CN215764636U - 一种气相前驱输送管路系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体，罐体上安装有盖体，盖体上固定嵌入有第一管道，盖体上固定有泵体，泵体的进液口与第一管道连通，泵体的出液口位置固定连通有第二管道，第二管道上固定嵌入有三通阀，三个第二管道上共同连通有混料通道，混料通道上固定嵌入有第三管道，第三管道上固定嵌入有逆止阀，第三管道的端部固定有过渡接口，过渡接口内固定嵌入有限流孔弹片，能够起到一个液体输送缓冲的效果。本实用新型通过三通阀可实现罐体的物料输送混料或单独罐体的物料输送，本实用新型通过混料通道能够将任意两种或所有罐体的化学药液进行混合输送，方便配料。

Description

一种气相前驱输送管路系统

技术领域

本实用新型涉及输送管路技术领域，具体为一种气相前驱输送管路系统。

背景技术

储罐区与生产装置之间，除了物料输送管道外，还应设置气相平衡管道，尤其是对于易挥发和有气味的物料。

其最大的优点是保证输送物料的密闭性，减少了物料气相部分的无组织排放，对于相同物料，储罐区和生产装置可以形成气相平衡管网。

目前，半导体生产时，储液罐的化学药液输送多数采用泵体直接抽送，常规的混料区仅具有管道引出结构，无法实现气相平衡，导致整个管路输送系统存在气相平衡缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气相前驱输送管路系统，以解决混料区的气相平衡问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体，所述罐体上安装有盖体，所述盖体上固定嵌入有第一管道，所述盖体上固定有泵体，所述泵体的进液口与第一管道连通，所述泵体的出液口位置固定连通有第二管道，所述第二管道上固定嵌入有三通阀，三个第二管道上共同连通有混料通道，所述混料通道上固定嵌入有第三管道，所述第三管道上固定嵌入有逆止阀，所述第三管道的端部固定有过渡接口，所述过渡接口内固定嵌入有限流孔弹片，能够起到一个液体输送缓冲的效果。

优选的，所述盖体上固定嵌入有第四管道，第四管道的端部固定有泄压阀，可保证罐体内的气压平衡。

优选的，所述混料通道的下端固定嵌入有排废接口，排废接口上固定嵌入有球阀，能够在生产完成后，对混料通道内的废液进行释放收集处理。

优选的，所述第三管道上固定嵌入有压力探测器，能够观察液体输送的压力情况，避免接收容器出现压力过大的情况，压力探测器的型号为QBE2103-P1。

优选的，所述过渡接口上固定有第五管道，第五管道上固定嵌入有蝶阀，可手动进行混料后的药液输送。

优选的，所述混料通道上还固定嵌入有第六管道，第六管道上固定嵌入有排气阀，能够将混料通道内的气体进行释放排出。

优选的，所述第六管道上分别嵌入有烟雾探测器和气体探测器，可对烟雾颗粒情况以及气体含量进行检测，烟雾探测器的型号为SM9571B，气体探测器需要根据实际化学液体释放气体情况选用合适的传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过三通阀可实现罐体的物料输送混料或单独罐体的物料输送。

2.本实用新型通过混料通道能够将任意两种或所有罐体的化学药液进行混合输送，方便配料。

3.本实用新型通过排气阀可进行混料区域的气体释放，避免混料区出现气相不平衡的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体流程示意图；

图2为本实用新型的限流孔弹片示意图。

图中：1、罐体；11、盖体；12、第一管道；13、三通阀；14、第二管道；15、混料通道；16、逆止阀；17、限流孔弹片；18、过渡接口；19、第三管道；110、泵体；2、第四管道；21、泄压阀；3、排废接口；31、球阀；4、压力探测器；5、蝶阀；51、第五管道；6、第六管道；61、排气阀；62、烟雾探测器；63、气体探测器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例Ⅰ

请参阅图1和图2，一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体1，罐体1上安装有盖体11，盖体11上固定嵌入有第一管道12，盖体11上固定有泵体110，泵体110的进液口与第一管道12连通，泵体110的出液口位置固定连通有第二管道14，第二管道14上固定嵌入有三通阀13，三个第二管道14上共同连通有混料通道15，混料通道15上固定嵌入有第三管道19，第三管道19上固定嵌入有逆止阀16，第三管道19的端部固定有过渡接口18，过渡接口18内固定嵌入有限流孔弹片17，能够起到一个液体输送缓冲的效果。

参阅图1，盖体11上固定嵌入有第四管道2，第四管道2的端部固定有泄压阀21，可保证罐体1内的气压平衡。

本实施例在使用时：通过泵体110可将独立罐体1内的化学液料进行抽取，然后通过三通阀13的转换进行单独取料或混料，泄压阀21可实现气体流通，从而实现罐体1内的气压平衡。

