CN215328446U - 一种多温区开合晶体炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体，所述炉体内竖直设有加热腔体，所述加热腔体的两端设有开口；所述加热腔体内竖直设有多组串联的电阻线圈；每组所述电阻线圈上位于所述炉体外端设置有接线端；所述接线端上设有控制开关；所述炉体内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体温度的温度测量元件；通过在设置可开闭的炉体，以实现对单晶炉进行打开和闭合，工件装炉可视化，便于对炉体内的工件进行操作，炉膛保温性能和隔热节能性好，晶体成品率高，且电阻线圈安装和拆卸方便，便于日常维护和炉膛清理；同时，通过设置多组电阻线圈，以结合控制开关来控制输出功率，以实现对炉膛内的电阻线圈进行多温区加热，温度控制灵活性高。

Description

一种多温区开合晶体炉

技术领域

本实用新型涉及晶体炉技术领域，具体涉及一种多温区开合晶体炉。

背景技术

单晶硅棒的生产方式为，将原料放入单晶炉的炉膛内，之后将原料加热融化，再将棒状籽晶浸入熔液中，在合适的温度下，熔液中的硅原子会在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体；部分化合物晶体，则采用VB、VGF等多温区方式生产单晶棒，但限于加热方式的限制，炉体一般为封闭形式的，不可以打开和闭合，装料的过程不可视，不便于炉膛内日常的维护和清理，增加了单晶生产工作的操作复杂型，不利于生产过程的精确量化控制，晶体成品率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述技术中存在的不足之处，提出一种多温区开合晶体炉，旨在解决上述单晶炉不可打开和闭合，维护和清理效率低的问题。

本实用新型提供了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体，所述炉体内竖直设有加热腔体，所述加热腔体的两端设有开口；所述加热腔体内竖直设有多组串联的电阻线圈；每组所述电阻线圈上位于所述炉体外端设置有接线端；所述接线端上设有控制开关；所述炉体内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体温度的温度测量元件；所述炉体的一端设置有用于对闭合的所述炉体进行锁紧的锁紧装置。

进一步地，所述炉体包括第一半圆柱体和第二半圆柱体，所述第一半圆柱体的一端铰接于所述第二半圆柱体的一端；所述第一半圆柱体的另一端通过所述锁紧装置与所述第二半圆柱体的另一端锁紧。

进一步地，所述第一半圆柱体内设有凹槽，所述凹槽位于所述圆柱腔体两侧；所述第二半圆柱体内设有凸起，所述凸起位于所述圆柱腔体两侧；所述凹槽通过所述炉体的闭合来与所述凸起嵌合。

进一步地，所述第一半圆柱体和所述第二半圆柱体为不锈钢材料。

进一步地，所述控制开关为用于控制输出功率的可控硅控制器。

进一步地，多组所述电阻线圈串联连接以将所述加热腔体分隔成多温区；所述温度测量元件为热电偶，所述热电偶分别设于每个所述温区内。

进一步地，所述锁紧装置包括铰接于所述第二半圆柱体上的扣板和设于所述第一半圆柱体上的挂钩，所述扣板的端部设有与所述挂钩扣接的扣环。

进一步地，所述扣环之间通过竖直拉杆连接。

进一步地，还包括用于对所述开口进行密封的密封盖板。

进一步地，所述电阻线圈为螺旋结构。

相对现有技术，具有以下有益效果：

本实用新型提供了一种多温区开合晶体炉，通过在设置可开闭的炉体，以实现对单晶炉进行打开和闭合，工件装炉可视化，便于对炉体内的工件进行操作，炉膛保温性能和隔热节能性好，晶体成品率高，且电阻线圈安装和拆卸方便，便于日常维护和炉膛清理；同时，通过设置多组电阻线圈，以结合控制开关来控制输出功率，以实现对炉膛内的电阻线圈进行多温区加热，温度控制灵活性高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的优选实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种多温区开合晶体炉的示意图；

图2为本实用新型一种多温区开合晶体炉的炉体打开示意图；

图3为本实用新型一种多温区开合晶体炉的第二半圆柱体内部示意图。

图中，1-炉体；2-加热腔体；3-电阻线圈；4-接线端；5-温度测量元件；6-锁紧装置；7-密封盖板；11-第一半圆柱体；12-第二半圆柱体；21-开口；71-扣板；72-挂钩；73-扣环；74-拉杆；111-凹槽；121-凸起。

