CN215593246U - 一种长晶炉用升降系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种长晶炉用升降系统,所述升降系统包括升降执行装置和升降台,所述升降台与所述升降执行装置传动设置,所述升降台受所述升降执行装置驱动,在所述升降执行装置的驱动下使所述升降台按设定路径执行升降动作;所述升降系统还包括锁止单元,当所述升降台的运动速率大于设定的速度时,所述锁止单元将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。本申请所公开长晶炉用升降系统具有发生故障时将所述升降台进行锁止功能,具有安全、可靠、自动化程度高等优点。
Description
技术领域
本申请属于长晶工业技术领域,尤其涉及一种长晶炉用升降系统。
背景技术
众所周知,晶体在生产和生活中扮演着重要的角色。而晶体往往通过长晶炉来进行生产。碳化硅是重要的第三代半导体材料之一,因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性,被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。
现有的长晶炉炉体下端往往开设有开口,并在所述开口处设置下盖体,以便于装料、取料、炉膛清理等操作,进而提高生产效率,然而下盖提的升降由电机(例如伺服电机、步进电机等)经减速机进行驱动,单由于安装空间等因素的限制,往往需要采用皮带传动、丝杠滑块传动的方式进行传动。由于长晶过程中,需要采用中频加热,这种加热方式会对长晶炉升降系统造成损伤(例如皮带断裂、丝杠断轴等问题),极易导致长晶炉的下盖与物料坠落,进而造成设备的进一步损坏和物料的损失,给长晶生产带来较大的困扰,严重时,还可能造成安全事故。现有的长晶设备完全依赖工人的监控和检修来避免相关事故的发生,然而这种监控方式可靠性差、对检修人员的要求较高以及劳动强度大,更不能彻底避免事故的发生。如果能够使升降系统的传动装置在发生故障时,能够将所述长晶炉的升降台进行快速的锁止具有重要的意义。为此,申请人提出了一种安全、可靠、自动化程度高的新型长晶炉用升降系统。
需要说明的是,上述内容属于发明人的技术认知范畴,并不必然构成现有技术。
实用新型内容
本实用新型提供了一种长晶炉用升降系统,以解决上述技术问题中的至少一个技术问题。
本实用新型所采用的技术方案为:
一种长晶炉用升降系统,所述升降系统包括升降执行装置和升降台,所述升降台与所述升降执行装置传动设置,所述升降台受所述升降执行装置驱动,在所述升降执行装置的驱动下使所述升降台按设定路径执行升降动作;所述升降系统还包括锁止单元,当所述升降台的运动速率大于设定的速度时,所述锁止单元将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。
优选地,使所述升降执行装置包括安装基体和传动组件,所述升降台经所述传动组件与所述安装基体相连接,且所述升降台位于所述升降执行装置的一侧;所述锁止单元固设于所述安装基体上,所述锁止单元包括牵引体,所述牵引体的一端与所述升降台相连接,当所述升降台的下降速度大于设定的速度时,所述牵引体拉紧所述升降台并将其锁止于所述升降执行装置上。
优选地,使所述升降执行装置包括驱动单元、丝杠和与所述丝杠适配的滑块,所述丝杠竖向固设于所述安装基体上,所述滑块与所述升降台固连设置,所述驱动单元与所述丝杠传动设置;或者,选择性地使所述升降执行装置包括驱动单元和传动带,所述驱动单元经所述传动带与所述升降台传动设置,以牵引所述升降台升降;或者,选择性地使所述升降执行装置包括驱动单元和传动链,所述驱动单元经所述传动链与所述升降台传动设置,以牵引所述升降台升降。
优选地,使所述锁止单元设为离心式锁止单元,所述锁止单元包括转轴、锁止结构和锁止卡接结构,所述锁止卡接结构与所述转轴连接设置,所述锁止结构套设于所述转轴的外侧且与所述锁止卡接结构对位适配,所述牵引体与所述转轴可缠绕连接设置;在具体工作中,当所述转轴的转速大于设定速度时,所述锁止卡接结构的卡接部朝远离转轴的方向移动并与所述锁止结构相卡接。
