CN215808551U - 一种尾气燃烧头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种尾气燃烧头，旨在解决非风冷式的燃烧头管路复杂，尾气燃烧效率低下的不足。该实用新型包括燃烧头本体、若干尾气进气管、燃气进气管和助燃气进气管，尾气进气管阵列且对称连接在燃烧头本体上，燃烧头本体上设有若干集成孔，尾气进气管伸出所述集成孔且固定连接燃烧头本体，集成孔在燃烧头本体出气方向的一面设有开槽，开槽上盖装有集成盖，集成盖等间距围绕有若干燃气出气孔，集成盖与燃烧头本体之间形成有集气腔，燃烧头本体中设有若干隐藏管道，所述隐藏管道的分别连通燃气进气管和集气腔。所述装置集成了助燃气管道，适应非风冷式的燃烧室，减少CDA的消耗，优化了燃烧盖的管线结构，减少了生产难度。

Description

一种尾气燃烧头

技术领域

本实用新型涉及尾气处理装置，更具体地说，它涉及一种尾气燃烧头。

背景技术

在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如 ：化学气相沉积 、刻蚀 、离子注入和扩散，以及非晶硅薄膜太阳能、液晶及薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊工艺气体。这些工艺气体一般都是以氢气作为载气，参与工艺反应之后，以废气的形式被排放, 其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及PFCS与VOC类气体等。

这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的在与其它危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有的会造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害。为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。目前的半导体、光伏行业等工厂大都会在工艺设备后端安装尾气处理装置用于处理这些危害性的特殊气体。

现在的燃烧室一般通过头部注入气体，燃烧室的侧壁渗入洁净空气（CDA），燃烧头上需要集成启动的天然气、尾气的管道，尾气对应的管道又需要连接相关的防故障装置，由于本申请旨在配合实现减少助燃气（CDA气体）的投入，以纯氧方式取代的燃烧室，需要额外的对应助燃气的管道，而全新的排布形式使得本就复杂的燃烧头上部管线上方的线路越发臃肿，亟需一种可以减少占用燃烧头上部空间的、优化燃烧模型的一种尾气燃烧头。

发明内容

本实用新型提供了一种尾气燃烧头，它能在减少占用燃烧头上部空间的前提下充分燃烧尾气，提高尾气燃烧效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种尾气燃烧头，包括燃烧头本体、与燃烧头本体拆卸连接的若干尾气进气管、燃气进气管和助燃气进气管，尾气进气管阵列且对称连接在燃烧头本体上，燃烧头本体上设有若干集成孔，尾气进气管伸出所述集成孔且固定连接燃烧头本体，集成孔在燃烧头本体出气方向的一面设有开槽，开槽上盖装有集成盖，集成盖等间距围绕有若干燃气出气孔，集成盖与燃烧头本体之间形成有集气腔，燃烧头本体中设有若干隐藏管道，所述隐藏管道的分别连通燃气进气管和集气腔。

现有的燃烧室采用风冷式的形式，采用在燃烧室侧壁投入CDA（洁净干燥空气）的形式提供助燃、降温，由于本申请旨在改善所述结构，减少CDA的消耗，采用水冷方式冷却，采用纯氧形式助燃。因此，需要在燃烧头上加入新的管道用以投入助燃或阻燃的助燃或阻燃气体对燃烧进行启动，上述前提会提高燃烧头的设计复杂程度。原本的燃气管道数量较多，本申请减少了燃气管进气管的数量。本申请通过天然气管道注入到燃烧头本体中的隐藏管道中，利用隐藏管道将燃气导入至尾气进气管对应的集气腔位置，使得燃气产生的火焰包围尾气，提供最高的温度，以较佳的模型燃烧尾气。燃气从集成盖上的燃气出气孔中喷出形成火焰，若干股上文方式形成的火焰包围集成孔中喷出的尾气，为尾气提供最高的温度，具有最好的燃烧效率。通过所述方式可以减少燃气管道的数量，简化了燃烧室上盖的设计难度、生产难度，并形成高效的燃烧模型。

作为优选，尾气进气管的数量为4个，燃气进气管经一分二分别进入隐藏管道中，隐藏管道经一分二再次将燃气注入集气腔中。

燃气进气管经一个总的输入管输入，并经三通管一左一右以钳形的形状进入到燃烧头本体的两端的隐藏管道入口，隐藏管道入口处于两集成孔的中点位置，隐藏管道入口到各个集成孔的长度相同。所述结构使得燃气进入到集成腔的进气速度相同，避免某处尾气燃烧不足的情况出现。

