CN215569735U - 一种用于气体输送的钢瓶架 - Google Patents
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Abstract
一种用于气体输送的钢瓶架,包括:架子、气体供应单元和钢瓶,气体供应单元与架子连接,钢瓶与气体供应单元和架子连接。其中,气体供应单元包括:入口阀、调压阀、低压端过滤器、高压气体排放阀、低压出口隔离阀、压力表和垫片式过滤器。本实用新型与传统技术相比,通过设计增设气体供应的钢瓶架,采用普通手动操作系统,方便惰性气体输送,节约成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体输送技术领域,具体涉及一种用于气体输送的钢瓶架。
背景技术
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出:“2006年底,中国国内有近50家晶圆制造厂,112家IC封装和IC装配厂,450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币,大约为100亿美元,其中封测350亿元,晶圆制造242亿元,IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前 20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展,是未来新能源产业的主力军。
而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多气体,其中一种为惰性气体(如N2),其中的输送没有太多的危害,需要采用普通的手动操作系统,来节约成本。
为了解决上述问题,我们做出了一系列改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供一种用于气体输送的钢瓶架,以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
一种用于气体输送的钢瓶架,包括:架子、气体供应单元和钢瓶,所述气体供应单元与架子连接,所述钢瓶与气体供应单元和架子连接;
其中,所述气体供应单元包括:入口阀、调压阀、低压端过滤器、高压气体排放阀、低压出口隔离阀、压力表和垫片式过滤器,所述入口阀通过Pigtail管路与钢瓶连接,所述入口阀与压力表连接,所述入口阀通过管路与调压阀连接,所述调压阀后端与低压端过滤器连接,所述调压阀和低压端过滤器中间设置有压力表,所述低压端过滤器后端与低压出口隔离阀连接,所述高压气体排放阀前端通过Pigtail管路与钢瓶连接,所述高压气体排放阀与压力表连接,所述高压气体排放阀后端与外部管路连接,所述低压出口隔离阀后端与外部管路连接,所述垫片式过滤器与入口阀前端连接。
进一步,所述钢瓶的数量为2~5个。
本实用新型的有益效果:
本实用新型与传统技术相比,通过设计增设气体供应的钢瓶架,采用普通手动操作系统,方便惰性气体输送,节约成本。
附图说明:
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标记:
架子100、气体供应单元200、入口阀210、调压阀220、低压端过滤器230、高压气体排放阀240、低压出口隔离阀250、压力表260、垫片式过滤器270和钢瓶300。
具体实施方式
以下结合具体实施例,对本实用新型作进步说明。应理解,以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。
实施例1
图1为本实用新型的结构示意图。
如图1所示,一种用于气体输送的钢瓶架,包括:架子100、气体供应单元200和钢瓶300,气体供应单元200与架子100连接,钢瓶300与气体供应单元200和架子100连接;
其中,气体供应单元200包括:入口阀210、调压阀220、低压端过滤器230、高压气体排放阀240、低压出口隔离阀250、压力表260和垫片式过滤器270,入口阀210通过Pigtail管路与钢瓶300连接,入口阀210与压力表260连接,入口阀210通过管路与调压阀220连接,调压阀220后端与低压端过滤器230连接,调压阀220和低压端过滤器230中间设置有压力表260,低压端过滤器230后端与低压出口隔离阀250连接,高压气体排放阀240前端通过Pigtail管路与钢瓶300连接,高压气体排放阀240 与压力表260连接,高压气体排放阀240后端与外部管路连接,低压出口隔离阀250后端与外部管路连接,垫片式过滤器270与入口阀210前端连接。
钢瓶300的数量为2~5个。
本实用新型的工作原理是,设计惰性气体的气体供应单元200,气体供应单元200通过设计复数种类的控制阀,并加装相对应的架子100,放置2~5个钢瓶300,用于切换,保证不间断供应。现有的惰性气体输送设备采用的智能化的自动操作系统,管路设计复杂,增加了生产成本。本实用新型通过设计增设气体供应的钢瓶架,采用普通手动操作系统,方便惰性气体输送,节约成本。
以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明,但本实用新型并不以此为限,只要不脱离本实用新型的宗旨,本实用新型还可以有各种变化。
Claims (2)
1.一种用于气体输送的钢瓶架,其特征在于,包括:架子(100)、气体供应单元(200)和钢瓶(300),所述气体供应单元(200)与架子(100)连接,所述钢瓶(300)与气体供应单元(200)和架子(100)连接;
其中,所述气体供应单元(200)包括:入口阀(210)、调压阀(220)、低压端过滤器(230)、高压气体排放阀(240)、低压出口隔离阀(250)、压力表(260)和垫片式过滤器(270),所述入口阀(210)通过Pigtail管路与钢瓶(300)连接,所述入口阀(210)与压力表(260)连接,所述入口阀(210)通过管路与调压阀(220)连接,所述调压阀(220)后端与低压端过滤器(230)连接,所述调压阀(220)和低压端过滤器(230)中间设置有压力表(260),所述低压端过滤器(230)后端与低压出口隔离阀(250)连接,所述高压气体排放阀(240)前端通过Pigtail管路与钢瓶(300)连接,所述高压气体排放阀(240)与压力表(260)连接,所述高压气体排放阀(240)后端与外部管路连接,所述低压出口隔离阀(250)后端与外部管路连接,所述垫片式过滤器(270)与入口阀(210)前端连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于气体输送的钢瓶架,其特征在于:所述钢瓶(300)的数量为2~5个。
Priority Applications (1)
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CN202120561845.3U CN215569735U (zh) | 2021-03-18 | 2021-03-18 | 一种用于气体输送的钢瓶架 |
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CN215569735U true CN215569735U (zh) | 2022-01-18 |
Family
ID=79854350
Family Applications (1)
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CN202120561845.3U Active CN215569735U (zh) | 2021-03-18 | 2021-03-18 | 一种用于气体输送的钢瓶架 |
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