CN215668183U - 一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜设备挡板，其中，蒸发镀膜设备挡板包括挡板组件和调节组件。内轴和外轴同步转动，内轴带动第一扇骨运动，外轴带动第二扇骨运动，中间扇骨随第一扇骨和第二扇骨运动，调节扇形挡板的遮挡位置；内轴不转动，第一扇骨不运动，外轴转动，第二扇骨运动，第二扇骨拉动扇形挡板运动，扇形挡板带动中间扇骨运动，使处于折叠状态的扇形挡板展开或者将处于展开状态的扇形挡板折叠，调节扇形挡板的折叠面积，进而调节扇形挡板的遮挡面积。本方案公开的蒸发镀膜设备挡板不仅可以调节遮挡位置，而且可以调节遮挡面积，增强了蒸发镀膜设备挡板遮挡范围的调节，适应的蒸镀场景更加广泛。

Description

一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板

技术领域

本实用新型涉及新能源技术领域，特别涉及一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板。

背景技术

在半导体制造领域，蒸发镀膜是一种常见的镀膜沉积工艺。

蒸发镀膜设备的挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，提高蒸发镀膜的均匀性。

现有技术中，蒸发镀膜设备常用的挡板一般为半圆形或者矩形形状的挡板，且个数为两个，两个挡板通过气动装置控制开合，两个挡板只能在特定的方向开合，挡板遮挡调节范围小，适应的蒸镀场景有限。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种蒸发镀膜设备挡板，以增强挡板遮挡范围的调节。本实用新型还提供了一种蒸发镀膜设备。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种蒸发镀膜设备挡板，包括挡板组件和调节组件，

所述挡板组件用于提高蒸发镀膜的均匀性，所述调节组件用于调节所述挡板组件，

所述调节组件包括内轴和外轴，

所述外轴内开设有与所述外轴同轴布置的第一安装孔，所述外轴能够绕自身轴线转动，

所述内轴能够绕自身轴线转动，所述内轴安装在所述第一安装孔内且与所述第一安装孔间隙配合，或者，所述内轴通过轴承安装在所述第一安装孔内，所述轴承的外圈与所述第一安装孔的孔壁连接，所述轴承的内圈与所述内轴连接，

所述挡板组件包括扇形挡板、第一扇骨、第二扇骨和中间扇骨，

所述第一扇骨与所述扇形挡板的第一边连接，且所述第一扇骨位于所述扇形挡板的第一面，所述第一扇骨对应所述扇形挡板的圆心的位置与所述内轴固定连接，所述第一扇骨能够随所述内轴同步运动，

所述第二扇骨与所述扇形挡板的第二边连接，且所述第二扇骨位于所述扇形挡板的第二面，所述第二扇骨对应所述扇形挡板的圆心的位置与所述外轴固定连接，所述第二扇骨能够随所述外轴同步运动，

所述中间扇骨的个数至少为一个，所述中间扇骨位于所述第一扇骨和所述第二扇骨之间，所述中间扇骨与所述扇形挡板的第一面或者第二面连接且沿所述扇形挡板的半径方向设置，所述扇形挡板能够在所述中间扇骨的位置发生折叠，所述中间扇骨对应所述扇形挡板的圆心的位置开设有第二安装孔，所述中间扇骨通过所述第二安装孔套设在所述内轴或者所述外轴上且所述第二安装孔与所述内轴或者外轴间隙配合，

其中，所述第一边和所述第二边分别为所述扇形挡板的外圆弧对应的两条半径所在的边，所述第一面和所述第二面分别为所述扇形挡板的两个面，所述第一面与所述第二面相对。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述第二扇骨通过轴套与所述外轴连接，所述轴套套设在所述外轴上且与所述外轴过盈配合，所述轴套的外轴与所述第二扇骨对应所述圆心的位置连接。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述轴套的外壁设置有挡杆，所述挡杆能够与所述第二扇骨远离所述中间扇骨的一侧相抵。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述挡杆为L型挡杆。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述挡杆上设置有第一角度传感器，所述第一角度传感器用于检测所述第一扇骨和所述第二扇骨之间的角度。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述第二扇骨对应所述圆心的位置设置有第三安装孔，所述第二扇骨通过第三安装孔套设在所述外轴上，所述第三安装孔与所述外轴过盈配合；

