CN215218914U - 探针 - Google Patents

Abstract

提供高精度地测定多极连接器的高频特性的探针。探针(1)用于测定具有多个内部端子(6b)的多极连接器(6)，且具备：凸缘(10)；测定用连接器(60)，其具有多个构成为能够相对于内部端子(6b)嵌合的测定端子(62)；以及柱塞(20)，其将测定用连接器(60)保持为能够相对于凸缘(10)进退。

Description

探针

技术领域

本实用新型涉及用于测定多极连接器的探针。

背景技术

多极连接器的多个内部端子的特性(例如，高频特性)例如使用专利文献1所公开的探针同时测定。

在使用专利文献1的探针测定多极连接器的特性时，使探针的多个测定端子的各末端部分别朝向测定对象的多个内部端子移动，并在内部端子的测定位置(例如，图14的上表面位置7)分别接触。

专利文献1：日本特开2019-138768号公报

在测定时，探针的测定端子的末端部没有与内部端子嵌合，而仅在应该测定的多个内部端子的测定位置接触。即，一对多极连接器的内部端子的相互接触位置是位于比上表面位置靠深处的内部端子的嵌合位置，相对于此，由探针形成的接触位置是在测定时与测定端子面对面的上表面位置。

由于探针由形成的接触位置大幅远离内部端子的嵌合位置，所以存在不易高精度地测定高频特性的情况。特别是，对于与更高频侧(例如，毫米波)对应的多极连接器而言，由探针形成的接触位置与内部端子的嵌合位置之间的这样的较大的错位对特性的测定结果带来影响。因此，期望高精度地测定多极连接器的高频特性的探针。

实用新型内容

因此，本实用新型应该解决的技术课题在于提供高精度地测定多极连接器的高频特性的探针。

为了解决上述技术课题，根据本实用新型，提供以下的探针。

即，本实用新型的技术方案1所涉及的探针是用于对具有多个内部端子的多极连接器进行测定的探针，其特征在于，具备：

凸缘；

测定用连接器，其具有多个构成为能够与上述内部端子嵌合的测定端子；和

柱塞，其将上述测定用连接器保持为能够相对于上述凸缘进退。

也可以是，设置有相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力的多个弹性构件。

也可以是，在俯视时，所述多个弹性构件在周向上分离配置并包围所述测定用连接器。

也可以是，设置有相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力的弹性构件，在俯视时，所述弹性构件配置为包围与所述测定端子连接的传送路径。

也可以是，所述测定用连接器是多极连接器，且具备第1绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并作为所述测定端子发挥作用的多个第1内部端子、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子。

也可以是，所述测定端子是具有形成为能够与所述内部端子的凹形状嵌合的凸形状的端子，或者是具有接受凸形状的所述内部端子的凹形状的端子。

也可以是，所述测定用连接器在安装于所述柱塞的安装基板上安装。

也可以是，所述安装基板在与所述测定用连接器相反侧的面上具有与所述测定用连接器电连接的相反侧连接器。

也可以是，所述安装基板是具有刚性的印刷基板。

也可以是，具有柔性基板，所述柔性基板作为与所述测定端子连接的传送路径发挥作用。

也可以是，具有作为所述传送路径发挥作用的同轴线缆。

也可以是，在所述凸缘和所述柱塞分别形成有用于贯穿所述传送路径的贯通孔。

本实用新型的另一技术方案是一种探针，具备：

测定用连接器，其具备多个测定端子、保持所述多个测定端子的第1 绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子，且所述测定用连接器作为多极连接器而构成；

柱塞，其在末端面配设所述测定用连接器，并具有用于贯穿与所述测定端子电连接的传送路径的第2贯通孔；

凸缘，其具有第1贯通孔，在俯视时，所述第1贯通孔与所述第2贯通孔重叠，且用于贯穿所述传送路径；以及

多个弹性构件，其相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力，

在俯视时，所述多个弹性构件在周向上分离配置并包围所述测定用连接器。

也可以是，具有作为所述传送路径发挥作用的柔性基板。

也可以是，在所述凸缘上设置有收容多个所述弹性构件的收容孔。

也可以是，还具有分别插通于多个所述弹性构件的多个螺钉。

本实用新型的又一技术方案是一种探针，具备：

测定用连接器，其具备多个测定端子、保持所述多个测定端子的第1 绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子，且所述测定用连接器作为多极连接器而构成；

柱塞，其在末端面配设所述测定用连接器，并具有用于贯穿与所述测定端子电连接的传送路径的第2贯通孔；

凸缘，其具有第1贯通孔，在俯视时，所述第1贯通孔与所述第2贯通孔重叠，且用于贯穿所述传送路径；以及

弹性构件，其相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力，

在俯视时，所述弹性构件包围所述传送路径地配置。

也可以是，具有作为所述传送路径发挥作用的同轴线缆。

也可以是，还具有位于所述弹性构件与所述柱塞之间的间隔件，所述弹性构件与所述间隔件的端面抵接。

也可以是，所述柱塞具备多个弹簧销，各所述弹簧销分别与所述测定用连接器的各测定端子电连接。

根据本实用新型，测定用连接器具有构成为能够与内部端子嵌合的测定端子，由此，由探针形成的接触位置接近内部端子的嵌合位置，因此，能够高精度地测定多极连接器的高频特性。

