CN215493259U - 一种具有晶元限位结构的晶元检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶元检测技术领域，尤其为一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，包括机体、放置板和X光检测器，所述机体右端侧壁上开设有穿槽，所述穿槽内穿过有放置板，所述放置板设置在机体内，所述放置板右端固定连接有防护板，所述防护板设置在机体右端侧壁内，本实用新型通过设置电机，可以通过螺纹杆带动放置板进行自动滑出与收入，方便在检测完成后，使放置板自动滑出，并且配合限位架与限位滑条，可以增加放置板移动时的稳定性，通过设置推块与弹簧，可以对挤压块进行控制，同时配合限位板与限位槽，可以对不同大小形状的晶元进行限位固定，有效的避免在检测时，晶元出现晃动，影响检测效果。

Description

一种具有晶元限位结构的晶元检测设备

技术领域

本实用新型涉及晶元检测技术领域，具体为一种具有晶元限位结构的晶元检测设备。

背景技术

晶元又叫晶圆，是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主，随着社会的发展，对具有晶元限位结构的晶元检测设备的应用愈加广泛。

市面上大多的晶元检测设备，在检测完成后，不能自动对物料进行弹出，需要人工进行操作，会影响工作效率，并且在检测过程中，不能对晶元进行限位固定，导致晶元在检测和运输过程中，可能会出现偏移，影响检测效果，实用性差。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，包括机体、放置板和X光检测器，所述机体右端侧壁上开设有穿槽，所述穿槽内穿过有放置板，所述放置板设置在机体内，所述放置板右端固定连接有防护板，所述防护板设置在机体右端侧壁内，所述防护板与机体滑动连接，所述放置板上端前后两侧均开设有限位槽，所述限位槽前端内设置有限位板，所述限位板固定连接在放置板内，所述限位板左端滑动连接有挤压块，所述挤压块滑动连接在限位槽内，所述挤压块设置在推板前端，所述挤压块与推板固定连接，所述推板滑动连接在限位槽内，所述放置板左端前后两侧均设置有带动块，所述带动块与放置板固定连接。

优选的，所述放置板底端滑动连接有限位架，所述限位架设置在机体右端底侧内，所述限位架与机体固定连接，所述限位架前后两端内均开设有滑槽，所述限位架上的滑槽内滑动连接有限位滑条，所述限位滑条固定连接在放置板底端前后两侧。

优选的，所述带动块内穿过有螺纹杆，所述螺纹杆与带动块螺旋连接，所述螺纹杆设置在放置板前后两侧，所述螺纹杆左端通过联轴器与电机输出轴固定连接，所述电机固定连接在机体左端侧壁内，所述螺纹杆右端固定连接有挡板。

优选的，所述机体上侧内固定连接有固定架，所述固定架底端固定连接有X光检测器。

优选的，每个所述限位槽内均设置有多个限位板，所述推板后端左右两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧固定连接在限位槽内，所述推板后端中部固定连接有带动杆，所述带动杆滑动连接在放置板内，所述带动杆上端后侧固定连接有推块，所述推块穿过放置板上侧。

优选的，所述机体右端上侧设置有控制器，所述控制器与机体固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的电机、螺纹杆、放置板、限位架和限位滑条，通过设置电机，可以通过螺纹杆带动放置板进行自动滑出与收入，方便在检测完成后，使放置板自动滑出，并且配合限位架与限位滑条，可以增加放置板移动时的稳定性，结构简单实用性强。

2、本实用新型中，通过设置的推块、弹簧、挤压块、限位板和限位槽，通过设置推块与弹簧，可以对挤压块进行控制，同时配合限位板与限位槽，可以对不同大小形状的晶元进行限位固定，有效的避免在检测时，晶元出现晃动，影响检测效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型放置板安装结构示意图；

图3为本实用新型限位架安装结构示意图。

图中：1-机体、2-固定架、3-X光检测器、4-穿槽、5-控制器、6-防护板、7-放置板、8-限位架、9-挡板、10-限位滑条、11-螺纹杆、12-带动块、13-电机、14-推块、15-带动杆、16-弹簧、17-挤压块、18-限位板、19-限位槽、20-推板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，包括机体1、放置板7和X光检测器3，机体1右端侧壁上开设有穿槽4，穿槽4内穿过有放置板7，放置板7设置在机体1内，放置板7右端固定连接有防护板6，防护板6设置在机体1右端侧壁内，防护板6与机体1滑动连接，放置板7上端前后两侧均开设有限位槽19，限位槽19前端内设置有限位板18，限位板18固定连接在放置板7内，限位板18左端滑动连接有挤压块17，挤压块17滑动连接在限位槽19内，挤压块17设置在推板20前端，挤压块17与推板20固定连接，推板20滑动连接在限位槽19内，放置板7左端前后两侧均设置有带动块12，带动块12与放置板7固定连接。