或者，

所述第二扇骨对应所述圆心的位置与所述外轴胶粘连接，

或者，

所述第二扇骨对应所述圆心的位置与所述外轴铆接连接，

或者，

所述第二扇骨对应所述圆心的位置与所述外轴通过螺栓连接。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述内轴与所述第一扇骨连接的一端凸出于所述外轴，所述第一扇骨与所述内轴凸出于所述外轴的位置连接，

所述第二扇骨位于所述中间扇骨的下方。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述外轴通过与第一驱动组件驱动转动，

所述内轴通过与第二驱动组件驱动转动，

所述第一驱动组件和所述第二驱动组件能够同步驱动。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述第一驱动组件包括第一电机、第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述第二齿轮与所述外轴连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合；

或者，

所述第一驱动组件包括第一电机、第一链轮、第一链条和第二链轮，所述第一电机的输出轴与所述第一链轮连接，所述第二链轮与所述外轴连接，所述第一链轮与所述第二链轮通过第一链条连接。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述第二驱动组件包括第二电机、第三齿轮和第四齿轮，所述第二电机的输出轴与所述第三齿轮连接，所述第四齿轮与所述内轴连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合；

或者，

所述第二驱动组件包括第二电机、第三链轮、第二链条和第四链轮，所述第二电机的输出轴与所述第三链轮连接，所述第四链轮与所述内轴连接，所述第三链轮与所述第四链轮通过第二链条连接。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述第一扇骨对应所述圆心的位置与所述内轴胶粘连接，

或者，

所述第一扇骨对应所述圆心的位置与所述内轴铆接连接，

或者，

所述第一扇骨对应所述圆心的位置与所述内轴通过螺栓连接。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述内轴上设置有用于检测所述内轴旋转角度的第二角度传感器，

所述外轴上设置有用于检测所述外轴旋转角度的第三角度传感器。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述外轴上设置有用于检测所述扇形挡板位置的位置传感器。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述扇形挡板的弧度为30°-360°。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述扇形挡板为钢制薄片挡板、铝箔挡板、锡箔挡板或者耐高温塑料薄膜挡板。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，相邻所述中间扇骨、所述第一扇骨和所述中间扇骨以及所述第二扇骨和所述中间扇骨之间的夹角为15-60°。

优选的，在上述蒸发镀膜设备挡板中，所述内轴和所述外轴为钢制轴。

一种蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备挡板，所述蒸发镀膜设备挡板为上述任意一个方案中记载的所述蒸发镀膜设备挡板。

从上述技术方案可以看出，本实用新型提供的蒸发镀膜设备挡板，包括挡板组件和调节组件，挡板组件包括扇形挡板、第一扇骨、第二扇骨和中间扇骨，调节组件包括内轴和外轴。调节组件可以对挡板组件的位置进行调节，具体的内轴和外轴同步转动，内轴带动第一扇骨运动，外轴带动第二扇骨运动，中间扇骨随第一扇骨和第二扇骨运动，调节扇形挡板的遮挡位置；调节组件也可以对挡板组件的遮挡面积进行调节，具体的内轴不转动，第一扇骨不运动，外轴转动，第二扇骨运动，第二扇骨拉动扇形挡板运动，扇形挡板带动中间扇骨运动，使处于折叠状态的扇形挡板展开或者将处于展开状态的扇形挡板折叠，调节扇形挡板的折叠面积，进而调节扇形挡板的遮挡面积。本方案公开的蒸发镀膜设备挡板不仅可以调节遮挡位置，而且可以调节遮挡面积，增强了蒸发镀膜设备挡板遮挡范围的调节，适应的蒸镀场景更加广泛。

本方案还公开了一种蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备挡板，蒸发镀膜设备挡板为上述任意一个方案中公开的蒸发镀膜设备挡板。由于蒸发镀膜设备挡板具有上述技术效果，具有该蒸发镀膜设备挡板的蒸发镀膜设备也具有同样的技术效果，在此不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的蒸发镀膜设备挡板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的蒸发镀膜设备挡板的挡板组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的蒸发镀膜设备挡板的调节组件的结构示意图。