优选地,使所述锁止卡接结构包括卡爪和卡爪安装件,所述卡爪安装件固设于所述转轴上,所述卡爪包括连接部和卡接部,所述卡爪经所述连接部与所述卡爪安装件铰接设置,且所述卡接部位于所述转轴的外侧,所述卡爪的所述连接部和所述卡接部之间的部位经弹性体与所述转轴或所述卡爪安装件的中部相连;所述锁止结构上设有与所述卡爪对位设置的卡槽,当所述转轴的转速大于设定速度时,所述卡接部与所述卡槽相卡接,以锁止所述升降台。
优选地,使所述卡爪安装件固设于所述转轴的一端,所述弹性体的一端经柔性体与所述卡爪安装件的中部相连接;所述锁止单元还包括位于所述转轴一侧的调节结构,所述调节结构与所述卡爪安装件正对设置,所述调节结构设有与所述柔性体对位适配的拨杆;转动所述调节结构时,所述拨杆拨动所述柔性体,以调节所述弹性体的拉伸长度。
优选地,使所述锁止单元还包括第一端盖和第二端盖,所述第一端盖与所述锁止结构的一端相扣合固连并形成第一容腔,所述锁止卡接结构位于所述第一容腔内;所述第二端盖与所述锁止结构的另一端相扣合固连并形成第二容腔,所述转轴的一端由所述第一容腔穿入至所述第二容腔,所述牵引体部分位于所述第二容腔内且与所述转轴缠绕连接。
优选地,使所述升降台上设有长晶炉的下盖体,所述下盖体上设有坩埚安装位;所述下盖体与长晶炉主体可盖合设置,以将坩埚托举至长晶炉的晶体生长腔内。
优选地,使所述长晶炉升降系统还包括控制单元和拉力监测单元,所述升降执行装置受所述控制单元控制;所述拉力监测单元与所述控制单元信号连接,所述牵引体经所述拉力监测单元与所述升降台相连;当所述拉力监测单元所检测到的拉力大于设定值时,所述控制单元依据所述拉力监测单元所监测的信息,停止所述升降台的升降动作,以将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。
优选地,使所述长晶炉用升降系统还包括预警单元,所述预警单元与所述控制单元信号连接设置,当所述拉力监测单元所检测到的拉力大于设定值时,所述预警单元发出预警信号。
通过本申请提出的一种长晶炉用升降系统能够带来如下有益效果:
1.本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括锁止单元,并在所述升降台的运动速率大于设定值时,所述锁止单元可将所述升降台锁止于所述升降执行装置上,避免由于升降执行装置发生故障致使升降台快速坠落引发安全事故。
2.本申请通过使所述锁止单元设为离心式锁止单元,并进一步使所述离心式锁止单元包括锁止卡接结构和设有卡槽的锁止结构,当所述升降台下降速度达到设定值时,在离心作用下,所述锁止卡接结构与所述锁止结构锁止卡接,以使所述升降台被快速锁止。
3.本申请通过使所述锁止单元包括具有拨杆的调节结构,并进一步使其所包括的弹性体的一端经柔性体与卡爪安装件固连,所述调节结构可通过拨动所述柔性体来调节所述弹性体的拉伸长度,进而使所述锁止单元具有锁止状态可调节的功能,进一步可通过调整所述锁止单元,根据实际需要,设定所述锁止单元的锁止状态,使其具有更好的普适性。
4.本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括信号连接的拉力监测单元和控制单元,当所述拉力检测单元的拉力大于设定的值时,所述控制单元能依据所述拉力检测单元所提供的监测信息,停止所述升降台的升降动作,具体可通过切断所述升降执行装置的驱动单元的输出动力实现,进而避免故障出现后所述升降执行装置继续动力输出引发更大的故障或事故。
5.本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括预警单元,并使所述预警单元与所述控制单元信号连接,当所述拉力检测单元的拉力大于设定的值时,所述预警单元发出预警信号,以提示工作人员对长晶炉实施排障工作。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
