CN215527743U - 一种用于perc电池的刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于PERC电池的刻蚀设备，包括箱体，箱体的内部设置有刻蚀液槽、第一传动辊组、顶出机构和涂液机构，刻蚀液槽设置于箱体内的底部，第一传动辊组的底端位于刻蚀液槽的液面以下，顶出机构包括第一升降板、设置于第一升降板顶端中部的第一转动电机和顶出板，第一转动电机的顶端通过第一转轴连接顶出板，涂液机构设置于第一传动辊组的左侧，包括第二升降板、移动板、安装板和涂液刷。本实用新型对电池片的背面和边缘均可进行刻蚀，且可实现电池片的自动上料和下料过程。

Description

一种用于PERC电池的刻蚀设备

技术领域

本实用新型属于PERC电池加工技术领域，具体涉及一种用于PERC电池的刻蚀设备。

背景技术

PERC技术即钝化发射极背面接触，通过在太阳能电池背面形成钝化层，提升转换效率，PERC电池具有工艺简单，成本较低，且与现有电池生产线兼容性高的优点，有望成为未来高效太阳能电池的主流方向。电池扩散工序过后的下一个工序是刻蚀，由于扩散采用背靠背扩散，硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷，太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，太阳能电池片会因此失效，所以需要进行刻蚀处理。刻蚀槽中HNO₃和HF的混合液体会对扩散后硅片的下表面及边缘进行腐蚀，以去除边缘的N型硅，从而打破硅片表面短路通路。现有的刻蚀装置只能对电池片的背面进行均匀刻蚀，对其边缘的刻蚀效果并不理想，鉴于此，有必要对传统的PERC电池刻蚀设备做出改进。

发明内容

为解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种对电池片的背面和边缘均可进行刻蚀，且可实现电池片的自动上料和下料过程的用于PERC电池的刻蚀设备。

为了实现上述目标，本实用新型采用如下的技术方案：

一种用于PERC电池的刻蚀设备，包括箱体，箱体的内部设置有刻蚀液槽、第一传动辊组、顶出机构和涂液机构，刻蚀液槽设置于箱体内的底部，第一传动辊组的底端位于刻蚀液槽的液面以下，顶出机构包括第一升降板、设置于第一升降板顶端中部的第一转动电机和顶出板，第一转动电机的顶端通过第一转轴连接顶出板，通过第一转动电机的驱动以实现顶出板的转动，第一升降板的底部两侧均通过第一伸缩机构分别连接于刻蚀液槽的前壁和后壁上，涂液机构设置于第一传动辊组的左侧，包括第二升降板、移动板、安装板和涂液刷，涂液刷的顶端通过第二转轴连接第二转动电机，第二转动电机固定于安装板的底部。

优选地，前述安装板的左侧通过第二伸缩杆连接第二驱动气缸，第二驱动气缸的左端固定于移动板上，通过第二驱动气缸的驱动以实现涂液刷的左右移动，便于对电池片的边缘进行刷液，以便完成边缘刻蚀。

再优选地，前述移动板的左侧安装有导块，第二升降板的右侧壁上安装有滑轨，导块滑动连接于滑轨中，且导块连接有滑动电机，通过滑动电机的驱动以实现移动板的前后移动，涂液刷在自转的同时可前后移动，便于更加均匀的将刻蚀液涂至电池片的边缘，以提高电池片的刻蚀质量。

更优选地，前述第二升降板底部的两侧均通过第三伸缩机构分别连接于刻蚀液槽的前壁和后壁上，第三伸缩机构和第一伸缩机构均包括两组第一伸缩杆和连接于第一伸缩杆的第一驱动气缸，两个第一驱动气缸分别设置于刻蚀液槽前壁和后壁的中部，以便实现顶出机构和涂液机构的上下移动。

进一步优选地，前述箱体的左侧上部和右侧中部分别设置有出料口和进料口。

具体地，前述出料口和进料口的外侧分别设置有第二传动辊组和第三传动辊组，第三传动辊组的高度与第一传动辊组的高度相同，便于电池片的传送。

优选地，前述箱体内侧设置有第四传动辊组和移动传动辊，移动传动辊的两端连接有连接杆，连接杆的顶端滑动连接于箱体的底壁上，第四传动辊组和移动辊的高度与第二传动辊组的高度相同，通过移动传动辊的左右移动可以将顶出板上的电池片传送至第四传动辊组上，以便于实现电池片的自动下料。

再优选地，前述第一传动辊组、第二传动辊组、第三传动辊组和第四传动辊组均包括多个传动辊，传动辊和移动传动辊的中部沿其圆周方向均设置有定位槽，避免电池片在移动过程中发生偏移。