其中，

1、挡板组件，11、扇形挡板，12、第一扇骨，13、第二扇骨，14、中间扇骨，

2、调节组件，21、内轴，22、外轴，23、轴套，24、挡杆。

具体实施方式

本实用新型公开了一种蒸发镀膜设备挡板，以增强挡板遮挡范围的调节。

本实用新型还公开了一种蒸发镀膜设备。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3。

本实用新型公开了一种蒸发镀膜设备挡板，包括挡板组件1和调节组件2，其中，挡板组件1用于提高蒸发镀膜的均匀性，调节组件2用于调节挡板组件1。

调节组件2包括内轴21和外轴22，外轴22和内轴21同轴布置。

具体的，外轴22能够绕自身轴线转动，外轴22内开设有与外轴22同轴布置的第一安装孔，

内轴21位于第一安装孔内，内轴21能够绕自身轴线转动，且内轴21与外轴22之间的转动相互不影响。

实现内轴21与外轴22分开转动的连接方式有两种，第一种是内轴21与第一安装孔间隙配合，内轴21的外壁与第一安装孔的孔壁不接触；第二种是第一安装孔内设置轴承，轴承的外圈与第一安装孔的孔壁固定连接轴承的内圈与内轴21的外壁固定连接，内轴21与外轴22通过轴承实现非同步转动。

此处对内轴21与外轴22之间的转动相互不影响进行解释说明，内轴21和外轴22发生相对转动时，内轴21与外轴22相互不干涉，内轴21和外轴22发生同步转动时，内轴21与外轴22相互不干涉。

挡板组件1包括扇形挡板11、第一扇骨12、第二扇骨13和中间扇骨14，其中，第一扇骨12和第二扇骨13的个数均为一个，中间扇骨14的个数至少为一个。中间扇骨14的个数至少为一个的意思是中间扇骨14的个数可以为一个，也可以为两个、三个、甚至更多个。

第一扇骨12和第二扇骨13分别位于扇形挡板11的第一边和第二边。此处对扇形挡板11的第一边和第二边进行说明，扇形挡板11的第一边和第二边分别为扇形挡板11的外圆弧对应的两个半径所在的边。

第一扇骨12位于扇形挡板11的第一面，第二扇骨13位于扇形挡板11的第二面。此处对扇形挡板11的第一面和第二面进行说明，扇形挡板11为板状结构，具有面积较大的两个面，这两个面为提高蒸发镀膜均匀性的工作面，且这两个面与第一扇骨12所在的平面平行，本方案中把扇形挡板11的这两个面命名为第一面和第二面，第一面和第二面相对。

第一扇骨12和第二扇骨13分别位于扇形挡板11的第一面和第二面，使得扇形挡板11的两个面均能够承受作用力。

第一扇骨12对应扇形挡板11的圆心的位置与内轴21固定连接，第一扇骨12能够随内轴21同步运动，第一扇骨12的运动方向为内轴21的圆周方向，具体的，内轴21转动时，第一扇骨12随内轴21同步运动，内轴21不转动时，第一扇骨12也不运动。

第二扇骨13对应扇形挡板11的圆心的位置与外轴22固定连接，第二扇骨13能够随外轴22同步运动，第二扇骨13的运动方向为外轴22的圆周方向，具体的，外轴22转动时，第二扇骨13随外轴22同步转动，外轴22不转动时，第二扇骨13也不运动。

中间扇骨14位于第一扇骨12和第二扇骨13之间，中间扇骨14与扇形挡板11的第一面或者第二面连接，即中间扇骨14可以与第一扇骨12位于扇形挡板11的同侧，中间扇骨14也可以与第二扇骨13位于扇形挡板11的同侧。

本方案中中间扇骨14沿着扇形挡板11的半径方向设置，扇形挡板11能够在中间扇骨14的位置发生折叠，扇形挡板11通过折叠实现的工作面积的调节。具体的，第一扇骨12和第二扇骨13之间的张角不同，扇形挡板11的折叠程度不同，遮挡面积不同，按照遮挡面积的需求，第一扇骨12和第二扇骨13打开不同的角度。

中间扇骨14对应扇形挡板11的圆心的位置设置有第二安装孔，中间扇骨14通过第二安装孔套设在内轴21或者外轴22上，即中间扇骨14可以和第一扇骨12一同安装在内轴21上，或者，中间扇骨14可以和第二扇骨13一同安装在外轴22上。

