CN217628721U - 一种应用于单晶炉的炉底盘 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种应用于单晶炉的炉底盘，包括炉底盘本体，设于所述炉底盘本体上的盖板，以及设于所述炉底盘本体上的水道隔板，所述炉底盘本体与所述盖板之间形成换热空间，所述水道隔板分隔所述换热空间以形成密封水道，所述盖板上设有用于连通所述密封水道与外界的备用管道，本申请的单晶炉炉底盘在底板靠近中心位置设有备用管道，能够及时对密封水道进行排污和排气，提高了单晶炉的换热效率。
Description
【技术领域】
本申请涉及单晶炉的辅助设备技术领域，尤其涉及一种应用于单晶炉的炉底盘。
【背景技术】
单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在现有技术中，由于单晶炉炉底盘水道是密封的，只有一个入口和出口，而出口又设置在中心管道附近，再加上循环冷却水水质一般，在长时间使用后，炉底盘水道会累积很多脏物，严重的话会造成完全堵塞，以致换热效率极差，进一步降低单晶的结晶效率，降低晶棒的产能和质量，进而影响单晶炉的生产效益，从而降低单晶炉炉盖的使用寿命。
【发明内容】
本申请的目的在于更好排出炉底盘水道赃物，避免造成堵塞，更好地完成单晶炉换热，优化原有炉底盘结构，提供一种应用于单晶炉的炉底盘。
为实现上述目的，本申请提供了如下方案：一种应用于单晶炉的炉底盘，包括炉底盘本体，设于所述炉底盘本体上的盖板，以及设于所述炉底盘本体上的水道隔板，所述炉底盘本体与所述盖板之间形成换热空间，所述水道隔板分隔所述换热空间以形成密封水道，所述盖板上设有用于连通所述密封水道与外界的备用管道。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述炉底盘本体上设有对应其中心位置设置的中心管道，所述备用管道位于靠近所述中心管道的所述密封水道上。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述密封水道呈盘旋状，且其流通方向自所述炉底盘本体外周到中心方向，所述备用管道位于所述密封水道的末端。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述盖板上设有供所述备用管道插入的通孔，所述备用管道与所述盖板之间可拆卸连接。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述备用管道包括管道本体，以及与所述管道本体可拆卸连接的挡板，所述管道本体包括连通所述密封水道的接口，以及连通外界的出口，所述挡板与所述管道本体连接时封堵在所述出口上。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述管道本体上与所述挡板连接的一侧上设有凹槽，所述凹槽内设有密封圈。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述炉底盘本体上设有对应所述备用管道设置的凹槽，所述备用管道往靠近所述凹槽的方向延伸。
如上所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，所述中心管道上设有排气孔，所述排气孔的竖直高度高于所述密封水道。
与现有技术相比，本申请有如下优点：本申请的单晶炉炉底盘在底板靠近中心位置设有备用管道，能够及时对密封水道进行排污和排气，提高了单晶炉的换热效率。
【附图说明】
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是本申请的一种应用于单晶炉的炉底盘正面示意图。
图2是图1的A-A处剖视图。
图3是图1的俯视图。
【具体实施方式】
如图1和图2所示，本申请实施例提出的一种应用于单晶炉的炉底盘，包括炉底盘本体1，设于所述炉底盘本体上的盖板11，以及设于所述炉底盘本体上1的水道隔板12，所述炉底盘本体1与所述盖板11之间形成换热空间13，所述水道隔板12分隔所述换热空间13以形成密封水道121，所述盖板11上设有用于连通所述密封水道121与外界的备用管道111，能够及时排出密封水道121污水，使单晶炉冷却效果好，提高了单晶炉的换热效率。
优选地，所述炉底盘本体1上设有对应其中心位置设置的中心管道14，所述备用管道111位于靠近所述中心管道14的所述密封水道121上，能够在密封水道121污水过多时及时排除污水。
优选地，所述密封水道121呈盘旋状，且其流通方向自所述炉底盘本体1外周到中心方向，所述备用管道111位于所述密封水道121的末端，水流能够充分地对单晶炉进行冷却，提高了单晶炉的换热效率。
优选地，所述盖板11上设有供所述备用管道111插入的通孔112，所述备用管道111与所述盖板11之间可拆卸连接，方便在使用备用管道111时进行拆卸。
优选地，所述备用管道111包括管道本体113，以及与所述管道本体113可拆卸连接的挡板114，所述管道本体包括连通所述密封水道的接口1131，以及连通外界的出口1132，所述挡板114与所述管道本体113连接时封堵在所述出口1132上，能够在正常使用时避免水的流出。
优选地，所述管道本体113上与所述挡板114连接的一侧上设有凹槽1141，所述凹槽内设有密封圈1142，密封圈能够使凹槽1141紧密的贴合备用管道111。
优选地，所述炉底盘本体1上设有对应所述备用管道111设置的凹槽1141，所述备用管道111往靠近所述凹槽1141的方向延伸，能够让备用管道111紧密的贴合凹槽1141。
优选地，所述中心管道14上设有排气孔141，所述排气孔141的竖直高度高于所述密封水道121，能够让中心管道在出水时顺畅。
如上所述是结合具体内容提供的一种实施方式，并不认定本申请的具体实施只局限于这些说明。凡与本申请的方法、结构等近似、雷同，或是对于本申请构思前提下做出若干技术推演或替换，都应当视为本申请的保护范围。
Claims (8)
1.一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，包括炉底盘本体(1)，设于所述炉底盘本体(1)上的盖板(11)，以及设于所述炉底盘本体(1)上的水道隔板(12)，所述炉底盘本体(1)与所述盖板(11)之间形成换热空间(13)，所述水道隔板(12)分隔所述换热空间(13)以形成密封水道(121)，所述盖板(11)上设有用于连通所述密封水道(121)与外界的备用管道(111)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述炉底盘本体(1)上设有对应其中心位置设置的中心管道(14)，所述备用管道(111)位于靠近所述中心管道(14)的所述密封水道(121)上。
3.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述密封水道(121)呈盘旋状，且其流通方向自所述炉底盘本体(1)外周到中心方向，所述备用管道(111)位于所述密封水道(121)的末端。
4.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述盖板(11)上设有供所述备用管道(111)插入的通孔(112)，所述备用管道(111)与所述盖板(11)之间可拆卸连接。
5.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述备用管道(111)包括管道本体(113)，以及与所述管道本体(113)可拆卸连接的挡板(114)，所述管道本体包括连通所述密封水道的接口(1131)，以及连通外界的出口(1132)，所述挡板(114)与所述管道本体(113)连接时封堵在所述出口(1132)上。
6.根据权利要求5所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述管道本体(113)上与所述挡板(114)连接的一侧上设有凹槽(1141)，所述凹槽内设有密封圈(1142)。
7.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述炉底盘本体(1)上设有对应所述备用管道(111)设置的凹槽(1141)，所述备用管道(111)往靠近所述凹槽(1141)的方向延伸。
8.根据权利要求2所述的一种应用于单晶炉的炉底盘，其特征在于，所述中心管道(14)上设有排气孔(141)，所述排气孔(141)的竖直高度高于所述密封水道(121)。
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| CN202221708684.7U CN217628721U (zh) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | 一种应用于单晶炉的炉底盘 |
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ID=83632002
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2022
- 2022-07-04 CN CN202221708684.7U patent/CN217628721U/zh active Active
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