更优选地，前述顶出机构位于第一传动辊组最左端的相邻两个传动辊之间，便于顶起电池片。

本实用新型的有益之处在于：本实用新型的结构简单、使用方便，通过第二传动辊组和第三传动辊组可实现电池片的自动上料和下料过程，以提高工作效率；电池片在第一传动辊组上传送的同时，第一传动辊组的底端可将刻蚀液槽中的刻蚀液均匀的涂至电池片的背面，以便于对电池片背面进行刻蚀；顶出机构可将电池片的背面顶起，然后通过涂液刷的自转和前后移动，可更加均匀的将刻蚀液涂至电池片的边缘，以提高电池片的刻蚀质量，顶出机构可带动电池片转动，便于将电池片的4个边缘均进行刻蚀处理；涂液机构的涂液刷在完成一次涂液后下降至刻蚀液槽的液面以下，以蘸取适量的刻蚀液准确下一次的涂液；完成刻蚀后，顶出机构带动电池片向上升至适当位置，通过移动传动辊的左右移动可以将顶出板上的电池片传送至第四传动辊组上，以便于实现电池片的自动下料。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中顶出机构的结构示意图；

图3是本实用新型中涂液机构的结构示意图；

图4是本实用新型中传动辊的结构示意图。

图中附图标记的含义：1、箱体，1.1、出料口，1.2、进料口，2、刻蚀液槽，3、第一传动辊组，4、第一升降板，5、第一转动电机，6、顶出板，7、第一转轴，8、第二升降板，9、移动板，10、安装板，11、涂液刷，12、第二转轴，13、第二转动电机，14、第二伸缩杆，15、第二驱动气缸，16、导块，17、第一伸缩杆，18、第一驱动气缸，19、第二传动辊组，20、第三传动辊组，21、第四传动辊组，22、移动传动辊，23、连接杆，24、定位槽，25、电池片。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作具体的介绍。

参见图1，本实用新型的一种用于PERC电池的刻蚀设备，包括箱体1，箱体1的内部设置有刻蚀液槽2、第一传动辊组3、顶出机构和涂液机构，刻蚀液槽2设置于箱体1内的底部，第一传动辊组3的底端位于刻蚀液槽2的液面以下。

参见图2，顶出机构包括第一升降板4、设置于第一升降板4顶端中部的第一转动电机5和顶出板6，第一转动电机5的顶端通过第一转轴7连接顶出板6，通过第一转动电机5的驱动以实现顶出板6的转动，第一升降板4的底部两侧均通过第一伸缩机构分别连接于刻蚀液槽2的前壁和后壁上。

参见图3，涂液机构设置于第一传动辊组3的左侧，包括第二升降板8、移动板9、安装板10和涂液刷11，涂液刷11的顶端通过第二转轴12连接第二转动电机13，第二转动电机13固定于安装板10的底部。安装板10的左侧通过第二伸缩杆14连接第二驱动气缸15，第二驱动气缸15的左端固定于移动板9上，通过第二驱动气缸15的驱动以实现涂液刷11的左右移动，便于对电池片25的边缘进行刷液，以便完成边缘刻蚀。移动板9的左侧安装有导块16，第二升降板8的右侧壁上安装有滑轨，导块16滑动连接于滑轨中，且导块16连接有滑动电机，通过滑动电机的驱动以实现移动板9的前后移动，涂液刷11在自转的同时可前后移动，便于更加均匀的将刻蚀液涂至电池片25的边缘，以提高电池片25的刻蚀质量。

第二升降板8底部的两侧均通过第三伸缩机构分别连接于刻蚀液槽2的前壁和后壁上，第三伸缩机构和第一伸缩机构均包括两组第一伸缩杆17和连接于第一伸缩杆17的第一驱动气缸18，两个第一驱动气缸18分别设置于刻蚀液槽2前壁和后壁的中部，以便实现顶出机构和涂液机构的上下移动。

箱体1的左侧上部和右侧中部分别设置有出料口1.1和进料口1.2，出料口1.1和进料口1.2的外侧分别设置有第二传动辊组19和第三传动辊组20，第三传动辊组20的高度与第一传动辊组3的高度相同，便于电池片25的传送。箱体1内侧设置有第四传动辊组21和移动传动辊22，移动传动辊22的两端连接有连接杆23，连接杆23的顶端滑动连接于箱体1的底壁上，此处的滑动连接可采用滑块和滑轨。第四传动辊组21和移动辊的高度与第二传动辊组19的高度相同，通过移动传动辊22的左右移动可以将顶出板6上的电池片25传送至第四传动辊组21上，以便于实现电池片25的自动下料。