第二安装孔与内轴21或者外轴22间隙配合，在内轴21或者外轴22转动时，中间扇骨14不随内轴21或者外轴22一起转动。

本方案公开的蒸发镀膜设备挡板，包括挡板组件1和调节组件2，挡板组件1包括扇形挡板11、第一扇骨12、第二扇骨13和中间扇骨14，调节组件2包括内轴21和外轴22。调节组件2可以对挡板组件1的位置进行调节，具体的内轴21和外轴22同步转动，内轴21带动第一扇骨12运动，外轴22带动第二扇骨13运动，中间扇骨14随第一扇骨12和第二扇骨13运动，调节扇形挡板11的遮挡位置；调节组件2也可以对挡板组件1的遮挡面积进行调节，具体的内轴21不转动，第一扇骨12不运动，外轴22转动，第二扇骨13运动，第二扇骨13拉动扇形挡板11运动，扇形挡板11带动中间扇骨14运动，使处于折叠状态的扇形挡板11展开或者将处于展开状态的扇形挡板11折叠，调节扇形挡板11的折叠面积，进而调节扇形挡板11的遮挡面积。本方案公开的蒸发镀膜设备挡板不仅可以调节遮挡位置，而且可以调节遮挡面积，增强了蒸发镀膜设备挡板遮挡范围的调节，适应的蒸镀场景更加广泛。

第一扇骨12、第二扇骨13和中间扇骨14的长度相等，第一扇骨12和第二扇骨13的宽度至少等于中间扇骨14的宽度，且第一扇骨12和第二扇骨13的厚度至少等于中间扇骨14的厚度。

第二扇骨13与外轴22的连接方式有多种。

在本方案的第一个具体实施例中，第二扇骨13通过轴套23与外轴22连接。具体的，第二扇骨13对应圆心的位置设置有轴套23，轴套23套设在外轴22上且与外轴22过盈配合，保证轴套23能够对外轴22一起转动，进而保证轴套23能够带动第二扇骨13运动。

在本方案的第二个具体实施例中，第二扇骨13对应扇形挡板11的圆心的位置设置有第三安装孔，第二扇骨13通过第三安装孔套设在外轴22上，且第三安装孔与外轴22过盈配合。

在本方案的第三个具体实施例中，第二扇骨13对应扇形挡板11的圆心的位置与外轴22胶粘连接。

在本方案的第四个具体实施例中，第二扇骨13对应扇形挡板11的圆心的位置与外轴22铆接连接。

在本方案的第五个具体实施例中，第二扇骨13对应扇形挡板11的圆心的位置与外轴22通过螺栓连接。

在第二扇骨13通过轴套23与外轴22连接的实施例中，轴套23的外壁设置有挡杆24，挡杆24能够与第二扇骨13远离中间扇骨14的一侧相抵。在减小扇形挡板11遮挡面积时，外轴22带动第二扇骨13运动，扇形挡板11会在设置有中间扇骨14的位置发生折叠，挡杆24能够在中间扇骨14与第二扇骨13发生重叠时对中间扇骨14起到限位的作用。

如图1所示，挡杆24为L型挡杆。

在本方案的一个具体实施例中，挡杆24上设置有第一角度传感器，第一角度传感器用于检测第一扇骨12与第二扇骨13之间的角度。通过第一角度传感器检测第一扇骨12和第二扇骨13之间的角度能够明确扇形挡板11的遮挡面积。

如图1所示，内轴21与第一扇骨12连接的一端凸出于外轴22，第一扇骨12与内轴21凸出于外轴22的位置连接，降低第一扇骨12与内轴21的连接难度。

该实施例中，第一扇骨12、中间扇骨14和第二扇骨13由上至下层叠布置。

本方案中外轴22的转动通过第一驱动组件实现，内轴21的转动通过第二驱动组件实现。

调节扇形挡板11的遮挡位置时，第一驱动组件和第二驱动组件同步驱动，第一驱动组件驱动外轴22转动，第二驱动组件驱动内轴21转动。

本方案中公开了两种第一驱动组件的实施例中。

第一个实施例中，第一驱动组件包括第一电机、第一齿轮和第二齿轮，第一电机的输出轴与第一齿轮连接，第二齿轮与外轴22连接，第一齿轮与第二齿轮啮合。

第二个实施例中，第一驱动组件包括第一电机、第一链轮、第一链条和第二链轮，第一电机的输出轴与第一链轮连接，第二链轮与外轴22连接，第一链轮与第二链轮通过第一链条连接。

本方案中公开了两种第二驱动组件的实施例中。

第一个实施例中，第二驱动组件包括第二电机、第三齿轮和第四齿轮，第二电机的输出轴与第三齿轮连接，第四齿轮与内轴21连接，第一齿轮与第二齿轮啮合。

第二个实施例中，第二驱动组件包括第二电机、第三链轮、第二链条和第四链轮，第二电机的输出轴与第三链轮连接，第四链轮与内轴21连接，第三链轮与第四链轮通过第二链条连接。