作为优选，尾气进气管连接有扫吹检测管，尾气进气管设有弯转部，所述扫吹检测管沿弯转部的切向方向连接在尾气进气管上。扫吹检测管向其中扫吹氮气，检测负压。

作为优选，尾气进气管上连接有切换阀，切换阀还连接有旁路出气管和原进气管。当设备宕机故障时立刻切换至旁路出气管，避免燃爆情况出现。

作为优选，尾气进气管和切换阀之间经金属波纹管连接，金属波纹管内设有聚四氟乙烯内衬。所述结构可以保证拆装时因制作或安装不到位的尺寸误差，聚四氟乙烯内衬可以避免波纹管与尾气直接接触防止。

作为优选，旁路出气管连接有吹扫气管，吹扫气管的出气方向与旁路出气管同向，吹扫气管向旁路出气管中扫吹氮气。

作为优选，尾气进气管的末端设有喉管，所述喉管内径两端粗中间细。所述结构用于增加此处气流速度，防止燃烧室热气流回窜。

作为优选，燃烧头本体与尾气进气管的连接处采用耐高温的全氟密封圈。全氟密封圈为全氟橡胶，具有耐高温、高气密性的特性。

作为优选，燃烧头本体上设有水冷腔，水冷腔在径向方向的靠近两端位置分别设有进水管和出水管。所述结构可降低进气燃烧头零件的温度，保护设备安全及该零件的使用寿命。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：（1）所述装置集成了助燃气管道，适应非风冷式的燃烧室，减少CDA的消耗；（2）优化了燃烧盖的管线结构，减少了生产难度；（3）燃气形成的火焰包围尾气，高效率的燃烧尾气。

附图说明

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型的燃烧室本体的主视图；

图3是图2中的A-A处的剖面图；

图4是本实用新型的仰视图；

图5是图4中B-B处的剖面图；

图中：

燃烧头本体1、尾气进气管2、燃气进气管3、助燃气进气管4、集成孔5、集成盖6、燃气出气孔7、集气腔8、隐藏管道9、扫吹检测管10、弯转部11、切换阀12、原进气管13、旁路出气管14、金属波纹管15、吹扫气管16、喉管17、水冷腔18、进水管19、出水管20、火焰检测管21。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本公开作进一步说明。

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。

本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接，也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义，不能理解为对本公开的限制。

实施例：

一种尾气燃烧头，如图1至3所示，包括燃烧头本体1、若干尾气进气管2、燃气进气管3和助燃气进气管4以及火焰检测管21，尾气进气管2阵列且对称连接在燃烧头本体1上，燃烧头本体1上设有若干集成孔5，尾气进气管2伸出所述集成孔5且固定连接燃烧头本体1，集成孔5在燃烧头本体1出气方向的一面设有开槽，开槽上盖装有集成盖6，集成盖6等间距围绕有若干燃气出气孔7，集成盖6与燃烧头本体1之间形成有集气腔8，燃烧头本体1中设有若干隐藏管道9，所述隐藏管道9的分别连通燃气进气管3和集气腔8。尾气进气管2的数量为4个，燃气进气管3经一分二分别进入隐藏管道9中，隐藏管道9经一分二再次将燃气注入集气腔8中。燃气进气管3经一个总的输入管输入，并经三通管一左一右以钳形的形状进入到燃烧头本体1的两端的隐藏管道9入口，隐藏管道9入口处于两集成孔5的中点位置，隐藏管道9入口到各个集成孔5的长度相同。所述结构使得燃气进入到集成腔的进气速度相同，避免某处尾气燃烧不足的情况出现。隐藏管道9由深钻孔工具形成，形成的开口位置密封形成管路。

尾气进气管2连接有扫吹检测管10，尾气进气管2设有弯转部11，所述扫吹检测管10沿弯转部11的切向方向连接在尾气进气管2上。扫吹检测管10向其中扫吹氮气，检测负压。尾气进气管2上连接有切换阀12，切换阀12还连接有旁路出气管14和原进气管13。当设备宕机故障时立刻切换至旁路出气管14，避免燃爆情况出现。尾气进气管2和切换阀12之间经金属波纹管15连接，金属波纹管15内设有聚四氟乙烯内衬。所述结构可以保证拆装时因制作或安装不到位的尺寸误差，聚四氟乙烯内衬可以避免波纹管与尾气直接接触防止。旁路出气管14连接有吹扫气管16，吹扫气管16的出气方向与旁路出气管14同向，吹扫气管16向旁路出气管14中扫吹氮气。

