CN215517616U - 新型真空镀膜公自转回转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了新型真空镀膜公自转回转机构，涉及真空镀膜机技术领域，为解决采用一个动力输出，在带动回转支承进行转动时，容易导致回转支承另一端受力不平衡，在转动时容易导致回转支承偏斜，水平度误差较大，降低真空镀膜精度的问题。所述底座上设置有转动槽，所述转动槽的内部设置有回转盘，所述回转盘的外部设置有外齿轮，且外齿轮与回转盘通过螺钉连接，所述底座的下方设置有电机，电机设置有两个，且两个电机均与底座通过螺钉连接，两个所述电机关于底座中心线对称设置，两个所述电机输出端的上方均设置有转轴，且转轴与底座转动连接，所述外齿轮的两侧均设置有齿轮，所述齿轮与转轴连接为一体结构，所述回转盘的上方设置有加工台。

Description

新型真空镀膜公自转回转机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为新型真空镀膜公自转回转机构。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，属于物理气相沉积工艺,真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上,真空镀膜需要借助回转机构辅助，回转机构是机械设备的回转部分绕其回转中心线，实现回转运动的机构。

目前，回转机构所使用的驱动装置只采用一个动力输出，在带动回转支承进行转动时，容易导致回转支承另一端受力不平衡，在转动时容易导致回转支承偏斜，水平度误差较大，降低真空镀膜精度，不能满足使用需求。因此市场上急需新型真空镀膜公自转回转机构来解决这些问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供新型真空镀膜公自转回转机构，以解决上述背景技术中提出采用一个动力输出，在带动回转支承进行转动时，容易导致回转支承另一端受力不平衡，在转动时容易导致回转支承偏斜，水平度误差较大，降低真空镀膜精度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：新型真空镀膜公自转回转机构，包括底座，所述底座上设置有转动槽，所述转动槽的内部设置有回转盘，所述回转盘的外部设置有外齿轮，且外齿轮与回转盘通过螺钉连接，所述底座的下方设置有电机，电机设置有两个，且两个电机均与底座通过螺钉连接，两个所述电机关于底座中心线对称设置，两个所述电机输出端的上方均设置有转轴，且转轴与底座转动连接，所述外齿轮的两侧均设置有齿轮，且齿轮设置在转轴的外部，所述齿轮与转轴连接为一体结构，且齿轮与外齿轮啮合连接，所述回转盘的上方设置有加工台，且加工台与回转盘通过螺钉连接。

优选的，所述底座的下方设置有减振支撑腿，且减振支撑腿与底座通过螺钉连接，所述回转盘的下端设置有滑槽，所述回转盘的下方设置有支撑座，且支撑座的一端延伸至滑槽的内部，所述支撑座与底座通过螺钉连接，且支撑座与回转盘滑动连接。

优选的，所述加工台上设置有润油孔，润油孔设置有四个，且四个润油孔在加工台上依次设置，所述润油孔的下端延伸至转动槽的内部，所述润油孔的内部设置有填充块，且填充块与润油孔的内壁贴合连接。

优选的，所述底座与加工台之间设置有滚珠，滚珠设置有四个，且滚珠与底座转动连接，四个所述滚珠在底座上依次设置，所述加工台的下端设置有滚槽，且滚珠的一端延伸至滚槽的内部，所述滚珠与加工台滑动连接。

优选的，所述加工台的断面上设置有限位槽，所述加工台的外部设置有限位块，限位块设置有四个，且限位块的一端延伸至限位槽的内部，四个所述限位块在加工台的外部依次设置，所述限位块与底座之间设置有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的两端分别与限位块和底座通过螺钉连接。

优选的，所述限位块的内部设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有安装块，且安装块与限位块滑动连接，所述安装块的内部设置有滚轮，且滚轮与安装块转动连接，所述滚轮与加工台的断面相贴合，所述凹槽的内部设置有弹簧，且弹簧的两端分别与限位块和安装块弹性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该实用新型装置通过电机、支撑座和滚珠的设置，两个电机对称设置，在两个电机的共同作用下可以使得回转盘受到的转动力平衡，避免回转盘两端受力不均出现倾斜，支撑座可以对回转盘进行支撑，并在回转盘转动时起到限位的作用，而滚珠可以在加工台转动时同时起到导向限位的从而，从而提高了回转机构转动调节的稳定性。解决了回转机构使用单动力进行实现，容易导致回转盘两端受力不均出现倾斜的问题。