第一扇骨12与内轴21连接的方式有多种。

在本方案的第一个具体实施例中，第一扇骨12对应扇形挡板11的圆心的位置与内轴21胶粘连接。

在本方案的第二个具体实施例中，第一扇骨12对应扇形挡板11的圆心的位置与内轴21铆接连接。

在本方案的第三个具体实施例中，第一扇骨12对应扇形挡板11的圆心的位置与内轴21通过螺栓连接。

在本方案的一个具体实施方式中，内轴21和外轴22能够同时进行转动，但是内轴21和外轴22的转动速度可以不一致，例如，外轴22的转动速度大于内轴21的转动速度，此时不仅可以改变扇形挡板11的遮挡位置，还能够同时增大扇形挡板11的遮挡面积，或者，外轴22的转动速度小于内轴21的转动速度，此时不仅可以改变扇形挡板11的遮挡位置，还能够同时减小扇形挡板11的遮挡面积。

在上述实施方式中，内轴21上设置有用于检测内轴21旋转角度的第二角度传感器，外轴22上设置有用于检测外轴22旋转角度的第三角度传感器，通过第二角度传感器与第三角度传感器的角度差得到扇形挡板11的遮挡面积。

为了进一步优化上述技术方案，本方案公开的蒸发镀膜设备挡板还包括位置传感器，位置传感器用于检测扇形挡板11的遮挡位置。

具体的，位置传感器设置在外轴22上。

扇形挡板11的弧度为30°-360°。此处需要说明的是，扇形挡板11的弧度为扇形挡板11完全展开时的弧度。

扇形挡板11的弧度为90°时，扇形挡板11完全展开时呈四分之一圆形；

扇形挡板11的弧度为180°时，扇形挡板11完全展开时呈半圆形；

扇形挡板11的弧度为360°时，扇形挡板11完全展开时呈圆形。

扇形挡板11为钢制薄片挡板、铝箔挡板、锡箔挡板或者耐高温塑料薄膜挡板。

为了进一步增强扇形挡板11遮挡面积的调节范围，本方案中相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为15°-60°。

在相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为15°，扇形挡板11完全折叠时的遮挡面积为15°圆弧。

在相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为30°，扇形挡板11完全折叠时的遮挡面积为30°圆弧。

在相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为45°，扇形挡板11完全折叠时的遮挡面积为45°圆弧。

在相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为60°，扇形挡板11完全折叠时的遮挡面积为60°圆弧。

相邻中间扇骨14之间的夹角、第一扇骨12与中间扇骨14之间的夹角和中间扇骨14与第二扇骨13之间的夹角为15°、30°、45°和60°，还可以为其他夹角，例如10°、14.4°、20°或者其他角度的夹角，在此不做具体限定。

优选的，夹角越小，遮挡面积调节的范围越大。

在本方案的一个具体实施例中，内轴21和外周为钢制轴。

本方案还公开了一种蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备挡板，蒸发镀膜设备挡板为上述任意一个方案中公开的蒸发镀膜设备挡板。

由于蒸发镀膜设备挡板具有上述技术效果，具有该蒸发镀膜设备挡板的蒸发镀膜设备也具有同样的技术效果，在此不再赘述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (18)

1.一种蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，包括挡板组件(1)和调节组件(2)，

所述挡板组件(1)用于提高蒸发镀膜的均匀性，所述调节组件(2)用于调节所述挡板组件(1)，

所述调节组件(2)包括内轴(21)和外轴(22)，

所述外轴(22)能够绕自身轴线转动，所述外轴(22)内开设有与所述外轴(22)同轴布置的第一安装孔，

所述内轴(21)能够绕自身轴线转动，所述内轴(21)安装在所述第一安装孔内且与所述第一安装孔间隙配合，或者，所述内轴(21)通过轴承安装在所述第一安装孔内，所述轴承的外圈与所述第一安装孔的孔壁连接，所述轴承的内圈与所述内轴(21)连接，

所述挡板组件(1)包括扇形挡板(11)、第一扇骨(12)、第二扇骨(13)和中间扇骨(14)，

所述第一扇骨(12)与所述扇形挡板(11)的第一边连接，且所述第一扇骨(12)位于所述扇形挡板(11)的第一面，所述第一扇骨(12)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置与所述内轴(21)固定连接，所述第一扇骨(12)能够随所述内轴(21)同步运动，

所述第二扇骨(13)与所述扇形挡板(11)的第二边连接，且所述第二扇骨(13)位于所述扇形挡板(11)的第二面，所述第二扇骨(13)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置与所述外轴(22)固定连接，所述第二扇骨(13)能够随所述外轴(22)同步运动，