放置板7底端滑动连接有限位架8，限位架8设置在机体1右端底侧内，限位架8与机体1固定连接，限位架8前后两端内均开设有滑槽，限位架8上的滑槽内滑动连接有限位滑条10，限位滑条10固定连接在放置板7底端前后两侧，通过限位架8与限位滑条10，可以增加放置板7移动时的稳定性；带动块12内穿过有螺纹杆11，螺纹杆11与带动块12螺旋连接，螺纹杆11设置在放置板7前后两侧，螺纹杆11左端通过联轴器与电机13输出轴固定连接，电机13固定连接在机体1左端侧壁内，螺纹杆11右端固定连接有挡板9，通过电机13，可以带动放置板7进行自动滑出与收入；机体1上侧内固定连接有固定架2，固定架2底端固定连接有X光检测器3，通过X光检测器3，可以对晶元进行检测；每个限位槽19内均设置有多个限位板18，推板20后端左右两侧均固定连接有弹簧16，弹簧16固定连接在限位槽19内，推板20后端中部固定连接有带动杆15，带动杆15滑动连接在放置板7内，带动杆15上端后侧固定连接有推块14，推块14穿过放置板7上侧，通过推块14，可以带动挤压块17进行移动；机体1右端上侧设置有控制器5，控制器5与机体1固定连接，通过控制器5，可以对装置进行控制。

工作流程：本实用新型在使用时通过外接电源进行供电，当需要对装置进行使用时，通过控制器5打开电机13，使电机13带动螺纹杆11转动，螺纹杆11会通过带动块12带动放置板7与防护板6移动，使放置板7离开机体1内，并且在放置板7移动时，可以通过限位架8与限位滑条10对其进行导向固定，增加移动时的稳定性，之后推动推块14，使推块14通过带动杆15带动推板20移动，推板20会带动挤压块17移动，之后将晶元放置在限位板18左侧，后松开推块14，弹簧16会带动挤压块17对晶元进行限位固定，之后通过控制器5对电机13进行控制，使放置板7自动回到机体1内，并且通过防护板6对装置内进行密闭，在检测完成后，可以通过控制器5对电机13进行控制，使放置板7自动从机体1内滑出。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，包括机体（1）、放置板（7）和X光检测器（3），其特征在于：所述机体（1）右端侧壁上开设有穿槽（4），所述穿槽（4）内穿过有放置板（7），所述放置板（7）设置在机体（1）内，所述放置板（7）右端固定连接有防护板（6），所述防护板（6）设置在机体（1）右端侧壁内，所述防护板（6）与机体（1）滑动连接，所述放置板（7）上端前后两侧均开设有限位槽（19），所述限位槽（19）前端内设置有限位板（18），所述限位板（18）固定连接在放置板（7）内，所述限位板（18）左端滑动连接有挤压块（17），所述挤压块（17）滑动连接在限位槽（19）内，所述挤压块（17）设置在推板（20）前端，所述挤压块（17）与推板（20）固定连接，所述推板（20）滑动连接在限位槽（19）内，所述放置板（7）左端前后两侧均设置有带动块（12），所述带动块（12）与放置板（7）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，其特征在于：所述放置板（7）底端滑动连接有限位架（8），所述限位架（8）设置在机体（1）右端底侧内，所述限位架（8）与机体（1）固定连接，所述限位架（8）前后两端内均开设有滑槽，所述限位架（8）上的滑槽内滑动连接有限位滑条（10），所述限位滑条（10）固定连接在放置板（7）底端前后两侧。

3.根据权利要求1所述的一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，其特征在于：所述带动块（12）内穿过有螺纹杆（11），所述螺纹杆（11）与带动块（12）螺旋连接，所述螺纹杆（11）设置在放置板（7）前后两侧，所述螺纹杆（11）左端通过联轴器与电机（13）输出轴固定连接，所述电机（13）固定连接在机体（1）左端侧壁内，所述螺纹杆（11）右端固定连接有挡板（9）。

4.根据权利要求1所述的一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，其特征在于：所述机体（1）上侧内固定连接有固定架（2），所述固定架（2）底端固定连接有X光检测器（3）。

5.根据权利要求1所述的一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，其特征在于：每个所述限位槽（19）内均设置有多个限位板（18），所述推板（20）后端左右两侧均固定连接有弹簧（16），所述弹簧（16）固定连接在限位槽（19）内，所述推板（20）后端中部固定连接有带动杆（15），所述带动杆（15）滑动连接在放置板（7）内，所述带动杆（15）上端后侧固定连接有推块（14），所述推块（14）穿过放置板（7）上侧。

6.根据权利要求1所述的一种具有晶元限位结构的晶元检测设备，其特征在于：所述机体（1）右端上侧设置有控制器（5），所述控制器（5）与机体（1）固定连接。

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