附图说明

图1是本实用新型的第1实施方式所涉及的探针的立体图。

图2是图1所示的探针的在凸缘10、柱塞螺钉27处剖切的截面的立体图。

图3是将图2的主要部分放大的剖视图。

图4是对柱塞后退的状态进行说明的将主要部分放大的剖视图。

图5是本实用新型的第2实施方式所涉及的探针的立体图。

图6是图5所示的探针的分解立体图。

图7是图5的主要部分放大图。

图8是对图7所示的探针中柱塞与安装基板之间的关系进行说明的立体图。

图9是图8所示的安装基板的放大图。

图10是对安装基板与测定用连接器之间的关系进行说明的立体图。

图11是图8所示的柱塞的在一个柱塞筒插入孔21处剖切的截面的放大立体图。

图12是对图5所示的探针的第1变形例进行说明的图。

图13是对图5所示的探针的第2变形例进行说明的图。

图14是示意性地对多极连接器与测定用连接器之间的嵌合状态进行说明的剖视图。

附图标记说明

1...探针；5...测定夹具；6...多极连接器(测定对象物)；6a...第2绝缘性构件；6b...第2内部端子(内部端子)；6c...第2外部端子；7...上表面位置；9...嵌合位置；10...凸缘；12...第1贯通孔(贯通孔)；15...间隔件；16... 柱塞筒支承板；17...线缆插入体；18...收容孔；19...螺旋弹簧(弹性构件)； 20...柱塞；21...柱塞筒插入孔；22...第2贯通孔(贯通孔)；24...螺钉插入孔；25...螺孔；26...锥形部；27...柱塞螺钉；28...头部；30...安装基板；31... 连接盘；32...缝隙；33...相反侧连接器；33a...第3绝缘性构件；33b...第3 内部端子；33c...第3外部端子；34...连接焊盘；36...基板安装孔；37...基板安装螺钉；41...柔性基板(传送路径)；42...同轴连接器；43...接续连接器；43a...第4绝缘性构件；43b...第4内部端子；43c...第4外部端子；60... 测定用连接器；61...第1绝缘性构件；62...第1内部端子(测定端子)；63... 第1外部端子；70...同轴线缆(传送路径)；71...芯线；72...绝缘体；73... 外导体；74...外皮；80...弹簧销；82...末端衬套；83...基端衬套；84...柱塞筒；85...可动销；86...中央插口；90...SMA连接器。

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型所涉及的用于测定具有多个内部端子 6b的多极连接器6的探针1的实施方式进行说明。

〔第1实施方式〕

参照图1～图4和图14，对第1实施方式所涉及的探针1进行说明。图1是本实用新型的第1实施方式所涉及的探针1的立体图。图2是沿着图1所示的探针1的II-II线的截面的立体图。图3是将图2的主要部分放大的剖视图。图4是对柱塞后退的状态进行说明的将主要部分放大的剖视图。图14是示意性地对多极连接器6与测定用连接器60之间的嵌合状态进行说明的剖视图。

如图1～图4所示，探针1具备凸缘10、柱塞20、安装基板30、测定用连接器60、柔性基板41。

凸缘10是用于将探针1安装于未图示的连接器测定用装置的构件。凸缘10例如是成为矩形状的平板体。凸缘10由金属材料例如不锈钢构成。在凸缘10分别形成有沿轴向延伸的第1贯通孔12和收容孔18。第1贯通孔12是用于贯穿柔性基板(传送路径)41的贯通孔。收容孔18具有：与柱塞螺钉27旋合的内螺纹部；和收容螺旋弹簧19的收容部。在凸缘 10处例如设置有两个收容孔18。在柱塞20处形成有内螺纹孔。此外，也可以是，凸缘10的形状不是矩形状，而是长圆状或者是组合矩形状和圆弧状而成的形状。

柱塞20是用于将测定用连接器60保持为相对于凸缘10能够弹性地进退的构件。由此，对于在安装于柱塞20的安装基板30安装的测定用连接器60而言，通过作为弹性构件的螺旋弹簧19，能够在轴向上弹性地进退。换言之，螺旋弹簧19相对于凸缘10对测定用连接器60施力。柱塞 20例如是成为矩形状的平板体。柱塞20由金属材料例如不锈钢构成。在柱塞20上分别形成有在轴向上延伸的第2贯通孔22和螺钉插入孔24。第2贯通孔22是用于贯穿柔性基板(传送路径)41的贯通孔。由此，柔性基板(传送路径)41的长度变短，因此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