2.该实用新型装置通过润油孔和填充块的设置，通过润油孔可以将润滑油添加到齿轮的啮合出，从而提高了齿轮啮合顺畅度并减少摩擦损耗，而填充块可以将润油孔堵塞，在不使用润油孔时避免灰尘掉落，起到了防护的作用。解决了齿轮啮合处润滑度不足导致摩擦损耗增加，降低使用寿命的问题。

3.该实用新型装置通过限位块和电动伸缩杆的设置，在电动伸缩杆的作用下带动限位块移动，将限位块与加工台紧密贴合时可以对加工台起到夹持作用，提高了加工台静置时的稳定性。解决了加工台静止时受力会出现轻微偏转，使用稳定性不佳的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的图1的A区局部放大图。

图中：1、底座；2、减振支撑腿；3、电机；4、回转盘；5、支撑座；6、滑槽；7、加工台；8、转轴；9、转动槽；10、齿轮；11、外齿轮；12、滚珠；13、电动伸缩杆；14、润油孔；15、填充块；16、限位槽；17、限位块；18、滚槽；19、凹槽；20、安装块；21、滚轮；22、弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：新型真空镀膜公自转回转机构，包括底座1，底座1上设置有转动槽9，转动槽9的内部设置有回转盘4，回转盘4的外部设置有外齿轮11，且外齿轮11与回转盘4通过螺钉连接，底座1的下方设置有电机3，电机3设置有两个，且两个电机3均与底座1通过螺钉连接，两个电机3关于底座1中心线对称设置，两个电机3可以在带动回转盘4转动时使得回转盘4两端受力平衡，确保回转盘4转动水平，两个电机3输出端的上方均设置有转轴8，且转轴8与底座1转动连接，外齿轮11的两侧均设置有齿轮10，且齿轮10设置在转轴8的外部，齿轮10与转轴8连接为一体结构，且齿轮10与外齿轮11啮合连接，回转盘4的上方设置有加工台7，且加工台7与回转盘4通过螺钉连接。

进一步，底座1的下方设置有减振支撑腿2，且减振支撑腿2与底座1通过螺钉连接，回转盘4的下端设置有滑槽6，回转盘4的下方设置有支撑座5，且支撑座5的一端延伸至滑槽6的内部，支撑座5与底座1通过螺钉连接，且支撑座5与回转盘4滑动连接。通过支撑座5可以对回转盘4进行支撑，在回转盘4转动时还能起到限位的作用，提高了回转盘4转动的稳定性。

进一步，加工台7上设置有润油孔14，润油孔14设置有四个，且四个润油孔14在加工台7上依次设置，润油孔14的下端延伸至转动槽9的内部，润油孔14的内部设置有填充块15，且填充块15与润油孔14的内壁贴合连接。通过润油孔14可以将齿轮啮合处添加润滑油，从而提高齿轮转动舒畅度，并大大降低了摩擦损耗，提高了回转效果，而填充块15，可以将润油孔14堵塞，避免灰尘掉落到润油孔14中。

进一步，底座1与加工台7之间设置有滚珠12，滚珠12设置有四个，且滚珠12与底座1转动连接，四个滚珠12在底座1上依次设置，加工台7的下端设置有滚槽18，且滚珠12的一端延伸至滚槽18的内部，滚珠12与加工台7滑动连接。通过滚珠12和滚槽18可以对转动的加工台7起到导向限位的作用，提高了加工台7转动的稳定性。

进一步，加工台7的断面上设置有限位槽16，加工台7的外部设置有限位块17，限位块17设置有四个，且限位块17的一端延伸至限位槽16的内部，四个限位块17在加工台7的外部依次设置，限位块17与底座1之间设置有电动伸缩杆13，且电动伸缩杆13的两端分别与限位块17和底座1通过螺钉连接。通过电动伸缩杆13带动限位块17移动，将限位块17与加工台7紧密贴合，从而对加工台7起到夹持效果，避免加工台7静止时受力偏转，确保加工台7使用精度。

进一步，限位块17的内部设置有凹槽19，凹槽19的内部设置有安装块20，且安装块20与限位块17滑动连接，安装块20的内部设置有滚轮21，且滚轮21与安装块20转动连接，滚轮21与加工台7的断面相贴合，凹槽19的内部设置有弹簧22，且弹簧22的两端分别与限位块17和安装块20弹性连接。通过滚轮21可以可以对转动的加工台7起到限位的作用，在挤压滚轮21时可以促使弹簧22压缩，将滚轮21收纳到凹槽19中，并不影响限位块17对加工台7的夹持。

