CN215232968U - 三氯氢硅生产的湿法除尘系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括洗涤器、气液分离器、喷淋塔、喷淋管和循环泵，洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过第一开口进入洗涤器内，气液分离器具有排气口和排液口，气液分离器与第二开口连通，喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，进气口与排气口连通，进液口与排液口连通，喷淋管的一端伸入洗涤器内，喷淋管的另一端与出液口连通，喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，循环泵设在喷淋管上，循环泵用于驱动喷淋塔内的液体通过喷淋管流入洗涤器内。本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统除除尘效果好，不易堵塞。

Description

三氯氢硅生产的湿法除尘系统

技术领域

本实用新型涉及三氯氢硅合成气的除尘技术领域，具体地，涉及一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统。

背景技术

多晶硅作为制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料，是发展信息产业和新能源产业的重要基石，多晶硅的生产需要消耗三氯氢硅，但三氯氢硅的生产会产生含尘的合成气，严重污染环境。

相关技术中的除尘系统包括干式除尘和湿法除尘，干式除尘包括式过滤器或陶瓷过滤器，除尘效率较低，微小颗粒不能被拦截，湿法除尘包括湿法除尘淋洗塔或筛板塔，存在冷凝器和管道易堵塞的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的实施例提出一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统除尘效果高，不易堵塞。

根据本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括：洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；气液分离器，所述气液分离器的底部具有排液口，所述气液分离器的顶部具有排气口，所述气液分离器与所述第二开口连通；喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。

根据本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，通过设置喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，可以使含尘气体与喷淋管喷出的液体接触更充分，提高除尘效率和除尘效果，避免部件(例如喷淋管和喷淋塔)堵塞。

在一些实施例中，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。

在一些实施例中，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。

在一些实施例中，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。

在一些实施例中，所述喷淋塔的顶部具有出气口，所述喷淋塔的侧壁具有第一回流口，所述第一回流口位于所述进气口的上方，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括冷凝器、供气管和回流管，所述供气管的一端与所述出气口连通，所述供气管的另一端与所述冷凝器的一端相连，所述回流管的一端与所述第一回流口连通，所述回流管的另一端与所述冷凝器的另一端相连。

在一些实施例中，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括精馏装置，所述精馏装置与所述冷凝器的另一端相连。

在一些实施例中，所述喷淋塔的侧壁还具有第二回流口，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括支管，所述支管的一端与所述第二回流口连通，所述支管的另一端与所述喷淋管连通，所述第二回流口位于所述进气口上方。

在一些实施例中，所述第二回流口位于所述进气口与所述第一回流口之间。

在一些实施例中，所述喷淋塔的底部具有容渣槽，所述喷淋塔内设有第一填料层和第二填料层，所述第一填料层位于所述第一回流口与所述第二回流口之间，所述第二填料层位于所述进气口与所述第二回流口之间。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统的示意图。

附图标记：

三氯氢硅生产的湿法除尘系统1；

洗涤器10；气液分离器20；喷淋塔30；第一填料层301；第二填料层302；容渣槽303；

喷淋管40；喷嘴401；供液管402；支管403；循环泵50；

冷凝器60；供气管601；回流管602；

精馏装置70。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示，根据本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统1包括洗涤器10、气液分离器20、喷淋塔30、喷淋管40和循环泵50。

洗涤器10具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过第一开口进入洗涤器10内。气液分离器20的顶部具有排气口，以及底部具有排液口，气液分离器20与第二开口连通，喷淋塔30具有进气口、进液口和出液口，进气口与排气口连通，进液口与排液口连通。

具体地，含尘气体通过第一开口流入洗涤器10中，经洗涤器10洗涤后形成气液混合物，气液混合物从第二开口流入气液分离器20中，气液分离器20可以将气液混合物分离成气体和液体，气体经进气口与排气口的连通流入喷淋塔30内，液体经进液口与排液口的连通流入喷淋塔30内。