螺钉插入孔24具有：插通柱塞螺钉27的螺纹部的贯通孔部；和与柱塞螺钉27的头部28卡合的锥形部26。柱塞螺钉27例如是头部28的上表面平坦且承面成为圆锥状的平头螺钉。柱塞螺钉27的外螺纹部旋合于柱塞20的内螺纹孔。螺钉插入孔24设置于在轴向上与收容孔18为同一直线的位置。例如两个螺钉插入孔24设置于柱塞20。锥形部26朝向凸缘10相反侧末尾扩张地扩径。

在插通了柱塞螺钉27的状态下，螺旋弹簧19配设于凸缘10与柱塞 20之间。螺旋弹簧19是在轴向上延伸的螺旋状的弹性体。在俯视时，两个螺旋弹簧19在周向上分离配置并包围测定用连接器60。图2中，配置有两个螺旋弹簧19，但也可以是，在俯视时，三个以上的螺旋弹簧19在周向上分离配置并包围测定用连接器60。由此，测定用连接器60能够不偏颇地均衡地进退。

柱塞螺钉27的外螺纹部旋合于凸缘10的内螺纹部而螺纹固定。并且，柱塞螺钉27的头部28与柱塞20的锥形部26卡合而抵接。此时，柱塞 20由于螺旋弹簧19的轴向的作用力而处于前进位置。

在柱塞20的下表面安装有安装基板30。例如，基板安装螺钉37插通于安装基板30的基板安装孔36并与柱塞20的螺孔25旋合，由此，安装基板30通过螺纹固定安装于柱塞20。

安装基板30是在电绝缘性的绝缘基材的上表面、下表面、内部施加有导体的布线的所谓的PCB(Printed Circuit Board)。安装基板30是具有刚性的基板，例如是玻璃环氧基板、低温同时烧制陶瓷基板(LTCC)等。由此，安装基板30的测定用连接器60的位置稳定，能够高精度地进行测定用连接器60相对于多极连接器6的定位。

在安装基板30的下表面形成有多个(例如三个的)下表面侧的焊盘。并经由下表面侧的焊盘而安装有测定用连接器60。由此，测定用连接器 60的设置变容易，测定用连接器60的测定端子62的引出变容易。

在安装基板30的上表面形成有多个(例如三个的)上表面侧的焊盘。经由上表面侧的焊盘而安装有相反侧连接器33。在安装基板30上形成有将上表面侧的焊盘和下表面侧的焊盘电连接的连接导体例如贯通孔(未图示)。测定用连接器60和相反侧连接器33经由安装基板30的下表面侧的焊盘、上表面侧的焊盘和贯通孔而电连接。测定用连接器60和相反侧连接器33设置于与柱塞20的第2贯通孔22对应的部位。

如图4所示，作为测定对象物的多极连接器6被安装于测定夹具5。多极连接器6具备：树脂等的第2绝缘性构件6a、受第2绝缘性构件6a 保持的多个第2内部端子6b、受第2绝缘性构件6a保持并接地的第2外部端子6c。第2内部端子6b是成为测定对象的内部端子。

测定用连接器60例如具有用于与多极连接器6嵌合的多极连接器的结构。若多极连接器6为阳连接器，则测定用连接器60为阴连接器，若多极连接器6为阴连接器，则测定用连接器60为阳连接器。测定用连接器60具备：树脂等的第1绝缘性构件61、受第1绝缘性构件61保持的多个第1内部端子62、受第1绝缘性构件61保持并接地的第1外部端子 63。由此，由于分别为具有多极连接器构造的多极连接器6和测定用连接器60之间的嵌合，所以能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

也可以构成为，测定用连接器60的第1外部端子63和多极连接器6 的第2外部端子6c嵌合。此处所说的嵌合也可以是形成于一侧的凸部和形成于另一侧的凹部咬合那样的具有所谓锁定机构的强嵌合，也可以是在平面上另一侧与一侧相互摩擦并且插入一侧的弱嵌合。若为具有锁定机构的强嵌合，则能够抑制嵌合时的窜动，因此，能够更高精度地测定特性。若不具有锁定机构而是相互摩擦并且插入的弱嵌合，则能够顺利地进行连接器的插拔，因此，能够更高效地测定。此外，测定用连接器60的第1 内部端子(测定端子)62与多极连接器6的第2内部端子(内部端子) 6b之间的嵌合也同样可以是强嵌合，也可以是弱嵌合。

在测定用连接器60中，多个第1内部端子62中规定数量的(例如三个)第1内部端子62作为测定端子62发挥作用。测定用连接器60的第 1内部端子(测定端子)62构成为能够与多极连接器6的第2内部端子 6b嵌合。探针1向多极连接器6接触的接触位置接近多极连接器6的第2 内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9(图14中图示)。由此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。此外，图14中除了图示出第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9，还图示出供现有技术所涉及的探针接触的第2内部端子(内部端子)6b的上表面位置7。

