CN206741347U - 一款集成配气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一款集成配气装置，包括安装面板和配气罐，安装面板包括气路，气路包括由连接管路连接的进气口a，高压压力表，调压阀a，低压压力表，流量控制阀a，流量计a，开关控制阀和出气口a；配气罐由带有阵列排序的孔的分隔板分隔成上层和下层，下层的底部设有进气口b，上层的内壁上设有两个相对的风扇，配气罐的上方设有出气口b。本实用新型实现了配气装置的集成化设计，结构紧凑，安装空间小，便于模块化设计和安装，减小管路工程施工难度，提高气体控制工作的工作效率，使用时可调节8条气路中的任意支路，也可同时调整每条支路中的压力值和流量值，并且可以同时进行单一气或混合气的输送，气体混合更加均匀。

Description

一款集成配气装置

技术领域

本实用新型属于供气系统技术领域，具体涉及一款集成配气装置。

背景技术

在半导体芯片、光伏、化工、制药等行业的企业车间的都会用到特殊气体输送系统，叫做供气系统，在供气系统中很重要的一个模块就气体配气装置。配气装置的作用是控制气体的开关通断，调节压力和流量。当前行业内使用的气体装置内各原件布局较分散，控制开关的阀门和调节流量和压力的装置距离较远，中间通过较长的管路连接，这种装置占用空间较大，在支路较多时管路工程施工难度大。并且各控制阀门分散布置给操作人员的操作带来不便，难以同时调节多个气路，难以同时调节多个控制参数。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一款集成配气装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一款集成配气装置，包括安装面板和配气罐，其结构要点在于：安装面板包括气路，气路包括由连接管路连接的进气口a，高压压力表，调压阀a，低压压力表，流量控制阀a，流量计a，开关控制阀和出气口a；配气罐为圆柱形罐，配气罐由带有阵列排序的孔的分隔板分隔成上层和下层，下层的底部设有进气口b，上层的内壁上设有两个相对的风扇，上层的外壁设有与风扇连接的开关，配气罐的上方设有出气口b，出气口b上设有调压阀b，压力表，流量控制阀b和流量计b；出气口a和进气口b通过带有三通管接头的连接管相连接，连接管上设有出气口c且与三通管接头相连接。

作为优选的，配气罐的数量为2个。

作为优选的，气路的数量为8条。

作为优选的，进气口b的数量为4个且均匀分布在配气罐的圆周上。

作为优选的，进气口b与配气罐的外壁所成的夹角小于90度。

作为优选的，分隔板上的孔为圆形或方形或三角形。

与现有技术相比，本实用新型实现了配气装置的集成化设计，结构紧凑，安装空间小，便于模块化设计和安装，减小管路工程施工难度，提高气体控制工作的工作效率，使用时可调节8条气路中的任意支路，也可同时调整每条支路中的压力值和流量值，并且可以同时进行单一气或混合气的输送，气体混合更加均匀。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1-安装面板，2-高压压力表，3-调压阀a，4-低压压力表，5-流量计a，6-流量控制阀a，7-开关控制阀，8-连接管路，9-进气口a，10-出气口a，11-配气罐，12-进气口b，13-分隔板，14-风扇，15-调压阀b，16-压力表，17-流量控制阀b，18-流量计b，19-出气口b，20-气路，21-上层，22-下层，23-开关，24-三通管接头，25-连接管，26-出气口c。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的解释说明，但不限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“底部”、“内”、“下外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案，包括安装面板1和配气罐11，所述的安装面板1包括气路20，所述的气路20包括由连接管路8连接的进气口a9，高压压力表2，调压阀a3，低压压力表4，流量控制阀a6，流量计a5，开关控制阀7和出气口a10；所述的配气罐11为圆柱形罐，所述的配气罐11由带有阵列排序的孔的分隔板13分隔成上层21和下层22，所述的下层22的底部设有进气口b12，所述的上层21的内壁上设有两个相对的风扇14，所述的上层21的外壁设有与风扇14连接的开关23，所述的配气罐11的上方设有出气口b19，所述的出气口b19上设有调压阀b15，压力表16，流量控制阀b17和流量计b18；所述的出气口a10和进气口b12通过带有三通管接头24的连接管25相连接，所述的连接管25上设有出气口c26且与三通管接头24相连接。

其中，在本实施例中，所述的配气罐11的数量为2个。

其中，在本实施例中，所述的气路20的数量为8条。

其中，在本实施例中，所述的进气口b12的数量为4个且均匀分布在配气罐11的圆周上。

其中，在本实施例中，所述的进气口b12与配气罐11的外壁所成的夹角小于90度。

其中，在本实施例中，分隔板13上的孔为圆形或方形或三角形。

根据本实用新型提供一种技术方案，需要输送单一气体时，打开任一气路20的开关控制阀7，气体从进气口a9流入，通过调压阀a3调节压力值，再通过流量控制阀a6控制流速，调节三通管接头24使气体从出气口c26流出，最后通过连接管路8将气体输送到相应的设备，也可以同时打开8条气路20，为8个设备同时输送单一气体；需要输送混合气时，配气的种类最多为4种，选择与同一配气罐11相连接的相应气路20，打开开关控制阀7和开关23，几种气体从进气口a9流入，根据混合气的配比，通过调压阀a3调节压力值，再通过流量控制阀a6控制流速，几种气体从出气口a10流出，调节三通管接头24，使几种气体通过进气口b12流入配气罐11的下层22，由于配气罐11为圆柱形罐，几种气体在压力的作用下沿着内壁螺旋形上升，进行初步混合，进气口b12与配气罐11的外壁所成的夹角越小，气体与配气罐11的内壁间作用力越大，混合越均匀，混合气通过分隔板13进入配气罐11的上层21，在相对的两个风扇14的作用下进一步混合均匀，最后根据需要调节调压阀b15和流量控制阀b17，使混合气从出气口b19流出，通过连接管路8将混合气输送到相应的设备，也可以同时使用2个配气罐11输送混合气或者单一气和混合气同时输送。功能多样化，合理利用资源，结构紧凑，安装空间小，便于模块化设计和安装，减小管路工程施工难度，提高气体控制工作的工作效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一款集成配气装置，包括安装面板和配气罐，其特征在于：

所述的安装面板包括气路，所述的气路包括由连接管路连接的进气口a，高压压力表，调压阀a，低压压力表，流量控制阀a，流量计a，开关控制阀和出气口a；

所述的配气罐为圆柱形罐，所述的配气罐由带有阵列排序的孔的分隔板分隔成上层和下层，所述的下层的底部设有进气口b，所述的上层的内壁上设有两个相对的风扇，所述的上层的外壁设有与风扇连接的开关，所述的配气罐的上方设有出气口b，所述的出气口b上设有调压阀b，压力表，流量控制阀b和流量计b；

所述的出气口a和进气口b通过带有三通管接头的连接管相连接，所述的连接管上设有出气口c且与三通管接头相连接。

2.根据权利要求1所述的一款集成配气装置，其特征在于：所述的配气罐的数量为2个。

3.根据权利要求1所述的一款集成配气装置，其特征在于：所述的气路的数量为8条。

4.根据权利要求1所述的一款集成配气装置，其特征在于：所述的进气口b的数量为4个且均匀分布在配气罐的圆周上。

5.根据权利要求1所述的一款集成配气装置，其特征在于：所述的进气口b与配气罐的外壁所成的夹角小于90度。

6.根据权利要求1所述的一款集成配气装置，其特征在于：所述的分隔板上的孔为圆形或方形或三角形。