喷淋管40的一端伸入洗涤器10内，喷淋管40的另一端与出液口连通，喷淋管40在洗涤器10内的喷射方向与含尘气体在洗涤器10内的流动方向相反。循环泵50设在喷淋管40上，循环泵50用于驱动喷淋塔30内的液体通过喷淋管40流入洗涤器10内。

可以理解的是，喷淋管40喷射出的液体可以与含尘气体接触，含尘气体内的粉尘或固体颗粒可以溶入液体中，从而完成对含尘气体的净化，且通过使喷淋管40的另一端与出液口相连，可以形成供液循环，实现三氯氢硅生产的湿法除尘系统1的稳定运行。

根据本实用新型实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，通过设置喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，可以使含尘气体与喷淋管喷出的液体接触更充分，提高除尘效率和除尘效果，避免部件(例如喷淋管和喷淋塔)堵塞。

在一些实施例中，如图1所示，喷淋管40包括供液管402和喷嘴401，供液管402的一端伸入洗涤器10内并与位于洗涤器10内的喷嘴401连接，供液管402的另一端与出液口连通。喷嘴401为锥形管或螺旋管。由此，喷嘴可以根据含尘气体的含尘量或固体颗粒的大小调节喷射效率或喷射密度，提高除尘效率，且将喷嘴设置成锥形管或螺旋管等大口径结构件，可以降低喷嘴堵塞的概率，提高三氯氢硅生产的湿法除尘系统的可靠性。

在一些实施例中，喷嘴401喷淋的作用面积与洗涤器10的横截面积相等。由此，喷嘴喷出的液体可以与洗涤器内通入的含尘气体充分接触，避免部分含尘气体净化不充分。

进一步地，喷嘴401可以为多个，多个喷嘴401可以在第一开口到第二开口的方向上(如图1所示的上下方向)间隔布置，从而进一步提高除尘可靠性。

在一些实施例中，如图1所示，出液口邻近喷淋塔30的底部。可以理解的是，喷淋塔30内的液体通过出液口流入喷淋管40中，出液口邻近喷淋塔30底部设置，可以在喷淋塔30内的液体容量减少时，尽可能保证喷淋管40内液体的供应，提高系统稳定性。

在一些实施例中，如图1所示，喷淋塔30的顶部设有出气口，喷淋塔30的侧壁设有第一回流口，第一回流口位于进气口的上方。三氯氢硅生产的湿法除尘系统1还包括冷凝器60、供气管601和回流管602，供气管601的一端与出气口连通，供气管601的另一端与冷凝器60的一端相连，回流管602的一端与第一回流口连通，回流管602的另一端与冷凝器60的另一端相连。

可以理解的是，气液分离器20内的气体经排气口和进气口流入喷淋塔30后，在喷淋塔30内向上流动并经出气口流入供气管601，气体通过供气管601流入冷凝器60处并形成冷凝液，冷凝液经回流管602和第一回流口流入喷淋塔30中，以在为喷淋塔30补充液体的同时，利用冷凝液对喷淋塔30降温。

另外，喷淋塔30内的气体在上升时可以与流入喷淋塔30内的冷凝液对流，从而对气体进行二次除尘，进一步提高除尘可靠性。

进一步地，如图1所示，三氯氢硅生产的湿法除尘系统1还包括精馏装置70，精馏装置70与冷凝器60的另一端相连。可以理解的是，冷凝器60形成的冷凝液一部分用作冷却液回流至喷淋塔30内，另一部分流入精馏装置70进行进一步分离。

在一些实施例中，如图1所示，喷淋塔30的侧壁还设有第二回流口，三氯氢硅生产的湿法除尘系统1还包括支管403，支管403的一端与第二回流口连通，支管403的另一端与喷淋管40连通，第二回流口位于进气口上方。由此，喷淋管内的部分液体可以经过支管和第二回流口回流至喷淋塔中，且由于第二回流口位于进气口的上方，回流至喷淋塔中的液体可以与上升的气体对流，从而可以再次对气体进行除尘，提高除尘可靠性，