图1为本申请实施例所提供的长晶炉用升降系统的结构视图一;
图2为本申请实施例所提供的长晶炉用升降系统的结构视图二;
图3为本申请实施例所提供的长晶炉用升降系统的侧视图;
图4为本申请实施例所提供的长晶炉用升降系统的仰视图;
图5为本申请实施例所提供的长晶炉用升降系统所包括的锁止单元的结构视图;
图6为图5所示锁止单元的爆炸视图;
图7为本申请实施例所提供的锁止单元所包括的转轴、锁止卡接结构等所形成组件的爆炸视图;
图8为本申请实施例所提供的锁止单元所包括的第二端盖、转轴、锁止卡接结构等所形成组件的爆炸视图。
其中,1升降执行装置,11安装基体,12驱动单元,
2升降台,
3锁止单元,31牵引体,32转轴,33锁止结构,331卡槽,34锁止卡接结构,341卡爪,342卡爪安装件,343弹性体,344柔性体,35调节结构,351 拨杆,36第一端盖,37第二端盖,
4下盖体,
5拉力监测单元。
具体实施方式
为了更清楚的阐释本申请的整体构思,下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,还可以是通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中,参考术语“一个方案”、“一些方案”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该方案或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个方案或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的方案或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个方案或示例中以合适的方式结合。
本申请中,某个数值以上包括本数,例如两个以上包括两个。
为便于描述,下文中的“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”为长晶炉使用时,相对使用者的方位。
如图1至8所示的长晶炉用升降系统,所述升降系统包括升降执行装置1 和升降台2,所述升降台2与所述升降执行装置1传动设置,所述升降台2受所述升降执行装置1驱动,在所述升降执行装置1的驱动下使所述升降台2按设定路径执行升降动作;所述升降系统还包括锁止单元3,当所述升降台2的运动速率大于设定的速度时,所述锁止单元3将所述升降台2锁止于所述升降执行装置1上。在具体实施时,进一步优选地使所述升降台2上设有长晶炉的下盖体4,所述下盖体4上设有坩埚安装位;所述下盖体4与长晶炉主体可盖合设置,以将坩埚托举至长晶炉的晶体生长腔内;进一步优选地使所述晶体生长腔由双层石英管与上盖体(图中未示)和所述下盖体4围成。需要说明的是,所述升降台2的运动速率涵盖所述升降台2处于上升状态时的速率和处于下降状态时的速率;在具体实施时,更侧重于限定所述升降台2的下降时的速率,以避免所述升降执行装置1出现故障导致升降台2发生坠落而引起的事故;另外,所述锁止单元3也不做具体的限定,其可以是任何能够根据需要及时将所述升降台2锁止于所述升降执行装置1上的锁止单元。本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括锁止单元3,并在所述升降台2的运动速率大于设定值时,所述锁止单元3可将所述升降台2锁止于所述升降执行装置1上,避免由于升降执行装置1发生故障致使升降台2快速坠落引发安全事故。