具体实施方式

为了更易理解本实用新型的结构及所能达成的功能特征和优点，下文将本实用新型的较佳的实施例，并配合图式做详细说明如下：

实施例1：

如图1至图3所示，本实用新型提供了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体1，炉体1内竖直设有加热腔体2，加热腔体2的两端设有开口21；加热腔体2内竖直设有多组串联的电阻线圈3，以通过多组电阻线圈3来实现多温区加热；每组电阻线圈3上位于炉体1外端设置有接线端4；接线端4上设有控制开关。以通过控制开关来控制输出功率，使多组电阻线圈3的功率不同，从而达到多温区变化的控制；进一步地，多温区包括三至十个温区；炉体1内竖直间隔设有多个用于测量炉体1温度的温度测量元件5，以通过温度测量元件5来对炉体1内的温度进行分区监控；炉体1的一端设置有用于对闭合的炉体1进行锁紧的锁紧装置6，以通过锁紧装置6来对炉体1进行锁紧。

具体地，炉体1包括第一半圆柱体11和第二半圆柱体12，第一半圆柱体11的一端铰接于第二半圆柱体12的一端，以使第一半圆柱体11可绕第二半圆柱体12的一端转动打开；第一半圆柱体11的另一端通过锁紧装置6与第二半圆柱体12的另一端锁紧，以实现将第一半圆柱体11。

具体地，第一半圆柱体11内设有凹槽111，凹槽111位于圆柱腔体两侧；第二半圆柱体12内设有凸起121，凸起121位于圆柱腔体两侧；凹槽111通过炉体1的闭合来与凸起121嵌合，以使闭合后的炉体1能够避免热量从开合处的缝隙中流失。

具体地，第一半圆柱体11和第二半圆柱体12为耐火保温材料浇筑而成的不锈钢材料。

具体地，控制开关为用于控制输出功率的可控硅控制器，以通过可控硅控制器来控制多组电阻线圈3的输出功率，来达到控制多组电阻线圈3的加热温度。

具体地，还包括用于对开口21进行密封的密封盖板7，以通过密封盖板7来对加热腔体2即炉膛进行密封。

实施例2：

如图1至图3所示，结合实施例1的技术方案，本实施例中，电阻线圈3为三组至十组，多组电阻线圈3串联连接以将加热腔体2，即炉膛分隔成三至十个温区；温度测量元件5为热电偶，热电偶分别设于每个温区内，以对每个温区进行分别检测。

具体地，锁紧装置6包括铰接于第二半圆柱体12上的扣板71和设于第一半圆柱体11上的挂钩72，扣板71的端部设有与挂钩72扣接的扣环73，以通过转动扣板71来带动扣环73来与挂钩72扣接的方式来将第一半圆柱和第二半圆柱闭合。

具体地，锁紧装置6为两组，两组锁紧装置6上的扣环73之间通过竖直拉杆74连接，以实现通过拉杆74来同时拉动扣环73进行转动脱离挂钩72。

以上，仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术对以上实施例所做的任何改动修改、等同变化及修饰，均属于本技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种多温区开合晶体炉,其特征在于,包括开闭设置的炉体(1)，所述炉体(1)内竖直设有加热腔体(2)，所述加热腔体(2)的两端设有开口(21)；所述加热腔体(2)内竖直设有多组串联的电阻线圈(3)；每组所述电阻线圈(3)上位于所述炉体(1)外端设置有接线端(4)；所述接线端(4)上设有控制开关；所述炉体(1)内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体(1)温度的温度测量元件(5)；所述炉体(1)的一端设置有用于对闭合的所述炉体(1)进行锁紧的锁紧装置(6)。

2.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述炉体(1)包括第一半圆柱体(11)和第二半圆柱体(12)，所述第一半圆柱体(11)的一端铰接于所述第二半圆柱体(12)的一端；所述第一半圆柱体(11)的另一端通过所述锁紧装置(6)与所述第二半圆柱体(12)的另一端锁紧。

3.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述第一半圆柱体(11)内设有凹槽(111)，所述凹槽(111)位于所述圆柱腔体两侧；所述第二半圆柱体(12)内设有凸起(121)，所述凸起(121)位于所述圆柱腔体两侧；所述凹槽(111)通过所述炉体(1)的闭合来与所述凸起(121)嵌合。

4.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述第一半圆柱体(11)和所述第二半圆柱体(12)为不锈钢材料。

5.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述控制开关为用于控制输出功率的可控硅控制器。

6.根据权利要求5所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，多组所述电阻线圈(3)串联连接以将所述加热腔体(2)分隔成多温区；所述温度测量元件(5)为热电偶，所述热电偶分别设于每个所述温区内。

7.根据权利要求2所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述锁紧装置(6)包括铰接于所述第二半圆柱体(12)上的扣板(71)和设于所述第一半圆柱体(11)上的挂钩(72)，所述扣板(71)的端部设有与所述挂钩(72)扣接的扣环(73)。

8.根据权利要求7所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述扣环(73)之间通过竖直拉杆(74)连接。

9.根据权利要求1所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，还包括用于对所述开口(21)进行密封的密封盖板(7)。

10.根据权利要求1或6所述的多温区开合晶体炉，其特征在于，所述电阻线圈(3)为螺旋结构。

Images