CN215799878U

CN215799878U - 托盘与hwcvd设备

Info

Publication number: CN215799878U
Application number: CN202120546001.1U
Authority: CN
Inventors: 李学文; 张勇; 李军阳; 刘兵吉
Original assignee: Shenzhen Headquarter SC New Energy Technology Corp
Current assignee: Shenzhen Headquarter SC New Energy Technology Corp
Priority date: 2021-03-16
Filing date: 2021-03-16
Publication date: 2022-02-11
Anticipated expiration: 2031-03-16

Abstract

本实用新型公开了一种托盘与HWCVD设备，托盘包括底板、锁止销与锁止板，板具有用于容置所述基片的第一凹槽；锁止销连接于底板具有第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，第一锁止部的直径小于第二锁止部的直径，且沿远离底板的方向，第一锁止部与第二锁止部依次设置；锁止板具有锁止孔，锁止孔包括第一孔段与第二孔段，第一孔段的孔径大于第一锁止部的直径，小于第二锁止部的直径，第二孔段的孔径大于第二锁止部的直径；锁止板能够相对底板移动将基片限定在第一凹槽内。上述结构无需依靠磁铁进行固定，从而能够通过机械装置实现自动化装片，且可以避免永磁铁在高温下工作磁力会不断衰减的问题，稳定性、可靠性高。

Description

托盘与HWCVD设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池板制造技术领域，尤其是涉及托盘与HWCVD设备。

背景技术

在SHJ太阳能电池的本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅薄膜制作工艺中，已知的做法通常有两种，等离子体增强化学气相沉积法(Plasma enhanced chemical vapordeposition，PECVD)和热丝化学气相沉积法(Hot wire chemical vapor deposition，HWCVD)。

HWCVD设备的原理是利用热丝的高温和催化作用，使得反应气体在热丝表面发生裂解，生成物沉积于基片表面得到所需的固态薄膜。反应过程中热丝温度高达1700～1800℃，热丝在高温下会发生软化，无法实现长跨度、水平安装，只能竖直安装，因此相关技术中大面积镀膜HWCVD采取的是垂直镀膜方式，然而这种镀膜方式需要面临基片固定的问题，目前垂直托盘采用永磁铁吸附盖板的方式固定基片，然而永磁铁的磁力很难保证一致，盖上、打开盖板力度很难把握，导致难以实施装片自动化，且永磁铁在高温下工作磁性会不断衰减，吸附可靠性很难保证，稳定性、可靠性差。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种托盘，能够实现基片的稳定安装。

本实用新型还提出了一种应用上述托盘的HWCVD设备。

根据本实用新型第一实施例的托盘，用于承载基片，包括：

底板，具有用于容置所述基片的第一凹槽；

锁止销，连接于所述底板具有所述第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，所述第一锁止部的直径小于所述第二锁止部的直径，且沿远离所述底板的方向，所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置；

锁止板，具有锁止孔，所述锁止孔包括第一孔段与第二孔段，所述第一孔段的孔径大于所述第一锁止部的直径，小于所述第二锁止部的直径，所述第二孔段的孔径大于所述第二锁止部的直径；

其中，所述锁止板能够相对所述底板移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段，从而将所述基片限定在所述第一凹槽内。

根据本实用新型实施例的托盘，至少具有如下有益效果：

上述结构无需依靠磁铁进行固定，从而能够通过机械装置实现自动化装片，且可以避免永磁铁在高温下工作磁力会不断衰减的问题，稳定性、可靠性高。

根据本实用新型的一些实施例，还包括盖板，所述盖板位于所述底板与所述锁止板之间，具有对应所述锁止销设置的通孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述锁止销还包括定位部，且沿远离所述底板的方向，所述定位部、所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置，所述定位部的直径与所述通孔的孔径相等。

根据本实用新型的一些实施例，所述托盘包括多个所述锁止销，所述锁止板具有分别对应各所述锁止销的多个所述锁止孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述锁止板具有多个均匀分布的通槽，所述锁止孔位于相邻所述通槽之间。

