CN215278694U - 一种单晶硅片抛光机用清洗刷 - Google Patents
一种单晶硅片抛光机用清洗刷 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215278694U CN215278694U CN202120140595.6U CN202120140595U CN215278694U CN 215278694 U CN215278694 U CN 215278694U CN 202120140595 U CN202120140595 U CN 202120140595U CN 215278694 U CN215278694 U CN 215278694U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- fixedly connected
- rod
- brush
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 20
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种单晶硅片抛光机用清洗刷，包括顶连板，所述顶连板的右侧固定连接有驱动马达，所述顶连板的内部转动连接有传动螺杆。该单晶硅片抛光机用清洗刷，通过设置驱动马达、传动螺杆、驱动块、卡板、限位杆、滑杆、内槽、第一弹簧和第一抵板，当硅片被固定后，硅片开始旋转，启动驱动马达，使得驱动块带动连板移动，使得刷板与硅片充分接触，避免刷板出现局部损耗，当位于底部的刷板使用一端时间后，可向外拔出卡板，第一弹簧被压缩，使得限位杆从从动杆中移出，即可使手转杆转动一百八十度，解决当前的清洗刷与硅片接触不均匀，整个刷子还未充分使用，容易造成资源浪费的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种单晶硅片抛光机用清洗刷。
背景技术
当前的单晶硅片清洗刷的一部分长时间与硅片接触，而另一部分长期处于“空闲状态”，即不与硅片接触，使得整个清洗刷会出现局部性损坏，即整个刷子与硅片接触不均匀，导致其出现局部损耗，一旦出现局部损耗，就需要对刷子报废处理，以免影响清洗效果，整个刷子还未充分使用，容易造成资源的浪费。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶硅片抛光机用清洗刷，具备降低清洗刷的局部损耗，尽可能地使得整个清洗刷均匀损耗的优点，解决当前的清洗刷与硅片接触不均匀，整个刷子还未充分使用，容易造成资源浪费的问题。
(二)技术方案
为实现上述降低清洗刷的局部损耗，尽可能地使得整个清洗刷均匀损耗的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片抛光机用清洗刷，包括顶连板，所述顶连板的右侧固定连接有驱动马达，所述顶连板的内部转动连接有传动螺杆，所述传动螺杆的右端与驱动马达的输出端固定连接，所述传动螺杆的侧表面传动连接有驱动块，所述顶连板的内顶壁开设有限位滑道，所述限位滑道的内部固定连接有内杆，所述驱动块的底部固定连接有连板，所述连板底部的左侧固定连接有第一侧板，所述连板底部的右侧固定连接有第二侧板，所述第二侧板与第一侧板之间设有清洁辊，所述清洁辊的左端固定连接有手转杆，所述手转杆与第一侧板转动连接，所述清洁辊的右端固定连接有从动杆，所述第二侧板的右侧设有卡板，所述卡板的右侧内壁固定连接有限位杆，所述卡板的左侧固定连接有滑杆。
所述第二侧板的内部开设有内槽，所述滑杆的侧表面固定连接有第一抵板，所述第一抵板与内槽滑动连接，所述滑杆的侧表面活动套接有第一弹簧，所述第一弹簧与第一抵板抵持，所述清洁辊的顶部和底部均开设有安装槽，两个所述安装槽中均搭接有刷板，两个所述刷板的左右两端均固定连接有定位板，所述清洁辊顶部和底部的左右两端均开设有凹槽，所述凹槽中滑动连接有固定杆，所述固定杆的侧表面固定连接有第二抵板，所述固定杆的侧表面活动套接有第二弹簧，所述第二弹簧与第二抵板抵持，所述固定杆与定位板活动插接。
优选的，所述驱动块的顶部窄于其底部，所述驱动块的顶部延伸至限位滑道中，所述驱动块的顶部与内杆滑动连接。
优选的，所述限位杆呈“十字形”，所述从动杆的右端开设有限位槽，所述限位槽呈“十字形”，所述限位杆与从动杆活动插接。
优选的，两个所述刷板互相平行设置。
优选的，所述安装槽的内底壁固定连接有定位杆，所述定位板与定位杆活动插接。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶硅片抛光机用清洗刷，具备以下有益效果：
1、该单晶硅片抛光机用清洗刷，通过设置驱动马达、传动螺杆、驱动块、卡板、限位杆、滑杆、内槽、第一弹簧和第一抵板，当硅片被固定后，硅片开始旋转，启动驱动马达，使得驱动块带动连板移动，使得刷板与硅片充分接触，避免刷板出现局部损耗，当位于底部的刷板使用一端时间后，可向外拔出卡板，第一弹簧被压缩，使得限位杆从从动杆中移出，即可使手转杆转动一百八十度，使得位于顶部的刷板旋转至底部，松开卡板，使得限位杆复位，避免了同一块板连续地工作，减少了同一块刷板的损耗，提高了使用寿命，解决当前的清洗刷与硅片接触不均匀，整个刷子还未充分使用，容易造成资源浪费的问题。
2、该单晶硅片抛光机用清洗刷，通过设置凹槽、第二弹簧、固定杆和第二抵板，需要拆卸并更换刷板时，可向外拉出固定杆，即可拆下刷板，固定杆作用在水平方向，与刷板具有位移趋势的方向垂直，稳固性高，便于拆装刷板，也可避免外力的重合作用，即在刷板受到使其具有位移趋势的力后，固定杆也具有位移趋势。
