CN215807841U - 一种半导体生产加工用特气供应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体生产加工用特气供应装置，涉及特气储存技术领域，包括储存桶和罐体，所述储存桶的一侧面开设有取放口，所述取放口的内部螺纹连接有密封盖，所述储存桶的另一侧面开设有通孔，所述罐体位于储存桶的内部，所述罐体的一端固定连通有出气管，所述出气管远离罐体的一端贯穿通孔的内部并延伸至储存桶的外部。本实用新型设计结构合理，它能够通过空腔、螺旋管、水箱、水泵、回流管和冷凝器之间的配合设置，实现了对储存桶降温的目的，达到了对罐体内特气降温储存的效果，保证了特气储存时的稳定性，通过设置调节机构，达到了对罐体倾斜排气的效果，使罐体内特气可完全排出罐体的内部，避免了特气的浪费。

Description

一种半导体生产加工用特气供应装置

技术领域

本实用新型涉及特气储存技术领域，具体是一种半导体生产加工用特气供应装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。

半导体在加工过程中需要使用到特气作为加工时的保护气，特气大多采用罐装的方式进行储存，但是特气对储存温度有严格的要求，而传统的储气罐大多难以保证特气一直处于低温状态，会影响特气的性能，并且特气排出时难以在罐体内完全排出，会造成资源的浪费。为此，我们提供了半导体生产加工用特气供应装置解决以上问题。

实用新型内容

解决的技术问题

本实用新型的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种半导体生产加工用特气供应装置。

技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产加工用特气供应装置，包括储存桶和罐体，所述储存桶的一侧面开设有取放口，所述取放口的内部螺纹连接有密封盖，所述储存桶的另一侧面开设有通孔，所述罐体位于储存桶的内部，所述罐体的一端固定连通有出气管，所述出气管远离罐体的一端贯穿通孔的内部并延伸至储存桶的外部，所述储存桶的内壁开设有空腔，所述空腔的内部固定连接有螺旋管，所述储存桶的底面固定连接有水箱，所述水箱的正面固定连通有注水管，所述水箱的左侧面安装有水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧面固定连通，所述水泵的输出端与螺旋管的一端固定连通，所述螺旋管的另一端固定连通有回流管，所述回流管远离螺旋管的一端贯穿储存桶的内壁并与水箱的右侧面固定连通，所述水箱的底面安装有冷凝器，所述水箱的下方设有调节机构。

进一步的，所述调节机构包括支撑板，所述支撑板上表面的两端分别固定连接有第一电动推杆和支撑杆，所述第一电动推杆的伸缩端铰接有铰接块，所述铰接块的上表面固定连接于水箱的底面。

进一步的，所述支撑杆的顶端铰接有旋转块，所述旋转块的上表面固定连接于水箱的底面。

进一步的，所述储存桶的内壁固定连接有两个相对称的第二电动推杆，两个所述第二电动推杆的伸缩端均固定连接有弧形夹持板。

进一步的，两个所述弧形夹持板远离罐体一侧面的两端均固定连接有伸缩杆，每个所述伸缩杆远离弧形夹持板的一端均固定连接于储存桶的内壁。

进一步的，所述储存桶的外表面固定镶嵌有观察窗，所述罐体的外表面安装有气压表，所述密封盖远离储存桶的一侧面固定连接有把手。

三）有益效果：

与现有技术相比，该半导体生产加工用特气供应装置具备如下有益效果：

一、本实用新型通过空腔、螺旋管、水箱、水泵、回流管和冷凝器之间的配合设置，通过冷凝器对水箱内冷却液进行降温，并通过水泵将冷却液输送至螺旋管的内部，使螺旋管在空腔的内部对储存桶进行降温，实现了对储存桶降温的目的，达到了对罐体内特气降温储存的效果，保证了特气储存时的稳定性。

二、本实用新型通过设置调节机构，即第一电动推杆、铰接块、支撑杆和旋转块之间的配合设置，通过第一电动推杆伸缩端的伸缩，并在铰接块的作用下，实现了罐体出气端向下倾斜的目的，并在支撑杆和旋转块的作用下，实现了对储存桶支撑的目的，综上，达到了对罐体倾斜排气的效果，使罐体内特气可完全排出罐体的内部，避免了特气的浪费。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型主视图的剖视图；

图3为本实用新型图2中A处结构的放大示意图。

图中：1、储存桶；2、取放口；3、密封盖；4、把手；5、罐体；6、气压表；7、通孔；8、出气管；9、调节机构；901、支撑板；902、第一电动推杆；903、铰接块；904、支撑杆；905、旋转块；10、弧形夹持板；11、伸缩杆；12、空腔；13、螺旋管；14、水箱；15、水泵；16、回流管；17、第二电动推杆；18、冷凝器；19、观察窗；20、注水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体生产加工用特气供应装置，包括储存桶1和罐体5，储存桶1的一侧面开设有取放口2，取放口2的内部螺纹连接有密封盖3，储存桶1的另一侧面开设有通孔7，罐体5位于储存桶1的内部，罐体5的一端固定连通有出气管8，出气管8远离罐体5的一端贯穿通孔7的内部并延伸至储存桶1的外部，储存桶1的内壁开设有空腔12，空腔12的内部固定连接有螺旋管13，储存桶1的底面固定连接有水箱14，水箱14的正面固定连通有注水管20，水箱14的左侧面安装有水泵15，该水泵15使用PUN-601EAH型水泵，水泵15的输入端与水箱14的左侧面固定连通，水泵15的输出端与螺旋管13的一端固定连通，螺旋管13的另一端固定连通有回流管16，回流管16远离螺旋管13的一端贯穿储存桶1的内壁并与水箱14的右侧面固定连通，水箱14的底面安装有冷凝器18，水箱14的下方设有调节机构9。