作为测定用连接器60，也能够使用仅以同成为测定对象的第2内部端子6b嵌合作为目的的专用连接器，能够使用与同多极连接器6嵌合的对象连接器相同种类的连接器。在前者的情况下，基于专用连接器的嵌合不是必须与基于多极连接器6的对象连接器的嵌合相同，因此，也存在以下情况，即，即便专用连接器的测定端子与第2内部端子6b嵌合，两者的接触位置也不会相对于第2内部端子6b的嵌合位置9错位。在后者的情况下，与第1内部端子(测定端子)62嵌合的第2内部端子(内部端子)6b的接触位置和多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9相同，并与多极连接器6的实际的使用方式一致。由此，由测定端子62形成的接触位置与第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9之间的较大的错位得到消除，因此，能够更高精度地测定多极连接器6的高频特性。换言之，能够抑制由测定端子62形成的接触位置与第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9之间的错位，因此，能够更高精度地测定多极连接器6的高频特性。

测定用连接器60的测定端子62经由传送路径而与未图示的测定器 (例如网络分析仪)电连接。从测定用连接器60朝向测定器的传送路径由安装基板30的贯通孔、相反侧连接器33和柔性基板41等构成。

相反侧连接器33设置在安装基板30上，且在测定用连接器60的相反侧设置。作为相反侧连接器33，虽也能够使用专用连接器，但也能够使用与测定用连接器60相同种类的连接器。由此，测定系统中使用的连接器共用化，能够减少测定系统的部件数量。相反侧连接器33具备：树脂等的第3绝缘性构件33a、受第3绝缘性构件33a保持的多个第3内部端子33b、受第3绝缘性构件33a保持并接地的第3外部端子33c。因此，安装基板30在与测定用连接器60相反侧的面具有与测定用连接器60电连接的相反侧连接器33。由此，通过在安装基板30中与测定用连接器60 的相反侧设置的相反侧连接器33，能够取出测定信号，测定信号的取出变容易。

作为传送路径发挥作用的柔性基板41是例如在聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙酯或者LCP(Liquid Crystal Polymer)等较薄的树脂膜上形成有印刷导体电路的所谓的FPC(Flexible Printed Circuit)。柔性基板41也可以具有在电绝缘性的基底膜上形成粘合层并在粘合层上形成有导体箔的构造，也可以具有通过一并层叠形成了导体图案的基底膜彼此而不经由粘合剂地接合的层叠构造。柔性基板41具有柔软性，因此，例如能够以曲柄状折弯。柔性基板41在沿着第2贯通孔22和第1贯通孔12在轴向上延伸之后，以约90度的角度弯曲，并在与轴正交的方向上延伸。由于作为传送路径发挥作用的柔性基板41具有柔软性，所以传送路径的配置不易受到限制。

柔性基板41在一端具有接续连接器43，并且在另一端具有多个(例如三个)同轴连接器42。对于同轴连接器42，连接有未图示的同轴线缆，该同轴线缆与未图示的测定器(例如网络分析仪)连接。探针1通过多个 (例如三个的)第1内部端子(测定端子)62，能够同时测定设置于多极连接器6的多个(例如三个的)第2内部端子(内部端子)6b。

柔性基板41的接续连接器43构成为与安装基板30的相反侧连接器 33嵌合。作为接续连接器43，虽也能够使用专用连接器，但也能够使用与多极连接器6相同种类的连接器。由此，测定系统中使用的连接器共用化，能够减少测定系统的部件数量。接续连接器43具备：树脂等的第4 绝缘性构件43a、受第4绝缘性构件43a保持的多个第4内部端子43b、受第4绝缘性构件43a保持并接地的第4外部端子43c。

如图4所示，在柱塞20向压缩螺旋弹簧19的方向移动时，柱塞20 接近凸缘10而位于后退位置。然而，柱塞螺钉27通过螺纹固定而固定于凸缘10，因此，柱塞螺钉27的位置没有变化。因此，在柱塞20处于后退位置时，在头部28和锥形部26之间形成有缝隙32。而且，头部28和锥形部26的卡合和抵接解除，因此，柱塞20能够在与轴向正交的平面上自由移动。由此，柱塞20进而测定用连接器60能够在与轴向正交的平面上位移。在后退位置处，测定用连接器60能够与多极连接器6的位置对应地位移，因此，能够高精度地进行测定用连接器60相对于多极连接器 6的定位。

因此，根据上述结构，测定用连接器60具有构成为能够与多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b嵌合的第1内部端子(测定端子) 62，从而由探针1形成的接触位置接近第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9，因此，能够高精度地测量多极连接器6的高频特性。