作为本申请的优选实施方式,如图1至图4所示,可进一步选择性地使所述升降执行装置1包括安装基体11和传动组件,所述升降台2经所述传动组件与所述安装基体11相连接,且所述升降台2位于所述升降执行装置1的一侧;所述锁止单元3固设于所述安装基体11上,所述锁止单元3包括牵引体 31,所述牵引体31的一端与所述升降台2相连接,当所述升降台2的下降速度大于设定的速度时,所述牵引体31拉紧所述升降台2并将其锁止于所述升降执行装置1上。在具体实施时,进一步优选地使所述安装基体11设为支撑架或支撑柱,并进一步使所述传动组件按照能使所述升降台2进行升降的设置形式进行布置。在具体实施时,可进一步选择性地使所述升降执行装置1包括驱动单元12、丝杠和与所述丝杠适配的滑块,所述丝杠竖向固设于所述安装基体上,所述滑块与所述升降台2固连设置,所述驱动单元12与所述丝杠传动设置。需要说明的是,所述牵引体31不做具体的限定,其可以是任何能够实现对升降台2进行牵引的牵引体31,例如可选择性地使所述牵引体31设为可缠绕的牵引带(如图1所示)或设为可缠绕的牵引绳。
作为优选,可进一步选择性地使所述驱动单元12包括驱动电机和减速单元,所述驱动电机经过减速单元对所述丝杠输出动力;在具体实施时,所述减速单元可选择性地设为包括齿轮传动的减速单元、设为包括带轮和皮带传动的减速单元(如图4所示)或者设为包括链轮和链条传动的减速单元;具体可根据实际布置情况进行选择性设置。除此之外,作为优选,可进一步选择性地使所述安装基体11一侧设为升降台2的安装侧,在该侧竖向设置一个或两个所述丝杠,所述丝杠上设置一个与所述丝杠相适配的滑块,所述升降台2与两个所述滑块固连设置,当所述丝杠受所述驱动单元12驱动时,所述升降台2随所述丝杠的转动进行升降运动。除此之外,本申请所述包括丝杠、滑块的传动组件还可由包括传动带或传动链的传动组件替代。
作为本申请的优选实施方式,本申请前述所有含有所述牵引体31的实施方式、实施例、可变换的实施方式及可变换的实施例在具体实施时,均可进一步选择性地使所述锁止单元3设为离心式锁止单元,所述锁止单元3包括转轴 32、锁止结构33和锁止卡接结构34,所述锁止卡接结构34与所述转轴32连接设置,所述锁止结构33套设于所述转轴32的外侧且与所述锁止卡接结构34 对位适配,所述牵引体31与所述转轴32可缠绕连接设置;在具体工作中,当所述转轴32的转速大于设定速度时,在离心的作用下,所述锁止卡接结构34的卡接部朝远离转轴32的方向移动,当所述转轴32达到一定转速时,所述卡接部与所述锁止结构33相卡接。本申请通过使所述锁止单元3设为离心式锁止单元,并进一步使所述离心式锁止单元包括锁止卡接结构和设有卡槽的锁止结构,当所述升降台下降速度达到设定值时,在离心作用下,所述锁止卡接结构与所述锁止结构锁止卡接,以使所述升降台被快速锁止。
作为前述优选实施形式下的优选实施例,在具体实施时,所有含有所述锁止卡接结构34的实施方式、实施例、可变换的实施方式及可变换的实施例均可进一步选择性地使所述锁止卡接结构34包括卡爪341和卡爪安装件342,所述卡爪安装件342固设于所述转轴32上,所述卡爪341包括连接部和卡接部,所述卡爪341经所述连接部与所述卡爪安装件342铰接设置,且所述卡接部位于所述转轴32的外侧,以使所述卡爪341的自由端在离心的作用下绕所述铰接处向外侧转动,进一步使所述卡爪341的所述连接部和所述卡接部之间的部位经弹性体343与所述卡爪安装件342的中部相连;所述锁止结构33上设有与所述卡爪341对位设置的卡槽331,当所述转轴32的转速大于设定速度时,所述卡接部与所述卡槽331相卡接,以锁止所述升降台2。作为可变换的实施例,本申请还可选择性地使所述卡爪的所述连接部和所述卡接部之间的部位经弹性体343与所述转轴32相连。在具体实施时,进一步优选地使所述弹性体设为弹簧。
作为前述优选实施形式的优选示例,如图7和图8所示,在具体实施例,本申请还可进一步选择性地使所述卡爪安装件342固设于所述转轴32的一端,所述弹性体343的一端经柔性体344与所述卡爪安装件342的中部相连接;所述锁止单元3还包括位于所述转轴32一侧的调节结构35,所述调节结构35 与所述卡爪安装件342正对设置,所述调节结构35设有与所述柔性体344对位适配的拨杆351;转动所述调节结构35时,所述拨杆351拨动所述柔性体 344,以调节所述弹性体343的拉伸长度。在具体实施时,所述柔性体344可进一步优选地设为柔性绳,具体例如设为柔性的金属绳。本申请通过使所述锁止单元包括具有拨杆的调节结构,并进一步使其所包括的弹性体的一端经柔性体与卡爪安装件固连,所述调节结构可通过拨动所述柔性体来调节所述弹性体的拉伸长度,进而使所述锁止单元具有锁止状态可调节的功能,进一步可通过调整所述锁止单元,根据实际需要,设定所述锁止单元的锁止状态。