实施例Ⅱ

请参阅图1和图2，本实施方式对于实施例1进一步说明，一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体1，罐体1上安装有盖体11，盖体11上固定嵌入有第一管道12，盖体11上固定有泵体110，泵体110的进液口与第一管道12连通，泵体110的出液口位置固定连通有第二管道14，第二管道14上固定嵌入有三通阀13，三个第二管道14上共同连通有混料通道15，混料通道15上固定嵌入有第三管道19，第三管道19上固定嵌入有逆止阀16，第三管道19的端部固定有过渡接口18，过渡接口18内固定嵌入有限流孔弹片17，能够起到一个液体输送缓冲的效果。

参阅图1，混料通道15的下端固定嵌入有排废接口3，排废接口3上固定嵌入有球阀31，能够在生产完成后，对混料通道15内的废液进行释放收集处理。

参阅图1，第三管道19上固定嵌入有压力探测器4，能够观察液体输送的压力情况，避免接收容器出现压力过大的情况，压力探测器4的型号为QBE2103-P1。

本实施例在使用时：进行混料时，两种或以上的液料进入到混料通道15内，然后经过第三管道19输送出去，限流孔弹片17可起到一个液体输送缓冲的效果，压力探测器4可进行液体流动压力的检测。

实施例Ⅲ

请参阅图1和图2，本实施方式对于其它实施例进一步说明，一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体1，罐体1上安装有盖体11，盖体11上固定嵌入有第一管道12，盖体11上固定有泵体110，泵体110的进液口与第一管道12连通，泵体110的出液口位置固定连通有第二管道14，第二管道14上固定嵌入有三通阀13，三个第二管道14上共同连通有混料通道15，混料通道15上固定嵌入有第三管道19，第三管道19上固定嵌入有逆止阀16，第三管道19的端部固定有过渡接口18，过渡接口18内固定嵌入有限流孔弹片17，能够起到一个液体输送缓冲的效果。

参阅图1，盖体11上固定嵌入有第四管道2，第四管道2的端部固定有泄压阀21，可保证罐体1内的气压平衡。

参阅图1，混料通道15的下端固定嵌入有排废接口3，排废接口3上固定嵌入有球阀31，能够在生产完成后，对混料通道15内的废液进行释放收集处理。

参阅图1，第三管道19上固定嵌入有压力探测器4，能够观察液体输送的压力情况，避免接收容器出现压力过大的情况，压力探测器4的型号为QBE2103-P1。

参阅图1，过渡接口18上固定有第五管道51，第五管道51上固定嵌入有蝶阀5，可手动进行混料后的药液输送。

参阅图1，混料通道15上还固定嵌入有第六管道6，第六管道6上固定嵌入有排气阀61，能够将混料通道15内的气体进行释放排出。

参阅图1，第六管道6上分别嵌入有烟雾探测器62和气体探测器63，可对烟雾颗粒情况以及气体含量进行检测，烟雾探测器62的型号为SM9571B，气体探测器63需要根据实际化学液体释放气体情况选用合适的传感器。

本实施例在使用时：通过泵体110可将独立罐体1内的化学液料进行抽取，然后通过三通阀13的转换进行单独取料或混料，泄压阀21可实现气体流通，从而实现罐体1内的气压平衡。

进行混料时，两种或以上的液料进入到混料通道15内，然后经过第三管道19输送出去，限流孔弹片17可起到一个液体输送缓冲的效果，压力探测器4可进行液体流动压力的检测。

当需要保证混料通道15内的气相平衡时，通过排气阀61可进行混料通道15产生的气体释放处理，烟雾探测器62可对烟雾颗粒情况进行探测，气体探测器63可针对需要被检测气体的浓度进行探测。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)上安装有盖体(11)，所述盖体(11)上固定嵌入有第一管道(12)，所述盖体(11)上固定有泵体(110)，所述泵体(110)的进液口与第一管道(12)连通，所述泵体(110)的出液口位置固定连通有第二管道(14)，所述第二管道(14)上固定嵌入有三通阀(13)，三个第二管道(14)上共同连通有混料通道(15)，所述混料通道(15)上固定嵌入有第三管道(19)，所述第三管道(19)上固定嵌入有逆止阀(16)，所述第三管道(19)的端部固定有过渡接口(18)，所述过渡接口(18)内固定嵌入有限流孔弹片(17)。

2.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述盖体(11)上固定嵌入有第四管道(2)，第四管道(2)的端部固定有泄压阀(21)。

3.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述混料通道(15)的下端固定嵌入有排废接口(3)，排废接口(3)上固定嵌入有球阀(31)。

4.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述第三管道(19)上固定嵌入有压力探测器(4)。

5.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述过渡接口(18)上固定有第五管道(51)，第五管道(51)上固定嵌入有蝶阀(5)。

6.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述混料通道(15)上还固定嵌入有第六管道(6)，第六管道(6)上固定嵌入有排气阀(61)。

7.根据权利要求6所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述第六管道(6)上分别嵌入有烟雾探测器(62)和气体探测器(63)。

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