进一步的，调节机构9包括支撑板901，支撑板901上表面的两端分别固定连接有第一电动推杆902和支撑杆904，该第一电动推杆902使用XTL100型电动推杆，第一电动推杆902的伸缩端铰接有铰接块903，铰接块903的上表面固定连接于水箱14的底面。通过设置第一电动推杆902，通过第一电动推杆902的伸缩端的伸缩，实现对储存桶1右端升降的目的。

进一步的，支撑杆904的顶端铰接有旋转块905，旋转块905的上表面固定连接于水箱14的底面。通过设置支撑杆904和旋转块905，实现了对储存桶1左端支撑的目的。

进一步的，储存桶1的内壁固定连接有两个相对称的第二电动推杆17，该第二电动推杆17使用XTL50型电动推杆，两个第二电动推杆17的伸缩端均固定连接有弧形夹持板10。通过设置第二电动推杆17和弧形夹持板10，通过第二电动推杆17对弧形夹持板10进行推动，实现了通过弧形夹持板10夹持罐体5的目的。

进一步的，两个弧形夹持板10远离罐体5一侧面的两端均固定连接有伸缩杆11，每个伸缩杆11远离弧形夹持板10的一端均固定连接于储存桶1的内壁。通过设置伸缩杆11，通过伸缩杆11对弧形夹持板10的两端进行支撑，保证弧形夹持板10夹持罐体5的稳定性。

进一步的，储存桶1的外表面固定镶嵌有观察窗19，罐体5的外表面安装有气压表6，密封盖3远离储存桶1的一侧面固定连接有把手4。通过设置观察窗19和气压表6，便于工作人员对罐体5内气压进行观察。

工作原理：需要对罐体5进行储存时，首先，工人通过把手4将密封盖3从取放口2的内部旋转取下，然后，将罐体5上出气管8插入通孔7的内部，随后，启动第二电动推杆17，使第二电动推杆17的伸缩端推动弧形夹持板10移动，并在伸缩杆11的作用下，将罐体5固定在两个弧形夹持板10之间的夹缝中，最后，工人通过把手4将密封盖3旋转插入取放口2的内部，需要对罐体5进行降温处理时，首先，通过注水管20往水箱14的内部注入冷却液，然后，启动冷凝器18，使冷凝器18对水箱14内冷却液进行降温，最后，启动水泵15，将水箱14内冷却液输送至螺旋管13的内部，并在回流管16的作用下，回流至水箱14的内部，实现了对储存桶1降温的目的，达到了对罐体5内特气降温储存的效果，保证了特气储存时的稳定性，需要通过出气管8排气时，启动第一电动推杆902，使第一电动推杆902的伸缩端回缩，从而使铰接块903带动水箱14的右端下降，同时，水箱14带动旋转块905在支撑杆904上转动，达到了对罐体5倾斜排气的效果，使罐体5内特气可完全排出罐体5的内部，避免了特气的浪费。

需要说明的是，在本文中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“固设”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，“安装”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是机械连接，也可以是电连接；“连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体生产加工用特气供应装置，包括储存桶（1）和罐体（5），其特征在于：所述储存桶（1）的一侧面开设有取放口（2），所述取放口（2）的内部螺纹连接有密封盖（3），所述储存桶（1）的另一侧面开设有通孔（7），所述罐体（5）位于储存桶（1）的内部，所述罐体（5）的一端固定连通有出气管（8），所述出气管（8）远离罐体（5）的一端贯穿通孔（7）的内部并延伸至储存桶（1）的外部，所述储存桶（1）的内壁开设有空腔（12），所述空腔（12）的内部固定连接有螺旋管（13），所述储存桶（1）的底面固定连接有水箱（14），所述水箱（14）的正面固定连通有注水管（20），所述水箱（14）的左侧面安装有水泵（15），所述水泵（15）的输入端与水箱（14）的左侧面固定连通，所述水泵（15）的输出端与螺旋管（13）的一端固定连通，所述螺旋管（13）的另一端固定连通有回流管（16），所述回流管（16）远离螺旋管（13）的一端贯穿储存桶（1）的内壁并与水箱（14）的右侧面固定连通，所述水箱（14）的底面安装有冷凝器（18），所述水箱（14）的下方设有调节机构（9）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用特气供应装置，其特征在于：所述调节机构（9）包括支撑板（901），所述支撑板（901）上表面的两端分别固定连接有第一电动推杆（902）和支撑杆（904），所述第一电动推杆（902）的伸缩端铰接有铰接块（903），所述铰接块（903）的上表面固定连接于水箱（14）的底面。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用特气供应装置，其特征在于：所述支撑杆（904）的顶端铰接有旋转块（905），所述旋转块（905）的上表面固定连接于水箱（14）的底面。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用特气供应装置，其特征在于：所述储存桶（1）的内壁固定连接有两个相对称的第二电动推杆（17），两个所述第二电动推杆（17）的伸缩端均固定连接有弧形夹持板（10）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产加工用特气供应装置，其特征在于：两个所述弧形夹持板（10）远离罐体（5）一侧面的两端均固定连接有伸缩杆（11），每个所述伸缩杆（11）远离弧形夹持板（10）的一端均固定连接于储存桶（1）的内壁。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用特气供应装置，其特征在于：所述储存桶（1）的外表面固定镶嵌有观察窗（19），所述罐体（5）的外表面安装有气压表（6），所述密封盖（3）远离储存桶（1）的一侧面固定连接有把手（4）。

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