工作原理：使用时，驱动电动伸缩杆13将限位块17与加工台7分离，此时滚轮21与加工台7相贴合，同时开启电机3，在电机3的作用下带动齿轮10转动，齿轮10与外齿轮11啮合连接，随着齿轮10的转动即可间接的带动回转盘4转动，从而带动加工台7转动，转动调节好后驱动电动伸缩杆13带动限位块17向加工台7靠拢移动，在挤压力度作用下将滚轮21收纳到凹槽19中，将限位块17与加工台7紧密贴合即可，将加工台7夹持固定可以避免加工台7受力偏转。拔出填充块15，将润滑油从润油孔14添加到齿轮10与外齿轮11啮合连接处进行润滑，润滑油添加完成后再将填充块15插入到润油孔14即可。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.新型真空镀膜公自转回转机构，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上设置有转动槽(9)，所述转动槽(9)的内部设置有回转盘(4)，所述回转盘(4)的外部设置有外齿轮(11)，且外齿轮(11)与回转盘(4)通过螺钉连接，所述底座(1)的下方设置有电机(3)，电机(3)设置有两个，且两个电机(3)均与底座(1)通过螺钉连接，两个所述电机(3)关于底座(1)中心线对称设置，两个所述电机(3)输出端的上方均设置有转轴(8)，且转轴(8)与底座(1)转动连接，所述外齿轮(11)的两侧均设置有齿轮(10)，且齿轮(10)设置在转轴(8)的外部，所述齿轮(10)与转轴(8)连接为一体结构，且齿轮(10)与外齿轮(11)啮合连接，所述回转盘(4)的上方设置有加工台(7)，且加工台(7)与回转盘(4)通过螺钉连接。

2.根据权利要求1所述的新型真空镀膜公自转回转机构，其特征在于：所述底座(1)的下方设置有减振支撑腿(2)，且减振支撑腿(2)与底座(1)通过螺钉连接，所述回转盘(4)的下端设置有滑槽(6)，所述回转盘(4)的下方设置有支撑座(5)，且支撑座(5)的一端延伸至滑槽(6)的内部，所述支撑座(5)与底座(1)通过螺钉连接，且支撑座(5)与回转盘(4)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的新型真空镀膜公自转回转机构，其特征在于：所述加工台(7)上设置有润油孔(14)，润油孔(14)设置有四个，且四个润油孔(14)在加工台(7)上依次设置，所述润油孔(14)的下端延伸至转动槽(9)的内部，所述润油孔(14)的内部设置有填充块(15)，且填充块(15)与润油孔(14)的内壁贴合连接。

4.根据权利要求1所述的新型真空镀膜公自转回转机构，其特征在于：所述底座(1)与加工台(7)之间设置有滚珠(12)，滚珠(12)设置有四个，且滚珠(12)与底座(1)转动连接，四个所述滚珠(12)在底座(1)上依次设置，所述加工台(7)的下端设置有滚槽(18)，且滚珠(12)的一端延伸至滚槽(18)的内部，所述滚珠(12)与加工台(7)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的新型真空镀膜公自转回转机构，其特征在于：所述加工台(7)的断面上设置有限位槽(16)，所述加工台(7)的外部设置有限位块(17)，限位块(17)设置有四个，且限位块(17)的一端延伸至限位槽(16)的内部，四个所述限位块(17)在加工台(7)的外部依次设置，所述限位块(17)与底座(1)之间设置有电动伸缩杆(13)，且电动伸缩杆(13)的两端分别与限位块(17)和底座(1)通过螺钉连接。

6.根据权利要求5所述的新型真空镀膜公自转回转机构，其特征在于：所述限位块(17)的内部设置有凹槽(19)，所述凹槽(19)的内部设置有安装块(20)，且安装块(20)与限位块(17)滑动连接，所述安装块(20)的内部设置有滚轮(21)，且滚轮(21)与安装块(20)转动连接，所述滚轮(21)与加工台(7)的断面相贴合，所述凹槽(19)的内部设置有弹簧(22)，且弹簧(22)的两端分别与限位块(17)和安装块(20)弹性连接。

Images