作为本申请的优选,如图5和图6所示,本申请还可进一步选择性地使所述锁止单元3还包括第一端盖36和第二端盖37,所述第一端盖36与所述锁止结构33的一端相扣合固连并形成第一容腔,所述锁止卡接结构34位于所述第一容腔内;所述第二端盖37与所述锁止结构33的另一端相扣合固连并形成第二容腔,所述转轴32的一端由所述第一容腔穿入至所述第二容腔,所述牵引体31部分位于所述第二容腔内且与所述转轴32缠绕连接。在具体实施时,在所述第二端盖37上设置让位缺口,以使所述牵引体31由所述第二容腔伸出。
作为本申请的优选实施形式,在具体实施时,本申请前述所有实施方式、实施例、示例、可变换的实施方式、可变换的实施例及可变换的示例均可进一步选择性地使还可进一步选择性地使所述长晶炉升降系统还包括控制单元和拉力监测单元5,所述升降执行装置1受所述控制单元控制;所述拉力监测单元5与所述控制单元信号连接,所述牵引体31经所述拉力监测单元5与所述升降台2相连;在具体工作中,当所述拉力监测单元5所检测到的拉力大于设定值时,所述控制单元依据所述拉力监测单元5所监测的信息,停止所述升降台2的升降动作,以将所述升降台2锁止于所述升降执行装置1上。本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括信号连接的拉力监测单元和控制单元,当所述拉力检测单元的拉力大于设定的值时,所述控制单元能依据所述拉力检测单元所提供的监测信息,停止所述升降台的升降动作,具体可通过切断所述升降执行装置的驱动单元的输出动力实现,进而避免故障出现后,所述升降执行装置继续动力输出引发更大的故障或事故。
在具体实施时,本申请还可进一步选择性地使所述长晶炉用升降系统还包括预警单元,所述预警单元与所述控制单元信号连接设置,当所述拉力监测单元5所检测到的拉力大于设定值时,所述预警单元发出预警信号。本申请通过使所述长晶炉用升降系统包括预警单元,并使所述预警单元与所述控制单元信号连接,当所述拉力检测单元的拉力大于设定的值时,所述预警单元发出预警信号,以提示工作人员对长晶炉实施排障工作。
需要说明的是,本申请在具体实施时,还可根据实际的需要,在必要的位置设置必要的部件,例如为了可以控制冷却介质的流动方向,避免回流等问题,可根据实际需要,在相关的流道上设置单向阀。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述,各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其,对于系统实施例而言,由于其基本相似于方法实施例,所以描述的比较简单,相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述升降系统包括升降执行装置和升降台,所述升降台与所述升降执行装置传动设置,所述升降台受所述升降执行装置驱动,在所述升降执行装置的驱动下使所述升降台按设定路径执行升降动作;
所述升降系统还包括锁止单元,当所述升降台的运动速率大于设定的速度时,所述锁止单元将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。
2.根据权利要求1所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述升降执行装置包括安装基体和传动组件,所述升降台经所述传动组件与所述安装基体相连接,且所述升降台位于所述升降执行装置的一侧;
所述锁止单元固设于所述安装基体上,所述锁止单元包括牵引体,所述牵引体的一端与所述升降台相连接,当所述升降台的下降速度大于设定的速度时,所述牵引体拉紧所述升降台并将其锁止于所述升降执行装置上。