如图5所示，尾气进气管2的末端设有喉管17，所述喉管17内径两端粗中间细。所述结构用于增加此处气流速度，防止燃烧室热气流回窜。

燃烧头本体1与尾气进气管2的连接处采用耐高温的全氟密封圈。全氟密封圈为全氟橡胶，具有耐高温、高气密性的特性。

燃烧头本体1和尾气进气管2通过可拆卸方式连接，尾气进气管2靠近末端位置向径向伸出形成定位的盘体，盘体上等间距形成有弧形的腰槽，盘体经腰槽和紧固件连接在燃烧室本体上。

燃烧头本体1上设有水冷腔18，水冷腔18在径向方向的靠近两端位置分别设有进水管19和出水管20。所述结构可降低进气燃烧头零件的温度，保护设备安全及该零件的使用寿命。

现有的燃烧室采用风冷式的形式，采用在燃烧室侧壁投入CDA（洁净干燥空气）的形式提供助燃、降温，由于本申请旨在改善所述结构，减少CDA的消耗，采用水冷方式冷却，采用纯氧形式助燃。因此，需要在燃烧头上加入新的管道用以投入助燃或阻燃的助燃或阻燃气体，上述前提会提高燃烧头的设计复杂程度。原本的燃气管道数量较多，本申请减少了燃气管进气管的数量。本申请通过天然气管道注入到燃烧头本体1中的隐藏管道9中，利用隐藏管道9将燃气导入至尾气进气管2对应的集气腔8位置，使得燃气产生的火焰包围尾气，提供最高的温度，以较佳的模型燃烧尾气。如图4所示，燃气从集成盖6上的燃气出气孔7中喷出形成火焰，若干股上文方式形成的火焰包围集成孔5中喷出的尾气，为尾气提供最高的温度，具有最好的燃烧效率。通过所述方式可以减少燃气管道的数量，简化了燃烧室上盖的设计难度、生产难度，并形成高效的燃烧模型。

以上所述的实施例只是本实用新型的较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。

Claims (9)

1.一种尾气燃烧头，其特征是，包括燃烧头本体、与燃烧头本体拆卸连接的若干尾气进气管、燃气进气管和助燃气进气管，尾气进气管阵列且对称连接在燃烧头本体上，燃烧头本体上设有若干集成孔，尾气进气管伸出所述集成孔且固定连接燃烧头本体，集成孔在燃烧头本体出气方向的一面设有开槽，开槽上盖装有集成盖，集成盖等间距围绕有若干燃气出气孔，集成盖与燃烧头本体之间形成有集气腔，燃烧头本体中设有若干隐藏管道，所述隐藏管道的分别连通燃气进气管和集气腔。

2.根据权利要求1所述的一种尾气燃烧头，其特征是，尾气进气管的数量为4个，燃气进气管经一分二分别进入隐藏管道中，隐藏管道经一分二再次将燃气注入集气腔中。

3.根据权利要求1所述的一种尾气燃烧头，其特征是，尾气进气管连接有扫吹检测管，尾气进气管设有弯转部，所述扫吹检测管沿弯转部的切向方向连接在尾气进气管上。

4.根据权利要求1所述的一种尾气燃烧头，其特征是，尾气进气管上连接有切换阀，切换阀还连接有旁路出气管和原进气管。

5.根据权利要求4所述的一种尾气燃烧头，其特征是，尾气进气管和切换阀之间经金属波纹管连接，金属波纹管内设有聚四氟乙烯内衬。

6.根据权利要求4所述的一种尾气燃烧头，其特征是，旁路出气管连接有防爆气管，防爆气管的出气方向与旁路出气管同向，防爆气管向旁路出气管中扫吹氮气。

7.根据权利要求1所述的一种尾气燃烧头，其特征是，尾气进气管的末端设有喉管，所述喉管内径两端粗中间细。

8.根据权利要求7所述的一种尾气燃烧头，其特征是，燃烧头本体与尾气进气管的连接处采用耐高温的全氟密封圈。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的一种尾气燃烧头，其特征是，燃烧头本体上设有水冷腔，水冷腔在径向方向的靠近两端位置分别设有进水管和出水管。

Images