所述中间扇骨(14)的个数至少为一个，所述中间扇骨(14)位于所述第一扇骨(12)和所述第二扇骨(13)之间，所述中间扇骨(14)与所述扇形挡板(11)的第一面或者第二面连接且沿所述扇形挡板(11)的半径方向设置，所述扇形挡板(11)能够在所述中间扇骨(14)的位置发生折叠，所述中间扇骨(14)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置开设有第二安装孔，所述中间扇骨(14)通过所述第二安装孔套设在所述内轴(21)或者所述外轴(22)上且所述第二安装孔与所述内轴(21)或者外轴(22)间隙配合，

其中，所述第一边和所述第二边分别为所述扇形挡板(11)的外圆弧对应的两条半径所在的边，所述第一面和所述第二面分别为所述扇形挡板(11)的两个面，所述第一面与所述第二面相对。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第二扇骨(13)通过轴套(23)与所述外轴(22)连接，所述轴套(23)套设在所述外轴(22)上且与所述外轴(22)过盈配合，所述轴套(23)的外轴(22)与所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置连接。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述轴套(23)的外壁设置有挡杆(24)，所述挡杆(24)能够与所述第二扇骨(13)远离所述中间扇骨(14)的一侧相抵。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述挡杆(24)为L型挡杆。

5.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述挡杆(24)上设置有第一角度传感器，所述第一角度传感器用于检测所述第一扇骨(12)和所述第二扇骨(13)之间的角度。

6.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置设置有第三安装孔，所述第二扇骨(13)通过第三安装孔套设在所述外轴(22)上，所述第三安装孔与所述外轴(22)过盈配合；

或者，

所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置与所述外轴(22)胶粘连接，

或者，

所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置与所述外轴(22)铆接连接，

或者，

所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置与所述外轴(22)通过螺栓连接。

7.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述内轴(21)与所述第一扇骨(12)连接的一端凸出于所述外轴(22)，所述第一扇骨(12)与所述内轴(21)凸出于所述外轴(22)的位置连接，

所述第二扇骨(13)位于所述中间扇骨(14)的下方。

8.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述外轴(22)通过与第一驱动组件驱动转动，

所述内轴(21)通过与第二驱动组件驱动转动，

所述第一驱动组件和所述第二驱动组件能够同步驱动。

9.根据权利要求8所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一电机、第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述第二齿轮与所述外轴(22)连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合；

或者，

所述第一驱动组件包括第一电机、第一链轮、第一链条和第二链轮，所述第一电机的输出轴与所述第一链轮连接，所述第二链轮与所述外轴(22)连接，所述第一链轮与所述第二链轮通过第一链条连接。

10.根据权利要求8所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第二驱动组件包括第二电机、第三齿轮和第四齿轮，所述第二电机的输出轴与所述第三齿轮连接，所述第四齿轮与所述内轴(21)连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合；

或者，

所述第二驱动组件包括第二电机、第三链轮、第二链条和第四链轮，所述第二电机的输出轴与所述第三链轮连接，所述第四链轮与所述内轴(21)连接，所述第三链轮与所述第四链轮通过第二链条连接。

11.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第一扇骨(12)对应所述圆心的位置与所述内轴(21)胶粘连接，

或者，

所述第一扇骨(12)对应所述圆心的位置与所述内轴(21)铆接连接，

或者，

所述第一扇骨(12)对应所述圆心的位置与所述内轴(21)通过螺栓连接。

12.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述内轴(21)上设置有用于检测所述内轴(21)旋转角度的第二角度传感器，

所述外轴(22)上设置有用于检测所述外轴(22)旋转角度的第三角度传感器。

13.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述外轴(22)上设置有用于检测所述扇形挡板(11)位置的位置传感器。

14.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述扇形挡板(11)的弧度为30°-360°。

15.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述扇形挡板(11)为钢制薄片挡板、铝箔挡板、锡箔挡板或者耐高温塑料薄膜挡板。

16.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，相邻所述中间扇骨(14)、所述第一扇骨(12)和所述中间扇骨(14)以及所述第二扇骨(13)和所述中间扇骨(14)之间的夹角为15-60°。

17.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述内轴(21)和所述外轴(22)为钢制轴。

18.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括蒸发镀膜设备挡板，所述蒸发镀膜设备挡板为权利要求1-17中任意一项所述的蒸发镀膜设备挡板。

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