3.根据权利要求2所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述升降执行装置包括驱动单元、丝杠和与所述丝杠适配的滑块,所述丝杠竖向固设于所述安装基体上,所述滑块与所述升降台固连设置,所述驱动单元与所述丝杠传动设置;或者,
所述升降执行装置包括驱动单元和传动带,所述驱动单元经所述传动带与所述升降台传动设置,以牵引所述升降台升降;或者,
所述升降执行装置包括驱动单元和传动链,所述驱动单元经所述传动链与所述升降台传动设置,以牵引所述升降台升降。
4.根据权利要求2所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述锁止单元设为离心式锁止单元,所述锁止单元包括转轴、锁止结构和锁止卡接结构,所述锁止卡接结构与所述转轴连接设置,所述锁止结构套设于所述转轴的外侧且与所述锁止卡接结构对位适配,所述牵引体与所述转轴可缠绕连接设置;
当所述转轴的转速大于设定速度时,所述锁止卡接结构的卡接部朝远离转轴的方向移动并与所述锁止结构相卡接。
5.根据权利要求4所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述锁止卡接结构包括卡爪和卡爪安装件,所述卡爪安装件固设于所述转轴上,所述卡爪包括连接部和卡接部,所述卡爪经所述连接部与所述卡爪安装件铰接设置,且所述卡接部位于所述转轴的外侧,所述卡爪的所述连接部和所述卡接部之间的部位经弹性体与所述转轴或所述卡爪安装件的中部相连;
所述锁止结构上设有与所述卡爪对位设置的卡槽,当所述转轴的转速大于设定速度时,所述卡接部与所述卡槽相卡接,以锁止所述升降台。
6.根据权利要求5所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述卡爪安装件固设于所述转轴的一端,所述弹性体的一端经柔性体与所述卡爪安装件的中部相连接;
所述锁止单元还包括位于所述转轴一侧的调节结构,所述调节结构与所述卡爪安装件正对设置,所述调节结构设有与所述柔性体对位适配的拨杆;转动所述调节结构时,所述拨杆拨动所述柔性体,以调节所述弹性体的拉伸长度。
7.根据权利要求6所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述锁止单元还包括第一端盖和第二端盖,所述第一端盖与所述锁止结构的一端相扣合固连并形成第一容腔,所述锁止卡接结构位于所述第一容腔内;
所述第二端盖与所述锁止结构的另一端相扣合固连并形成第二容腔,所述转轴的一端由所述第一容腔穿入至所述第二容腔,所述牵引体部分位于所述第二容腔内且与所述转轴缠绕连接。
8.根据权利要求1至7中任一项所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述升降台上设有长晶炉的下盖体,所述下盖体上设有坩埚安装位;所述下盖体与长晶炉主体可盖合设置,以将坩埚托举至长晶炉的晶体生长腔内。
9.根据权利要求2至7中任一项所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述长晶炉升降系统还包括控制单元和拉力监测单元,所述升降执行装置受所述控制单元控制;
所述拉力监测单元与所述控制单元信号连接,所述牵引体经所述拉力监测单元与所述升降台相连;
当所述拉力监测单元所检测到的拉力大于设定值时,所述控制单元依据所述拉力监测单元所监测的信息,停止所述升降台的升降动作,以将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。
10.根据权利要求9所述长晶炉用升降系统,其特征在于,
所述长晶炉用升降系统还包括预警单元,所述预警单元与所述控制单元信号连接设置,当所述拉力监测单元所检测到的拉力大于设定值时,所述预警单元发出预警信号。
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