第一传动辊组3、第二传动辊组19、第三传动辊组20和第四传动辊组21均包括多个传动辊，参见图4，传动辊和移动传动辊22的中部沿其圆周方向均设置有定位槽24，避免电池片25在移动过程中发生偏移。顶出机构位于第一传动辊组3最左端的相邻两个传动辊之间，便于顶起电池片25。

为了更好地阐述本实用新型，下面具体说明工作过程：

将电池片25放置第三传动辊组20上，第三传动辊组20将电池片25经进料口1.2送至第一传送辊组上，电池片25在第一传动辊组3上传送的同时，第一传动辊组3的底端可将刻蚀液槽2中的刻蚀液均匀的涂至电池片25的背面，进行背面刻蚀工作；电池片25传送至顶出机构上方时，顶出板6向上升起直至将电池片25顶起一定高度，涂液机构调整涂液刷11的高度和位置，通过涂液刷11的自转和前后移动，将刻蚀液涂至电池片25的边缘，通过顶出机构的第一转动电机5带动电池片25转动，以将电池片25的4个边缘均完成涂液，进行边缘刻蚀工作；刻蚀工作完成后，涂液刷11下降至刻蚀液槽2的液面之前进行蘸液，等待下一个电池片25的涂液，同时，顶出板6带动电池片25继续向上升至适当位置，通过移动传动辊22的左右移动将顶出板6上的电池片25传送至第四传动辊组21上，以完成电池片25的自动下料，即可开始下一个电池片25的刻蚀。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施例不以任何形式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于PERC电池的刻蚀设备，包括箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）的内部设置有刻蚀液槽（2）、第一传动辊组（3）、顶出机构和涂液机构，所述刻蚀液槽（2）设置于箱体（1）内的底部，所述第一传动辊组（3）的底端位于刻蚀液槽（2）的液面以下，所述顶出机构包括第一升降板（4）、设置于第一升降板（4）顶端中部的第一转动电机（5）和顶出板（6），所述第一转动电机（5）的顶端通过第一转轴（7）连接顶出板（6），通过第一转动电机（5）的驱动以实现顶出板（6）的转动，所述第一升降板（4）的底部两侧均通过第一伸缩机构分别连接于刻蚀液槽（2）的前壁和后壁上，所述涂液机构设置于第一传动辊组（3）的左侧，包括第二升降板（8）、移动板（9）、安装板（10）和涂液刷（11），所述涂液刷（11）的顶端通过第二转轴（12）连接第二转动电机（13），所述第二转动电机（13）固定于安装板（10）的底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述安装板（10）的左侧通过第二伸缩杆（14）连接第二驱动气缸（15），所述第二驱动气缸（15）的左端固定于移动板（9）上，通过第二驱动气缸（15）的驱动以实现涂液刷（11）的左右移动。

3.根据权利要求2所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述移动板（9）的左侧安装有导块（16），所述第二升降板（8）的右侧壁上安装有滑轨，所述导块（16）滑动连接于滑轨中，且导块（16）连接有滑动电机，通过所述滑动电机的驱动以实现移动板（9）的前后移动。

4.根据权利要求3所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述第二升降板（8）底部的两侧均通过第三伸缩机构分别连接于刻蚀液槽（2）的前壁和后壁上，所述第三伸缩机构和第一伸缩机构均包括两组第一伸缩杆（17）和连接于第一伸缩杆（17）的第一驱动气缸（18），两个所述第一驱动气缸（18）分别设置于刻蚀液槽（2）前壁和后壁的中部。

5.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述箱体（1）的左侧上部和右侧中部分别设置有出料口（1.1）和进料口（1.2）。

6.根据权利要求5所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述出料口（1.1）和进料口（1.2）的外侧分别设置有第二传动辊组（19）和第三传动辊组（20），所述第三传动辊组（20）的高度与第一传动辊组（3）的高度相同。

7.根据权利要求6所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述箱体（1）内侧设置有第四传动辊组（21）和移动传动辊（22），所述移动传动辊（22）的两端连接有连接杆（23），所述连接杆（23）的顶端滑动连接于箱体（1）的底壁上，所述第四传动辊组（21）和移动辊的高度与第二传动辊组（19）的高度相同。

8.根据权利要求7所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述第一传动辊组（3）、第二传动辊组（19）、第三传动辊组（20）和第四传动辊组（21）均包括多个传动辊，所述传动辊和移动传动辊（22）的中部沿其圆周方向均设置有定位槽（24）。

9.根据权利要求8所述的一种用于PERC电池的刻蚀设备，其特征在于，所述顶出机构位于第一传动辊组（3）最左端的相邻两个传动辊之间。

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