此外，在本实施方式中，第1内部端子(测定端子)62是凸形状的端子，第2内部端子(内部端子)6b具有凹形状，且第1内部端子(测定端子)62和第2内部端子(内部端子)6b利用凸形状和凹形状彼此嵌合，但是，在其它实施方式中，也可以是第1内部端子(测定端子)62和第2内部端子(内部端子)6b的形状互换，例如，第1内部端子(测定端子)62是凹形状的端子，第2内部端子(内部端子)6b具有凸形状，且第1内部端子(测定端子)62和第2内部端子(内部端子)6b利用凹形状和凸形状彼此嵌合。

〔第2实施方式〕

参照图5～图11，对第2实施方式所涉及的探针1进行说明。图5是本实用新型的第2实施方式所涉及的探针1的立体图。图6是图5所示的探针1的分解立体图。图7是图5的主要部分放大图。图8是对图7所示的探针1中柱塞20与安装基板30之间的关系进行说明的立体图。图9是图8所示的安装基板30的放大图。图10是对安装基板30与测定用连接器60之间的关系进行说明的立体图。图11是沿着图8所示的柱塞20的 V-V线的截面的放大立体图。

如图5～图11所示，探针1具备凸缘10、柱塞20、安装基板30、测定用连接器60、同轴线缆70。

凸缘10是用于将探针1安装于未图示的连接器测定用夹具的构件。凸缘10是例如成为矩形状的平板体。凸缘10由金属材料例如不锈钢构成。在凸缘10形成有在轴向上延伸的第1贯通孔12。第1贯通孔12是用于经由圆筒状的线缆插入体17而穿过多个同轴线缆(传送路径)70的贯通孔。由此，传送路径中作为信号线路发挥作用的芯线71被单独的外导体73覆盖(换句话说，具有单独的同轴构造)，因此，多个信号线路的隔离性提高，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。此外，凸缘10的形状不仅是矩形状，也可以是长圆状或者是组合矩形状和圆弧状而成的形状。

柱塞20是用于将测定用连接器60保持为相对于凸缘10能够弹性地进退的构件。由此，对于在安装于柱塞20的安装基板30安装的测定用连接器60而言，通过作为弹性构件的螺旋弹簧19，能够在轴向上弹性地进退。换言之，螺旋弹簧19相对于凸缘10对测定用连接器60施力。柱塞 20是由金属材料例如不锈钢构成的块体。在柱塞20形成有分别在轴向上延伸的多个(例如，六个)柱塞筒插入孔21和多个(例如，四个)螺孔 25。柱塞筒插入孔21是用于插入柱塞筒84的贯通孔。螺孔25是与基板安装螺钉37的螺纹部旋合的内螺纹。

在插通了线缆插入体17的状态下，螺旋弹簧19在凸缘10与隔着间隔件15的柱塞20之间配设。螺旋弹簧19是在轴向上延伸的螺旋状的弹性体。在俯视时，螺旋弹簧19配置为，连续地包围与测定端子62连接的同轴线缆(传送路径)70。由此，测定用连接器60能够无偏颇地均衡地进退。

螺旋弹簧19的一端在第1贯通孔12中卡止。并且，螺旋弹簧19的另一端与间隔件15的端面抵接。此时，柱塞20由于螺旋弹簧19的轴向的作用力而位于前进位置。若使柱塞20朝向凸缘10移动，则螺旋弹簧 19被压缩，并且柱塞20位于后退位置。因此，柱塞20能够相对于凸缘 10弹性地进退。

在柱塞20的下表面安装有安装基板30。例如，通过将基板安装螺钉 37插通于安装基板30的基板安装孔36并与柱塞20的螺孔25旋合，从而将安装基板30通过螺纹固定安装于柱塞20。

如图9所示，在安装基板30的下表面(安装面)形成有多个(例如 22个)连接焊盘34。经由连接焊盘34将测定用连接器60安装于安装基板30的下表面(安装面)。如图10所示，在安装基板30的上表面(安装面的相反侧的面)形成有多个(例如六个的)连接盘31。图9所示的弹簧销80的可动销85同连接盘31弹性抵接。由此，弹簧销80和连接盘 31电连接。在安装基板30形成有将连接焊盘34和连接盘31电连接的贯通孔(未图示)。由此，测定用连接器60和弹簧销80经由安装基板30的连接焊盘34、连接盘31和贯通孔而电连接。

测定用连接器60构成为与多极连接器(未图示)嵌合。若多极连接器为阳连接器，则测定用连接器60为阴连接器，若多极连接器为阴连接器，则测定用连接器60为阳连接器。如图8所示，测定用连接器60具备：树脂等的第1绝缘性构件61、受第1绝缘性构件61保持的多个第1内部端子62、受第1绝缘性构件61保持并接地的第1外部端子63。

在测定用连接器60中，多个第1内部端子62中的规定数量的(例如六个)第1内部端子62作为测定端子62发挥作用。测定用连接器60的第1内部端子(测定端子)62构成为能够与多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b嵌合。探针1向多极连接器6接触的接触位置，接近多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置9。由此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

