CN215202835U - 一种基于ntc3050型线切机单晶料座的夹取装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，包括底架和支撑架，所述底架顶面一侧固接支撑架，其特征在于：所述支撑架中部滑动连接固定板，所述固定板板面对称垂直固接两个固定杆，两个所述固定杆顶面对称固接两个限位板，两个所述限位板之间滑动连接料框，所述料框框内安放有单晶料座，所述单晶料座顶部两侧活动连接连杆结构底部内侧。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型使得该线切料座可以有更多的对接方式，从而便于实现后续自动化设备的对接；本实用新型实现该种料座的多方式夹取，提升该种线切机产品的自动化水平。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置。
背景技术
在半导体行业中，通过使用NTC3050型线切机，将单晶晶棒切割为单晶晶片。在线切机中，及线切下料后，其放置方式均为晶棒在下，料座在上的方式，通过中间的树脂板及胶水进行粘接。此时需要将其进行搬运，现有技术都是使用线切机配套的上下料车进行搬运，线切机及上下料小车，与晶棒的接触位置不统一。但是改进的设计无法对接后续自动化脱胶清洗一体机设备。在后续自动化设备中，对料座底面两处接触位置都有干涉，故需要设计一款新型夹取装置。
为此我们提出一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，包括底架和支撑架，所述底架顶面一侧固接支撑架，其特征在于：所述支撑架中部滑动连接固定板，所述固定板板面对称垂直固接两个固定杆，两个所述固定杆顶面对称固接两个限位板，两个所述限位板之间滑动连接料框，所述料框框内安放有单晶料座，所述单晶料座顶部两侧活动连接连杆结构底部内侧；
所述连杆结构包括两排对称安装的夹持头，所述夹持头外端螺栓夹持块，所述夹持块侧面对称固接两个连接板一端，所述连接板另一端内侧垂直固接活动板，所述活动板末端铰接牵引结构中部外侧一端；
所述牵引结构包括底座，所述底座两侧固接侧板，所述侧板顶端固接顶梁两侧，所述顶梁底面两端固接限位柱，所述限位柱中部滑动连接连接座两端，所述连接座底面两端对称铰接两组牵引板，所述牵引板末端铰接活动板；所述限位柱底部固接底座两端，所述底座两端侧面对称固接定位板一侧，所述定位板另一侧活动连接连接板；
所述顶梁中部固接气缸底面，所述气缸顶部活动连接机械爪，所述气缸底面中部活动连接气动杆，所述气动杆颈部活动贯穿顶梁，所述气动杆底端固接连接座顶面中部。
优选的，所述支撑架竖直内侧开有滑槽，所述滑槽槽腔滑动连接滑轨块一侧，所述滑轨块另一侧固接固定板。
优选的，所述固定杆为直角杆，所述固定杆竖直端固接固定板，所述固定杆水平端顶面固接限位板底面。
优选的，所述限位板内侧开有限位槽，所述限位槽槽腔滑动连接循迹轨一侧，所述循迹轨另一侧固接料框。
优选的，所述单晶料座包括单晶棒，所述单晶棒底面活动接触料框框内底面，所述单晶棒顶面粘合树脂板，所述树脂板顶面粘合料座，所述料座两端活动接触料框两端顶面，所述料座侧面活动卡接夹持头。
优选的，所述气动杆底部铰接插销中部，所述插销两端活动连接连接座顶部，所述铰接座侧壁间隙卡接限位圈，所述限位圈间隙卡接销卡，所述销卡活动插接插销末端；所述铰接座底面固接连接座顶面中部。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明使得该线切料座可以有更多的对接方式，从而便于实现后续自动化设备的对接；本发明实现该种料座的多方式夹取，提升该种线切机产品的自动化水平。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明俯视图；
图3为本发明侧视图；
图4为本发明左视图；
图5为本发明图1中A处放大结构示意图.