根据本实用新型的一些实施例，当所述托盘处于竖直状态时，所述锁止孔的所述第一孔段位于所述第二孔段的上方，所述锁止板能够向下移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一凹槽的深度大于所述基片的厚度。

根据本实用新型的一些实施例，所述底板还包括第二凹槽，所述第二凹槽位于所述第一凹槽的底部。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一锁止部与所述第二锁止部之间具有导向部，沿远离所述底板的方向，所述导向部的直径逐渐增大。

根据本实用新型第二实施例的HWCVD设备，包括所述的托盘。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型实施例的托盘的正视图；

图2为图1中A-A方向剖视图的局部示意图；

图3为图1中B-B方向剖视图的局部示意图；

图4为图1中显示锁止孔的局部示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

参照图1与图2，本实用新型实施例公开的托盘包括底板100、锁止销200与锁止板300，底板100用于承载基片500，锁止销200连接于底板100之上，能够配合锁止板300对基片500进行限位，由于锁止板300与锁止销200之间为机械连接，一致性较好，能够实现装片的自动化，且不受高温影响，稳定性、可靠性好。

以图中所示为例，底板100可以是适应常见基片形状的矩形板，其一侧具有第一凹槽110，第一凹槽110用于容置基片500，可以是适应于常见基片形状的矩形槽。

参照图3，锁止销200连接在底板100具有第一凹槽110的一侧，连接方式可以是焊接、卡接或者通过紧固件连接，以图中所示为例，底板100具有安装孔120，锁止销200的一端(例如图中的后端)插接在安装孔120内以实现固定。锁止销200包括第一锁止部210与第二锁止部220，第一锁止部210的直径小于第二锁止部220的直径，且沿远离底板100的方向(例如图中从后向前的方向)，第一锁止部210与第二锁止部220依次设置。

锁止板300可以是适应常见基片形状的矩形板，其可以通过锁止销200连接在底板100具有第一凹槽110的一侧。锁止板300具有锁止孔310，且锁止孔310包括第一孔段311与第二孔段312，第一孔段311的孔径大于第一锁止部210的直径，小于第二锁止部220的直径，第二孔段312的孔径大于第二锁止部220的直径，以图4所示为例，第一孔段311近似为长条形，第二孔段312近似为圆形，二者相互连通。

需要说明的是，上述“孔径”应当理解为孔段的最宽处尺寸，而非将孔段限制为圆形。

基于上述结构，当锁止销200对准锁止孔310的第二孔段312时，锁止板300能够沿图中的前后方向靠近底板100，直至第二锁止部220穿过第二孔段312，且第一锁止部210位于第二孔段312内。随后，锁止板300能够相对底板100移动，以使穿设在第二孔段312的第一锁止部210移动至第一孔段311，由于第一孔段311的孔径小于第二锁止部220的直径，因此锁止板300不能沿图中的前后方向脱离底板100，从而将基片500限定在第一凹槽110内。上述结构无需依靠磁铁进行固定，从而能够通过机械装置实现自动化装片，且可以避免永磁铁在高温下工作磁力会不断衰减的问题，稳定性、可靠性高。

作为上述方案的改进方案，参照图2、图3，托盘还包括盖板400，盖板400位于底板100与锁止板300之间，锁止板300在工作过程中会发生移动，设置盖板400对基片500与锁止板300进行隔离，可以避免锁止板300接触基片500而划伤基片500。以图中所示为例，盖板400可以是适应常见基片形状的矩形板，其具有对应锁止销200设置的通孔410，使用时，锁止销200依次穿过盖板400与锁止板300，盖板400分别与底板100的前侧面以及锁止板300的后侧面贴合，从而实现基片500与锁止板300的隔离。

作为上述方案的改进方案，参照图2、图3，锁止销200还包括定位部230，且沿远离底板100的方向(例如图中从后向前的方向)，定位部230、第一锁止部210与第二锁止部220依次设置，且定位部230的直径与通孔410的孔径相等，如此，当定位部230插接在通孔410内时，盖板400与底板100之间不会发生上下、左右等平行方向的滑动，避免划伤基片500。