作为测定用连接器60，也能够使用仅以相对于成为测定对象的第2 内部端子6b的嵌合作为目的的专用连接器，能够使用与和多极连接器6 嵌合的对象连接器相同种类的连接器。在前者的情况下，基于专用连接器的嵌合不一定与基于多极连接器6的对象连接器的嵌合相同，因此，也存在以下情况，即，即便专用连接器的测定端子与第2内部端子6b嵌合，两者的接触位置也不会相对于第2内部端子6b的嵌合位置9错位。在后者的情况下，与第1内部端子(测定端子)62嵌合的第2内部端子(内部端子)6b的接触位置和多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b 的嵌合位置9相同，并与多极连接器6的实际的使用方式一致。由此，由测定端子62形成的接触位置与第2内部端子(内部端子)6b的嵌合位置 9之间的较大的错位得到消除，因此，能够更高精度地测定多极连接器6 的高频特性。

测定用连接器60的测定端子62经由传送路径而与未图示的测定器 (例如网络分析仪)电连接。从测定用连接器60朝向测定器的传送路径由安装基板30的贯通孔、弹簧销80、同轴线缆70和SMA连接器90等构成。

柱塞筒84例如压入并固定于柱塞筒插入孔21中。在柱塞筒84中，弹簧销80由末端衬套82和基端衬套83支承。弹簧销80被称为弹簧探针或者接触探针，由可动销85、筒管和弹簧构成。弹簧销80的可动销85 构成为在轴向上能够弹性进退，且比柱塞20的下表面稍微突出。

作为传送路径发挥作用的同轴线缆70具有导电性的芯线71、覆盖芯线71的电绝缘性的绝缘体72、覆盖绝缘体72的外导体73、覆盖外导体 73的电绝缘性的外皮74。弹簧销80的筒管的基端部经由中央插口86而相对于同轴线缆70的芯线71电连接。作为传送路径发挥作用的同轴线缆 70具有柔软性，因此，传送路径的配置不易受到限制。

如图6所示，多个柱塞筒84的基端部由柱塞筒支承板16集中和支承。如图5所示，在同轴线缆70的与弹簧销80相反侧配设有SMA连接器90。该SMA连接器90与未图示的测定器(例如网络分析仪)连接。探针1 通过多个(例如六个)第1内部端子(测定端子)62，能够同时测定设置于多极连接器6的多个(例如六个)第2内部端子(内部端子)6b。

因此，根据上述结构，测定用连接器60具有构成为能够与多极连接器6的第2内部端子(内部端子)6b嵌合的第1内部端子(测定端子) 62，由此，由探针1形成的接触位置接近第2内部端子(内部端子)6b 的嵌合位置9，因此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

〔第1变形例〕

参照图12，对第1变形例所涉及的探针1进行说明。图12是对图5 所示的探针1的第1变形例进行说明的图。

在上述第2实施方式中，在设置于安装基板30的四个角的基板安装孔36与设置于柱塞20的四个角的螺孔25对位的状态下，使用四个基板安装螺钉37，将安装基板30固定于柱塞20。相对于此，在图12所示的第1变形例中，在设置于安装基板30左右侧部的基板安装孔36与设置于柱塞20左右侧部的螺孔25对位的状态下，使用两个基板安装螺钉37，将安装基板30固定于柱塞20。由此，能够实现安装基板30相对于柱塞 20安装的构造的简化和安装基板30的更换作业时间的缩短化。

〔第2变形例〕

参照图13，对第2变形例所涉及的探针1进行说明。图13是对图5 所示的探针1的第2变形例进行说明的图。

在上述第1变形例中，在安装基板30和柱塞20的各自左右侧部中，使用两个基板安装螺钉37，将安装基板30固定于柱塞20。相对于此，在图13所示的第2变形例中，在安装基板30和柱塞20的各自上下侧部中，使用两个基板安装螺钉37，将安装基板30固定于柱塞20。由此，能够实现安装基板30相对于柱塞20安装的构造的简化和安装基板30的更换作业时间的缩短化。

对本实用新型的具体的实施方式进行了说明，但本实用新型不限定于上述实施方式，能够在本实用新型的范围内进行各种变更而实施。

在上述第1实施方式和第2实施方式中，虽柔性基板41穿过凸缘10 的第1贯通孔12和柱塞20的第2贯通孔22而引出，但也能够通过其他方式引出柔性基板41。例如，在凸缘10和柱塞20的至少一者中，形成在与轴正交的方向(横向)上延伸的槽(未图示)，并能够穿过该槽而引出柔性基板41。

相反侧连接器33、接续连接器43和测定用连接器60能够从多极连接器6和与多极连接器6嵌合的对象连接器中适当地选择。另外，测定用连接器60也能够成为以下方式，即，构成为几个第1内部端子(测定端子)62同测定对象的第2内部端子(内部端子)6b嵌合但除此以外的第 1内部端子62不与测定对象外的第2内部端子6b嵌合这种局部嵌合。相反侧连接器33和接续连接器43也能够成为与多极连接器6不具有嵌合关系的各异的连接器的方式。