图中：1底架、2支撑架、20滑槽、3滑轨块、4固定板、5固定杆、6限位板、60限位槽、7料框、70循迹轨、8单晶料座：80单晶棒、81树脂板、82料座；9连杆结构：90夹持头、91夹持块、、92连接板、93活动板；10牵引结构:100 底座、101滑套、102限位柱、103连接座、104定位块、105顶梁、106侧板、 107牵引板；11气缸、12气动杆、13机械爪、14铰接座、15限位圈、16销卡、 17插销。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，包括底架1和支撑架2，底架1顶面一侧固接支撑架2，支撑架2中部滑动连接固定板4，固定板4板面对称垂直固接两个固定杆5，两个固定杆5顶面对称固接两个限位板6，两个限位板6之间滑动连接料框7，料框7 框内安放有单晶料座8，单晶料座8顶部两侧活动连接连杆结构9底部内侧；
连杆结构9包括两排对称安装的夹持头90，夹持头90外端螺栓夹持块91，夹持块91侧面对称固接两个连接板92一端，连接板92另一端内侧垂直固接活动板93，活动板93末端铰接牵引结构10中部外侧一端；
牵引结构10包括底座100，底座100两侧固接侧板106，侧板106顶端固接顶梁105两侧，顶梁105底面两端固接限位柱102，限位柱102中部滑动连接连接座103两端，连接座103底面两端对称铰接两组牵引板107，牵引板107末端铰接活动板93；限位柱102底部固接底座100两端，底座100两端侧面对称固接定位板104一侧，定位板104另一侧活动连接连接板92；
顶梁105中部固接气缸11底面，气缸11顶部活动连接机械爪13，气缸11 底面中部活动连接气动杆12，气动杆12颈部活动贯穿顶梁105，气动杆12底端固接连接座103顶面中部。
支撑架2竖直内侧开有滑槽20，滑槽20槽腔滑动连接滑轨块3一侧，滑轨块3另一侧固接固定板4。
固定杆5为直角杆，固定杆5竖直端固接固定板4，固定杆5水平端顶面固接限位板6底面。
限位板4内侧开有限位槽60，限位槽60槽腔滑动连接循迹轨70一侧，循迹轨70另一侧固接料框7。
单晶料座8包括单晶棒80，单晶棒80底面活动接触料框7框内底面，单晶棒80顶面粘合树脂板81，树脂板81顶面粘合料座82，料座82两端活动接触料框7两端顶面，料座82侧面活动卡接夹持头90。
气动杆12底部铰接插销17中部，插销17两端活动连接铰接座14顶部，铰接座14侧壁间隙卡接限位圈15，限位圈15间隙卡接销卡16，销卡16活动插接插销17末端；铰接座14底面固接连接座103顶面中部。
工作原理：本发明通过对料座82上端的燕尾槽进行夹紧与释放，进行单晶料座8的夹取。其中夹紧与释放通过顶部气缸11和气动杆12对中间连接座103 的推拉，联动两侧的连杆结构9，实现夹取区域的位置变化。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，包括底架(1)和支撑架(2)，所述底架(1)顶面一侧固接支撑架(2)，其特征在于：所述支撑架(2)中部滑动连接固定板(4)，所述固定板(4)板面对称垂直固接两个固定杆(5)，两个所述固定杆(5)顶面对称固接两个限位板(6)，两个所述限位板(6)之间滑动连接料框(7)，所述料框(7)框内安放有单晶料座(8)，所述单晶料座(8)顶部两侧活动连接连杆结构(9)底部内侧；
所述连杆结构(9)包括两排对称安装的夹持头(90)，所述夹持头(90)外端螺栓夹持块(91)，所述夹持块(91)侧面对称固接两个连接板(92)一端，所述连接板(92)另一端内侧垂直固接活动板(93)，所述活动板(93)末端铰接牵引结构(10)中部外侧一端；
所述牵引结构(10)包括底座(100)，所述底座(100)两侧固接侧板(106)，所述侧板(106)顶端固接顶梁(105)两侧，所述顶梁(105)底面两端固接限位柱(102)，所述限位柱(102)中部滑动连接连接座(103)两端，所述连接座(103)底面两端对称铰接两组牵引板(107)，所述牵引板(107)末端铰接活动板(93)；所述限位柱(102)底部固接底座(100)两端，所述底座(100)两端侧面对称固接定位板(104)一侧，所述定位板(104)另一侧活动连接连接板(92)；
所述顶梁(105)中部固接气缸(11)底面，所述气缸(11)顶部活动连接机械爪(13)，所述气缸(11)底面中部活动连接气动杆(12)，所述气动杆(12)颈部活动贯穿顶梁(105)，所述气动杆(12)底端固接连接座(103)顶面中部。
2.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，其特征在于：所述支撑架(2)竖直内侧开有滑槽(20)，所述滑槽(20)槽腔滑动连接滑轨块(3)一侧，所述滑轨块(3)另一侧固接固定板(4)。
3.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，其特征在于：所述固定杆(5)为直角杆，所述固定杆(5)竖直端固接固定板(4)，所述固定杆(5)水平端顶面固接限位板(6)底面。
4.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，其特征在于：所述限位板(6)内侧开有限位槽(60)，所述限位槽(60)槽腔滑动连接循迹轨(70)一侧，所述循迹轨(70)另一侧固接料框(7)。
5.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，其特征在于：所述单晶料座(8)包括单晶棒(80)，所述单晶棒(80)底面活动接触料框(7)框内底面，所述单晶棒(80)顶面粘合树脂板(81)，所述树脂板(81)顶面粘合料座(82)，所述料座(82)两端活动接触料框(7)两端顶面，所述料座(82)侧面活动卡接夹持头(90)。
6.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的夹取装置，其特征在于：所述气动杆(12)底部铰接插销(17)中部，所述插销(17)两端活动连接铰接座(14)顶部，所述铰接座(14)侧壁间隙卡接限位圈(15)，所述限位圈(15)间隙卡接销卡(16)，所述销卡(16)活动插接插销(17)末端；所述铰接座(14)底面固接连接座(103)顶面中部。
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