附图说明
图1为本实用新型主视结构剖面图；
图2为本实用新型的卡板结构三维图；
图3为本实用新型图1中A的局部结构放大图；
图4为本实用新型图1中B的局部结构放大图。
其中：1、顶连板；2、驱动马达；3、传动螺杆；4、驱动块；5、限位滑道；6、内杆；7、连板；8、第一侧板；9、第二侧板；10、手转杆；11、卡板；12、限位杆；13、滑杆；14、内槽；15、第一弹簧；16、第一抵板；17、刷板；18、安装槽；19、定位板；20、定位杆；21、凹槽；22、第二弹簧；23、固定杆；24、第二抵板；25、清洁辊；26、从动杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供了一种单晶硅片抛光机用清洗刷，包括顶连板1，顶连板1的右侧固定连接有驱动马达2，顶连板1的内部转动连接有传动螺杆3，传动螺杆3的右端贯穿顶连板1的右侧内壁并延伸出顶连板1，传动螺杆3的右端与驱动马达2的输出端固定连接，传动螺杆3的侧表面传动连接有驱动块4，顶连板1的内顶壁开设有限位滑道5，限位滑道5的内部固定连接有内杆6，驱动块4的顶部窄于其底部，驱动块4的顶部延伸至限位滑道5中，驱动块4的顶部与内杆6滑动连接，驱动块4的底部固定连接有连板7，连板7底部的左侧固定连接有第一侧板8，连板7底部的右侧固定连接有第二侧板9，第二侧板9与第一侧板8之间设有清洁辊25，清洁辊25的左端固定连接有手转杆10，手转杆10与第一侧板8转动连接，清洁辊25的右端固定连接有从动杆26，第二侧板9的右侧设有卡板11，卡板11的右侧内壁固定连接有限位杆12，限位杆12呈“十字形”，从动杆26的右端开设有限位槽，限位槽呈“十字形”，十字形设置可避免清洁辊25发生相对于第一侧板8的转动，限位杆12与从动杆26活动插接，卡板11的左侧固定连接有滑杆13，当硅片被固定后，硅片开始旋转，启动驱动马达2，使得驱动块4带动连板7移动，使得刷板17与硅片充分接触，避免刷板17出现局部损耗，当位于底部的刷板17使用一端时间后，可向外拔出卡板11，第一弹簧15被压缩，使得限位杆12从从动杆26中移出，即可使手转杆10转动一百八十度，使得位于顶部的刷板17旋转至底部，松开卡板11，使得限位杆12复位，清洁辊25被重新固定。
第二侧板9的内部开设有内槽14，滑杆13延伸至内槽14中，滑杆13与第二侧板9滑动连接，滑杆13的侧表面固定连接有第一抵板16，第一抵板16与内槽14滑动连接，滑杆13的侧表面活动套接有第一弹簧15，第一弹簧15与第一抵板16抵持，清洁辊25的顶部和底部均开设有安装槽18，两个安装槽18中均搭接有刷板17，两个刷板17相背的一侧均设有刷毛，两个刷板17互相平行设置，平行设置可使得在清洁辊25在转动一百八十度后，限位杆12能够再次插入到限位槽中，两个刷板17的左右两端均固定连接有定位板19，安装槽18的内底壁固定连接有定位杆20，定位板19与定位杆20活动插接，清洁辊25顶部和底部的左右两端均开设有凹槽21，凹槽21中滑动连接有固定杆23，固定杆23的侧表面固定连接有第二抵板24，固定杆23的侧表面活动套接有第二弹簧22，第二弹簧22与第二抵板24抵持，固定杆23与定位板19活动插接，需要拆卸并更换刷板17时，可向外拉出固定杆23，即可拆下刷板17，固定杆23作用在水平方向，与刷板17具有位移趋势的方向垂直，稳固性高，便于拆装刷板17，也可避免外力的重合作用，即在刷板17受到使其具有位移趋势的力后，固定杆23也具有位移趋势。
在使用时，当硅片被固定后，硅片开始旋转，启动驱动马达2，使得驱动块4带动连板7移动，使得刷板17与硅片充分接触，避免刷板17出现局部损耗，当位于底部的刷板17使用一端时间后，可向外拔出卡板11，第一弹簧15被压缩，使得限位杆12从从动杆26中移出，即可使手转杆10转动一百八十度，使得位于顶部的刷板17旋转至底部，松开卡板11，使得限位杆12复位，清洁辊25被重新固定。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种单晶硅片抛光机用清洗刷，包括顶连板(1)，其特征在于：所述顶连板(1)的右侧固定连接有驱动马达(2)，所述顶连板(1)的内部转动连接有传动螺杆(3)，所述传动螺杆(3)的右端与驱动马达(2)的输出端固定连接，所述传动螺杆(3)的侧表面传动连接有驱动块(4)，所述顶连板(1)的内顶壁开设有限位滑道(5)，所述限位滑道(5)的内部固定连接有内杆(6)，所述驱动块(4)的底部固定连接有连板(7)，所述连板(7)底部的左侧固定连接有第一侧板(8)，所述连板(7)底部的右侧固定连接有第二侧板(9)，所述第二侧板(9)与第一侧板(8)之间设有清洁辊(25)，所述清洁辊(25)的左端固定连接有手转杆(10)，所述手转杆(10)与第一侧板(8)转动连接，所述清洁辊(25)的右端固定连接有从动杆(26)，所述第二侧板(9)的右侧设有卡板(11)，所述卡板(11)的右侧内壁固定连接有限位杆(12)，所述卡板(11)的左侧固定连接有滑杆(13)；