若总结本实用新型和实施方式，则如以下那样。

本实用新型的一方式所涉及的探针1用于测定具有多个内部端子6b 的多极连接器6，上述探针1的特征在于，具备：

凸缘10；

测定用连接器60，其具有多个构成为能够与上述内部端子6b嵌合的测定端子62；以及

柱塞20，其将上述测定用连接器60保持为能够相对于上述凸缘10 进退。

根据上述结构，测定用连接器60具有构成为能够相对于多极连接器 6的内部端子6b嵌合的测定端子62，由此由探针1形成的接触位置接近内部端子6b的嵌合位置9，因此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

另外，在一个实施方式的探针1中，

设置有相对于上述凸缘10对上述测定用连接器60施力的多个弹性构件19。

根据上述实施方式，测定用连接器60能够弹性进退。

另外，在一个实施方式的探针1中，

在俯视时，上述多个弹性构件19在周向上分离配置并包围上述测定用连接器60。

根据上述实施方式，测定用连接器60能够无偏颇地均衡地进退。

另外，在一个实施方式的探针1中，

设置有相对于上述凸缘10对上述测定用连接器60施力的弹性构件 19，在俯视时，上述弹性构件19配置为包围与上述测定端子62连接的传送路径70。

根据上述实施方式，测定用连接器60能够无偏颇地均衡地进退。

另外，在一个实施方式的探针1中，

上述测定用连接器60是多极连接器，且具备第1绝缘性构件61、受上述第1绝缘性构件61保持并作为上述测定端子62发挥作用的多个第1 内部端子62、受上述第1绝缘性构件61保持并接地的第1外部端子63。

根据上述实施方式，分别为具有多极连接器构造的多极连接器6和测定用连接器60之间的嵌合，因此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

另外，在一个实施方式的探针1中，

上述测定用连接器60在安装于上述柱塞20的安装基板30上安装。

根据上述实施方式，测定用连接器60的安装变容易，测定用连接器 60的测定端子62的引出变容易。

另外，在一个实施方式的探针1中，

上述安装基板30在与上述测定用连接器60相反侧的面上具有与上述测定用连接器60电连接的相反侧连接器33。

根据上述实施方式，能够通过在安装基板30中与测定用连接器60的相反侧设置的相反侧连接器33而取出测定信号，测定信号的取出变容易。

另外，在一个实施方式的探针1中，

上述安装基板30是具有刚性的印刷基板。

根据上述实施方式，安装基板30的测定用连接器60的位置稳定，能够高精度地进行测定用连接器60相对于多极连接器6的定位。

另外，在一个实施方式的探针1中，

具有柔性基板41，上述柔性基板41作为与上述测定端子62连接的传送路径发挥作用。

根据上述实施方式，作为传送路径发挥作用的柔性基板41具有柔软性，因此，传送路径的配置不易受到限制。

另外，在一个实施方式的探针1中，

具有作为上述传送路径发挥作用的同轴线缆70。

根据上述实施方式，作为传送路径发挥作用的同轴线缆70具有柔软性，因此，传送路径的配置不易受到限制。

另外，在一个实施方式的探针1中，

在上述凸缘10和上述柱塞20分别形成有用于贯穿上述传送路径的贯通孔12、22。

根据上述实施方式，传送路径41、70的长度变短，因此，能够高精度地测定多极连接器6的高频特性。

本实用新型的其他方面所涉及的探针1的特征在于，具备：

测定用连接器60，其具备多个测定端子62、保持上述多个测定端子 62的第1绝缘性构件61、受上述第1绝缘性构件61保持并接地的第1外部端子63，且上述测定用连接器60作为多极连接器而构成；

柱塞20，其在末端面配设上述测定用连接器60，并具有用于贯穿与上述测定端子62电连接的传送路径41的第2贯通孔22；

凸缘10，其具有第1贯通孔12，在俯视时上述第1贯通孔12与上述第2贯通孔22重叠，且用于贯穿上述传送路径41；以及

多个弹性构件19，其相对于上述凸缘10对上述测定用连接器60施力，

在俯视时，上述多个弹性构件19在周向上分离配置并包围上述测定用连接器60。

根据上述结构，由测定端子62形成的接触位置接近测定端子62的嵌合位置9，并且测定用连接器60没有偏颇地均衡地弹性进退，因此，能够高精度地测定测定对象物(多极连接器)6的高频特性。

另外，在一个实施方式的探针1中，

具有作为上述传送路径发挥作用的柔性基板41。

根据上述实施方式，设置有传送路径的柔性基板41具有柔软性，因此，传送路径的配置不易受到限制。

本实用新型的其他方面所涉及的探针1的特征在于，具备：

测定用连接器60，其具备多个测定端子62、保持上述多个测定端子 62的第1绝缘性构件61、受上述第1绝缘性构件61保持并接地的第1外部端子63，且上述测定用连接器作为多极连接器而构成；

