CN215328463U - 一种新型坩埚轴结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型坩埚轴结构，包括：上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；水管，所述水管设置在水管水道内，所述水管的上端与流水通道连通。本实用新型的有益效果为：采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害。

Description

一种新型坩埚轴结构

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备领域，具体涉及一种新型坩埚轴结构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。坩埚轴作为单晶炉设备中的一个重要部件，起着支撑旋转坩埚的作用。坩埚在使用过程中温度极高，因此坩埚轴的冷却极为重要。

综上所述，为解决现有的技术问题，本实用新型设计了一种结构简单、可以对坩埚轴进行有效冷却的新型坩埚轴结构。

发明内容

本实用新型为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、可以对坩埚轴进行有效冷却的新型坩埚轴结构。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：

一种新型坩埚轴结构，包括：

上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；

冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；

下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；

水管，所述水管设置在水管水道内，所述水管的上端与流水通道连通。

进一步的，所述上段轴上部内设有倒圆台形的连接槽。

进一步的，所述冷却腔为圆台形，所述冷却水道块上端为圆台形。

进一步的，所述冷却水道块侧面下部与冷却水道下开口之间设有排水凹陷。

进一步的，所述下段轴的上端通过连接凸出与安装空间连接，所述下段轴上端侧面与上段轴下端面之间设有密封圈。

相比现有技术，本实用新型结构设置合理：1、采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害；2、水管采用了上下均固定的方式，使得水管更稳定，不会因水管的晃动产生异响。

附图说明

图1为本新型坩埚轴结构整体结构示意图；

图2为上段轴结构示意图；

图3为冷却水道块结构示意图；

图4为下段轴结构示意图；

参见图1至图4，其中：1、上段轴；11、安装空间；12、冷却腔；13、连接槽；14、密封圈；2、冷却水道块；21、流水通道；22、冷却水道；23、排水凹陷；3、下段轴；31、水管水道；32、缓冲水腔；33、连接凸出；4、水管。

具体实施方式

下面结合实施例，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一：

一种新型坩埚轴结构，包括：

上段轴1，所述上段轴1下部内设有安装空间11，所述安装空间11上方具有冷却腔12；

冷却水道块2，所述冷却水道块2连接在安装空间11内，所述冷却水道块2中部内设有流水通道21，所述冷却水道块2内于流水通道21周边设有均布的冷却水道22；

下段轴3，所述下段轴3连接在安装空间11下方，所述下段轴3中部设有水管水道31，所述水管水道31上端设有缓冲水腔32；

水管4，所述水管4设置在水管水道31内，所述水管4的上端与流水通道21连通。

具体的，坩埚轴作为单晶炉设备中的一个重要部件，起着支撑旋转坩埚的作用。坩埚在使用过程中温度极高，因此坩埚轴的冷却极为重要。上段轴1上方与坩埚连接，下段轴3下方与支撑旋转结构连接，从而实现对坩埚的支撑及旋转；在使用时，冷却水从水管4注入，从下方向上流入流水通道21，并从流水通道21上方流入冷却腔12，对上段轴1的上部进行冷却，再从冷却腔12流入冷却水道22，通过冷却水道块2与安装空间11内壁的接触，对上段轴1侧向冷却，冷却水从冷却水道22流出后进入缓冲水腔32，再从水管水道31与水管4之间排出，缓冲水腔32可以减少水流速度并减小水流对水管4的冲击，避免水管振动。本实用新型的优点在于：1、采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害；2、水管采用了上下均固定的方式，使得水管更稳定，不会因水管的晃动产生异响。

实施例二：

实施例二与实施例一的区别在于，所述上段轴1上部内设有倒圆台形的连接槽13。

具体的，上段轴1通过连接槽13与坩埚进行连接，连接更加稳定牢固。

实施例三：

实施例三与实施例一的区别在于，所述冷却腔12为圆台形，所述冷却水道块2上端为圆台形。

具体的，圆台形的冷却腔12可以改变流水通道21中向上流出的水流方向，减少水流对冷却腔12的冲击，减少紊流，配合冷却水道块2圆台形的上端，可以使水流顺利进入冷却水道22内，减小水流的阻力。

实施例四：

实施例四与实施例一的区别在于，所述冷却水道块2侧面下部与冷却水道22下开口之间设有排水凹陷23。

具体的，排水凹陷23可以使水流排出冷却水道22、进入缓冲水腔32时，水流的速度是逐渐减缓的，避免水流直接冲击到缓冲水腔32内的水而造成振动。

实施例五：

实施例五与实施例一的区别在于，所述下段轴3的上端通过连接凸出33与安装空间11连接，所述下段轴3上端侧面与上段轴1下端面之间设有密封圈14。

具体的，连接凸出33提高了下段轴3与上段轴1之间的连接强度，密封圈14可以使上段轴1与下段轴3之间的连接保持密封，避免冷却水从连接处渗出。

本文中所描述的仅为本实用新型的优选实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。本实用新型所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种新型坩埚轴结构，其特征在于，包括：

上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；

冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；

下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；

水管，所述水管设置在水管水道(31)内，所述水管的上端与流水通道连通。

2.根据权利要求1所述的一种新型坩埚轴结构，其特征在于，所述上段轴上部内设有倒圆台形的连接槽。

3.根据权利要求1所述的一种新型坩埚轴结构，其特征在于，所述冷却腔为圆台形，所述冷却水道块上端为圆台形。

4.根据权利要求1所述的一种新型坩埚轴结构，其特征在于，所述冷却水道块侧面下部与冷却水道下开口之间设有排水凹陷。

5.根据权利要求1所述的一种新型坩埚轴结构，其特征在于，所述下段轴的上端通过连接凸出与安装空间连接，所述下段轴上端侧面与上段轴下端面之间设有密封圈。

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