所述第二侧板(9)的内部开设有内槽(14)，所述滑杆(13)的侧表面固定连接有第一抵板(16)，所述第一抵板(16)与内槽(14)滑动连接，所述滑杆(13)的侧表面活动套接有第一弹簧(15)，所述第一弹簧(15)与第一抵板(16)抵持，所述清洁辊(25)的顶部和底部均开设有安装槽(18)，两个所述安装槽(18)中均搭接有刷板(17)，两个所述刷板(17)的左右两端均固定连接有定位板(19)，所述清洁辊(25)顶部和底部的左右两端均开设有凹槽(21)，所述凹槽(21)中滑动连接有固定杆(23)，所述固定杆(23)的侧表面固定连接有第二抵板(24)，所述固定杆(23)的侧表面活动套接有第二弹簧(22)，所述第二弹簧(22)与第二抵板(24)抵持，所述固定杆(23)与定位板(19)活动插接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光机用清洗刷，其特征在于：所述驱动块(4)的顶部窄于其底部，所述驱动块(4)的顶部延伸至限位滑道(5)中，所述驱动块(4)的顶部与内杆(6)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光机用清洗刷，其特征在于：所述限位杆(12)呈“十字形”，所述从动杆(26)的右端开设有限位槽，所述限位槽呈“十字形”，所述限位杆(12)与从动杆(26)活动插接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光机用清洗刷，其特征在于：两个所述刷板(17)互相平行设置。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光机用清洗刷，其特征在于：所述安装槽(18)的内底壁固定连接有定位杆(20)，所述定位板(19)与定位杆(20)活动插接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120140595.6U CN215278694U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片抛光机用清洗刷 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120140595.6U CN215278694U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片抛光机用清洗刷 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215278694U true CN215278694U (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=79529716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120140595.6U Expired - Fee Related CN215278694U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种单晶硅片抛光机用清洗刷 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215278694U (zh) |
-
2021
- 2021-01-19 CN CN202120140595.6U patent/CN215278694U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112025877B (zh) | 一种搓衣板制作设备 | |
| CN209811956U (zh) | 一种锂电池铝壳用高效打磨清灰装置 | |
| CN110897570A (zh) | 一种拖把用自动清理装置 | |
| CN213615807U (zh) | 一种压缩机生产用缸体内壁打磨装置 | |
| CN114602700B (zh) | 一种办公家具生产用喷涂装置及喷涂方法 | |
| CN215278694U (zh) | 一种单晶硅片抛光机用清洗刷 | |
| CN211266289U (zh) | 一种机械式电缆头加工辅助装置 | |
| CN209850641U (zh) | 一种微型轴承加工用抛光机 | |
| CN221109087U (zh) | 一种水泵配件快速清洗装置 | |
| CN218712505U (zh) | 一种道路施工用路面清扫装置 | |
| CN211890140U (zh) | 一种工程机械生产用钢件打磨装置 | |
| CN210075038U (zh) | 一种电机止口加工设备 | |
| CN210235980U (zh) | 一种便于清洁内壁残渣的化工物料存储罐 | |
| CN212145811U (zh) | 一种齿轮加工用的齿槽打磨装置 | |
| CN210499097U (zh) | 一种机床主轴装配工装 | |
| CN218083469U (zh) | 一种圆弧石材加工机 | |
| CN214516259U (zh) | 一种铣刀用清洗装置 | |
| CN220427989U (zh) | 一种无缝钢管拼接限位装置 | |
| CN216152139U (zh) | 一种便于组装式抛光刷 | |
| CN216097041U (zh) | 一种不锈钢板自动加工装置 | |
| CN218904588U (zh) | 一种铣刀打磨装置 | |
| CN215861650U (zh) | 一种易更换式马达减速机 | |
| CN218775226U (zh) | 一种电机驱动轴的清洁机构 | |
| CN221871419U (zh) | 一种玻璃磨边自动转向设备 | |
| CN219987092U (zh) | 一种黑色矩形管出料去毛刺装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211224 |