柱塞20，其在末端面配设上述测定用连接器60，并具有用于贯穿与上述测定端子62电连接的传送路径70的第2贯通孔22；

凸缘10，其具有第1贯通孔12，在俯视时上述第1贯通孔12与上述第2贯通孔22重叠，且用于贯穿上述传送路径70；以及

弹性构件19，其相对于上述凸缘10推压上述测定用连接器60，

在俯视时，上述弹性构件19配置为包围上述传送路径70。

根据上述结构，由测定端子62形成的接触位置接近测定端子62的嵌合位置9，并且测定用连接器60无偏颇地均衡地弹性进退，因此，能够高精度地测定测定对象物(多极连接器)6的高频特性。

另外，在一个实施方式的探针1中，

具有作为上述传送路径发挥作用的同轴线缆70。

根据上述实施方式，作为传送路径发挥作用的同轴线缆70具有柔软性，因此，传送路径的配置不易受到限制。

Claims (20)

1.一种探针，用于测定具有多个内部端子的多极连接器，所述探针的特征在于，具备：

凸缘；

测定用连接器，其具有多个构成为能够与所述内部端子嵌合的测定端子；以及

柱塞，其将所述测定用连接器保持为能够相对于所述凸缘进退。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

设置有相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力的多个弹性构件。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

在俯视时，所述多个弹性构件在周向上分离配置并包围所述测定用连接器。

4.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

设置有相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力的弹性构件，在俯视时，所述弹性构件配置为包围与所述测定端子连接的传送路径。

5.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述测定用连接器是多极连接器，且具备第1绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并作为所述测定端子发挥作用的多个第1内部端子、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子。

6.根据权利要求5所述的探针，其特征在于

所述测定端子是具有形成为能够与所述内部端子的凹形状嵌合的凸形状的端子，或者是具有接受凸形状的所述内部端子的凹形状的端子。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的探针，其特征在于，

所述测定用连接器在安装于所述柱塞的安装基板上安装。

8.根据权利要求7所述的探针，其特征在于，

所述安装基板在与所述测定用连接器相反侧的面上具有与所述测定用连接器电连接的相反侧连接器。

9.根据权利要求7所述的探针，其特征在于，

所述安装基板是具有刚性的印刷基板。

10.根据权利要求3或5所述的探针，其特征在于，

具有柔性基板，所述柔性基板作为与所述测定端子连接的传送路径发挥作用。

11.根据权利要求4所述的探针，其特征在于，

具有作为所述传送路径发挥作用的同轴线缆。

12.根据权利要求10所述的探针，其特征在于，

在所述凸缘和所述柱塞分别形成有用于贯穿所述传送路径的贯通孔。

13.一种探针，其特征在于，具备：

测定用连接器，其具备多个测定端子、保持所述多个测定端子的第1绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子，且所述测定用连接器作为多极连接器而构成；

柱塞，其在末端面配设所述测定用连接器，并具有用于贯穿与所述测定端子电连接的传送路径的第2贯通孔；

凸缘，其具有第1贯通孔，在俯视时，所述第1贯通孔与所述第2贯通孔重叠，且用于贯穿所述传送路径；以及

多个弹性构件，其相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力，

在俯视时，所述多个弹性构件在周向上分离配置并包围所述测定用连接器。

14.根据权利要求13所述的探针，其特征在于，

具有作为所述传送路径发挥作用的柔性基板。

15.根据权利要求13或14所述的探针，其特征在于，

在所述凸缘上设置有收容多个所述弹性构件的收容孔。

16.根据权利要求13或14所述的探针，其特征在于，

还具有分别插通于多个所述弹性构件的多个螺钉。

17.一种探针，其特征在于，具备：

测定用连接器，其具备多个测定端子、保持所述多个测定端子的第1绝缘性构件、受所述第1绝缘性构件保持并接地的第1外部端子，且所述测定用连接器作为多极连接器而构成；

柱塞，其在末端面配设所述测定用连接器，并具有用于贯穿与所述测定端子电连接的传送路径的第2贯通孔；

凸缘，其具有第1贯通孔，在俯视时，所述第1贯通孔与所述第2贯通孔重叠，且用于贯穿所述传送路径；以及

弹性构件，其相对于所述凸缘对所述测定用连接器施力，

在俯视时，所述弹性构件包围所述传送路径地配置。

18.根据权利要求17所述的探针，其特征在于，

具有作为所述传送路径发挥作用的同轴线缆。

19.根据权利要求17或18所述的探针，其特征在于，

还具有位于所述弹性构件与所述柱塞之间的间隔件，所述弹性构件与所述间隔件的端面抵接。

20.根据权利要求17或18所述的探针，其特征在于，

所述柱塞具备多个弹簧销，各所述弹簧销分别与所述测定用连接器的各测定端子电连接。

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