进一步地，第二回流口位于进气口与第一回流口之间。如图1所示，进气口、第一回流口和第二回流口在上下方向上间隔布置，第一回流口位于第二回流口的上方，由此，第一回流口流出的冷凝液在喷淋塔内具有较长的流动距离，便于喷淋塔的降温。

在一些实施例中，如图1所示，喷淋塔30的底部具有容渣槽，以用于收容喷淋塔30内沉积的固体颗粒。喷淋塔30内设有第一填料层301和第二填料层302，第一填料层301位于第一回流口与第二回流口之间，从而使气体在流进第一填料层301时与冷凝液充分接触，提高除尘可靠性。第二填料层302位于进气口与第二回流口之间，从而使气体在流经第二填料层302时与第二回流口流出的液体充分接触，提高除尘可靠性。

下面参考图1描述根据本实用新型的一个具体示例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统1。

如图1所示，三氯氢硅生产的湿法除尘系统1包括洗涤器10、气液分离器20、喷淋塔30、冷凝器60、精馏装置70、喷淋管40、供气管601、回流管602、支管403和循环泵50。

洗涤器10呈圆管状，气体从洗涤器10的上端开口通入洗涤器10中，喷淋器的下端伸入气液分离器20内并与气液分离器20的内部空间连通。

喷淋塔30的侧壁具有进气口、进液口、第一回流口、第二回流口和出液口，喷淋塔30的顶端具有出气口，出液口、进气口、进液口、第二回流口、第一回流口和出气口从下到上依次且间隔布置，喷淋塔30的底部具有容渣槽303，第一回流口与第二回流口之间设有第一填料层301，第二回流口与进气口之间设有第二填料层302。

气液分离器20具有排气口和排液口，排气口与进气口连通，排液口与进液口连通，气液分离器20分离出的气体通过排气口和进气口的连通流入喷淋塔30内，气液分离器20分离出的液体通过排液口和进液口的连通进入喷淋塔30内。

喷淋管40包括供液管402和喷嘴401，喷嘴401位于洗涤器10内，供液管402的一端伸入洗涤器10内并与喷嘴401连通，供液管402的另一端与出液口连通，循环泵50设在供液管402上，以驱动喷淋塔30内的液体经喷淋管40流入洗涤器10内，含尘气体在洗涤器10内与液体接触后形成气液混合物，气液混合物经洗涤器10的下端开口流入气液分离器20内。

冷凝器60的一端通过供气管601与出气口连通，冷凝器60的另一端通过回流管602与第一回流口连通，且冷凝器60的另一端还与精馏装置70连通。第二回流口通过支管403与供液管402连通，供液管402内的一部分液体通过支管403回流至喷淋塔30内，供液管402内的另一部分液体由喷嘴401喷入洗涤器10，且喷嘴401的喷射方向与洗涤器10内气体的流向相对。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，包括：

洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；

气液分离器，所述气液分离器的底部具有排液口，所述气液分离器的顶部具有排气口，所述气液分离器与所述第二开口连通；

喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；

喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；

循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的顶部具有出气口，所述喷淋塔的侧壁具有第一回流口，所述第一回流口位于所述进气口的上方，

所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括冷凝器、供气管和回流管，所述供气管的一端与所述出气口连通，所述供气管的另一端与所述冷凝器的一端相连，所述回流管的一端与所述第一回流口连通，所述回流管的另一端与所述冷凝器的另一端相连。

6.根据权利要求5所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，还包括精馏装置，所述精馏装置与所述冷凝器的另一端相连。

7.根据权利要求5所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的侧壁还具有第二回流口，

所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括支管，所述支管的一端与所述第二回流口连通，所述支管的另一端与所述喷淋管连通，所述第二回流口位于所述进气口上方。

8.根据权利要求7所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述第二回流口位于所述进气口与所述第一回流口之间。

9.根据权利要求8所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的底部具有容渣槽，所述喷淋塔内设有第一填料层和第二填料层，所述第一填料层位于所述第一回流口与所述第二回流口之间，所述第二填料层位于所述进气口与所述第二回流口之间。

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