方向对称设置的X轴一级柔性传动件端部固定座(21a)，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)为一个X轴一级柔性传动件中部固定座(22a)，所述X轴一级柔性传动件中部固定座(22a)位于两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座(21a)的中间，所述X轴一级柔性传动件(20)的两端通过对应的X轴一级柔性传动件端部压块(21b)与两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座(21a)固定连接，所述X轴一级柔性传动件(20)的中部通过对应的X轴一级柔性传动件中部压块(22b)与所述X轴一级柔性传动件中部固定座(22a)固定连接；同时，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)为一个X轴二级柔性传动件中部固定座(25a)，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)包括一块Y型连接板(24a)和两个X轴二级柔性传动件端部固定座(24b)，所述Y型连接板(24a)水平地悬设在所述玻片架载台底座(19)上表面的内侧端，所述Y型连接板(24a)的主板与所述X轴一级柔性传动件中部固定座(22a)的顶部固定连接，所述Y型连接板(24a)的两块支板分别位于所述X轴二级柔性传动件中部固定座(25a)的左右两侧，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座(24b)分别设置在所述Y型连接板(24a)的两块支板上，所述X轴二级柔性传动件(23)的两端通过对应的X轴二级柔性传动件端部压块(24c)与两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座(24b)固定连接，所述X轴二级柔性传动件(23)的中部通过对应的X轴二级柔性传动件中部压块(25b)与所述X轴二级柔性传动件中部固定座(25a)固定连接。

8.根据权利要求7所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述X轴一级柔性传动件中部压块(22b)通过一条对应的X轴一级柔性传动件中部Z轴线性小滑轨(22c)安装在所述X轴一级柔性传动件中部固定座(22a)上，两个所述X轴一级柔性传动件端部压块(21b)分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨(21c)安装在两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座(21a)上；同时，所述X轴二级柔性传动件中部压块(25b)通过一条对应的X轴二级柔性传动件中部Z轴线性小滑轨(25c)安装在所述X轴二级柔性传动件中部固定座(25a)上，两个所述X轴二级柔性传动件端部压块(24c)分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Z轴线性小滑轨(24d)安装在两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座(24b)上。

9.根据权利要求8所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：两个所述X轴一级柔性传动件端部固定座(21a)分别通过一条对应的X轴一级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨(21d)安装在所述X轴一级滑块(17)左右延伸部的上表面；同时，两个所述X轴二级柔性传动件端部固定座(24b)分别通过一条对应的X轴二级柔性传动件端部Y轴线性小滑轨(24e)安装在所述Y型连接板(24a)的两块支板上。

10.根据权利要求1所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述X轴一级柔性传动件(20)、所述X轴二级柔性传动件(23)和所述Y轴柔性传动件(8)为传动软块或柔性传动线绳。

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