作为上述方案的改进方案，托盘包括多个锁止销200，相应的，锁止板300具有分别对应各锁止销200的多个锁止孔310，盖板400具有分别对应各锁止销200的多个通孔410，多个锁止销200、多个锁止孔310与多个通孔410配合，能够增加锁止板300、定位部230与盖板400的连接点，实现三者的稳定连接。以图1所示为例，锁止板300具有多个均匀分布的通槽320，通槽320对应基片500的镀膜表面设置，便于基片500接触反应气体。相邻通槽320之间通过锁止板300上的连接肋330进行分隔，连接肋330可以增加锁止板300的强度。锁止孔310位于相邻通槽320之间，具体是相邻通槽320之间的连接肋330的交汇处，由于交汇处的连接面积较大，强度更高，因此可以在保证强度的基础上开设锁止孔310。

需要说明的是，盖板400上也设有通槽，其中，通槽的位置、通孔410的位置均类似于锁止板300，在此不做详述。

参照图3，当托盘处于竖直状态时，锁止孔310的第一孔段311位于第二孔段312的上方，相应的，锁止板300能够向下移动，以使穿设在第二孔段312的第一锁止部210移动至第一孔段311，如此，锁止板300可以依靠重力保持在图3的状态，避免锁止板300因意外脱离底板100。

参照图2，在上述的托盘中，第一凹槽110的深度大于基片500的厚度，如此，当基片500放置于第一凹槽110内时，可以减少基片500与锁止板300或者盖板的接触，避免划伤基片500。

此外，底板100还可以设置第二凹槽130，第二凹槽130位于第一凹槽110的底部，如此，当基片500放置于第一凹槽110内时，可以便于基片500接触反应气体，同时减少基片500与底板100接触，避免划伤基片500。能够理解的是，第二凹槽130可以尽可能地增大，在保证基片500能够稳定放置的基础上，尽可能地增大基片500的悬空区域。

参照图3，作为上述方案的改进，第一锁止部210与第二锁止部220之间还具有导向部240，沿远离底板100的方向，导向部240的直径逐渐增大，如此，当锁止板300与导向部240接触时，导向部240可以给予锁止板300朝向底板100的作用力，使得锁止板300与盖板400或者底板100保持贴合。

基于上述结构，本实用新型实施例中装片流程为：

第一步：将底板100水平放置，第一凹槽110的开口朝上。

第二步：将基片500装入第一凹槽110。

第三步：将盖板400装在底板100的上方，锁止销200穿过相应的通孔410。

第四步：将锁止板300装在盖板400的上方，锁止销200穿过相应的第二孔段312。

第五步：然后将托盘整体竖起，锁止板300在重力的作用下下滑，锁止销200进入第一孔段311内，限制锁止板300沿分离方向的移动。

本实用新型还公开了一种HWCVD设备，其包括上述的托盘。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims

1.托盘，用于承载基片，其特征在于，包括：

底板，具有用于容置所述基片的第一凹槽；

2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，还包括盖板，所述盖板位于所述底板与所述锁止板之间，具有对应所述锁止销设置的通孔。

3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述锁止销还包括定位部，且沿远离所述底板的方向，所述定位部、所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置，所述定位部的直径与所述通孔的孔径相等。

4.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述托盘包括多个所述锁止销，所述锁止板具有分别对应各所述锁止销的多个所述锁止孔。

5.根据权利要求4所述的托盘，其特征在于，所述锁止板具有多个均匀分布的通槽，所述锁止孔位于相邻所述通槽之间。

6.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，当所述托盘处于竖直状态时，所述锁止孔的所述第一孔段位于所述第二孔段的上方，所述锁止板能够向下移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段。

7.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述第一凹槽的深度大于所述基片的厚度。

8.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述底板还包括第二凹槽，所述第二凹槽位于所述第一凹槽的底部。

9.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述第一锁止部与所述第二锁止部之间具有导向部，沿远离所述底板的方向，所述导向部的直径逐渐增大。

10.HWCVD设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的托盘。