CN215364694U - 一种提篮升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种提篮升降机构，旨在提供一种结构简单及提篮受力集中的提篮升降机构。本实用新型包括基座，所述基座上设置有带传动组件及四个丝杆，四个所述丝杆的下端均设置有第一同步轮，所述带传动组件驱动若干个所述第一同步轮转动，四个所述丝杆上活动设置有托板，所述托板上设置有提篮。本实用新型应用于升降机构的技术领域。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种提篮升降机构。
背景技术
提篮升降机构配置于对晶圆提篮进行升降操作，而现有技术中，通常使用同步带与同步轮驱动晶圆提篮，使得晶圆提篮在导轨上滑动，而这种方式显然存在结构不够简化，且晶圆提篮受力不均匀的情况，因此目前需要一种结构简单及提篮受力集中的提篮升降机构。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构简单及提篮受力集中的提篮升降机构。
本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括基座，所述基座上设置有带传动组件及四个丝杆，四个所述丝杆的下端均设置有第一同步轮，所述带传动组件驱动若干个所述第一同步轮转动，四个所述丝杆上活动设置有托板，所述托板上设置有提篮。
进一步，四个所述丝杆分别设置在所述基座的四个拐角处。
进一步，所述带传动组件包括设置在所述基座上的马达及若干个第二同步轮，若干个所述第二同步轮及若干个所述第一同步轮之间传动配合有同步带，所述马达的活动端驱动所述同步带传动。
进一步，所述第二同步轮的数量为四个。
进一步，所述提篮上设置有若干个晶圆卡槽。
本实用新型的有益效果是：相对于现有技术的不足，在本实用新型中，使用时，通过所述带传动组件驱动所述第一同步轮转动，使得四个所述丝杆驱动所述提篮向上运动，因此，通过四个所述丝杆驱动所述提篮向上运动的设置使得所述提篮在运动时达成四点受力且受力平均，且通过丝杆与同步轮的组合，能够省去导轨或导杆等元件，使得本实用新型具有结构简单及提篮受力集中的优点。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图；
图2是本实用新型另一视角的立体结构示意图；
图3是本实用新型的平面结构示意图。
具体实施方式
如图1至图3所示，在本实施例中，本实用新型包括基座1，所述基座1上设置有带传动组件2及四个丝杆3，四个所述丝杆3的下端均设置有第一同步轮4，所述带传动组件2驱动若干个所述第一同步轮4转动，四个所述丝杆3上活动设置有托板5，所述托板5上设置有提篮6。相对于现有技术的不足，在本实用新型中，使用时，通过所述带传动组件2驱动所述第一同步轮4转动，使得四个所述丝杆3驱动所述提篮6向上运动，因此，通过四个所述丝杆3驱动所述提篮6向上运动的设置使得所述提篮6在运动时达成四点受力且受力平均，且通过丝杆与同步轮的组合，能够省去导轨或导杆等元件，使得本实用新型具有结构简单及提篮受力集中的优点。
在本实施例中，四个所述丝杆3分别设置在所述基座1的四个拐角处。
在本实施例中，所述带传动组件2包括设置在所述基座1上的马达7及若干个第二同步轮8，若干个所述第二同步轮8及若干个所述第一同步轮4之间传动配合有同步带9，所述马达7的活动端驱动所述同步带9传动。通过所述马达7的正反转使得所述提篮6上下移动，可以达到使得所述提篮6升降的作用。
在本实施例中，所述第二同步轮8的数量为四个。
在本实施例中，所述提篮6上设置有若干个晶圆卡槽10。
虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本实用新型含义的限制，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。
Claims (5)
1.一种提篮升降机构，其特征在于：其包括基座（1），所述基座（1）上设置有带传动组件（2）及四个丝杆（3），四个所述丝杆（3）的下端均设置有第一同步轮（4），所述带传动组件（2）驱动若干个所述第一同步轮（4）转动，四个所述丝杆（3）上活动设置有托板（5），所述托板（5）上设置有提篮（6）。
2.根据权利要求1所述的一种提篮升降机构，其特征在于：四个所述丝杆（3）分别设置在所述基座（1）的四个拐角处。
3.根据权利要求1所述的一种提篮升降机构，其特征在于：所述带传动组件（2）包括设置在所述基座（1）上的马达（7）及若干个第二同步轮（8），若干个所述第二同步轮（8）及若干个所述第一同步轮（4）之间传动配合有同步带（9），所述马达（7）的活动端驱动所述同步带（9）传动。
4.根据权利要求3所述的一种提篮升降机构，其特征在于：所述第二同步轮（8）的数量为四个。
5.根据权利要求1所述的一种提篮升降机构，其特征在于：所述提篮（6）上设置有若干个晶圆卡槽（10）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120689191.2U CN215364694U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种提篮升降机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120689191.2U CN215364694U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种提篮升降机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215364694U true CN215364694U (zh) | 2021-12-31 |
Family
ID=79625990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120689191.2U Withdrawn - After Issue CN215364694U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种提篮升降机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215364694U (zh) |
-
2021
- 2021-04-06 CN CN202120689191.2U patent/CN215364694U/zh not_active Withdrawn - After Issue
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20211231 Effective date of abandoning: 20230327 |
|
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20211231 Effective date of abandoning: 20230327 |