CN215179612U - 一种光学龙门机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学龙门机构，具体涉及精密仪器领域。本实用新型实施例中的光学龙门机构包括：支撑平台，其包括间隔设置的第一龙门梁支柱和第二龙门梁支柱；横梁，其设置在所述第一龙门梁支柱和第二龙门梁支柱上，所述横梁为对称结构且其中部沿轴向开有凹槽；所述凹槽的底部开有检测孔，所述检测孔的位置与位于所述凹槽内的光学头对应。实施例中通过布置结构对称的横梁及其他部件，使因温度和重力引起的形变相互抵消，减小了光学头的下垂量，提升了光学检测系统的稳定性。

Description

一种光学龙门机构

技术领域

本实用新型属于件精密仪器领域，特别是涉及一种光学龙门机构。

背景技术

在半导体和面板检测设备中，用于测量的光学头一般需要龙门结构作为支架。然而，在设备实际工作中，光学系统会受到重力作用和温度的影想，导致光学头略微下垂。特别是对于AOI（自动光学检测）设备来说其精度要求较高，光学头下垂几微米到十几微米也会对设备检测结果影响较大。

如图2所示的相关技术中，采用光学头侧挂在龙门梁的侧边的设计，传统技术中横梁受重力或温度变化发生了微小形变也会直接导致光学头下垂量不稳定，从而影响检测结果，给从业人员带来困扰。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种光学龙门机构，解决相关技术中设备因形变造成光学测量设备精度下降的问题。

为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是：一方面光学龙门机构，包括： 支撑平台，其包括间隔设置的第一龙门梁支柱和第二龙门梁支柱；横梁，其设置在所述第一龙门梁支柱和第二龙门梁支柱上，所述横梁为对称结构且其中部沿轴向开有凹槽，所述凹槽内设有光学头；所述凹槽的底部开有检测孔，所述检测孔的位置与位于所述凹槽内的光学头对应。

一些实施例中，所述光学龙门机构还包括：设置在所述凹槽中的传动机构，所述传动机构与所述光学头连接，所述传动机构可使所述光学头在所述凹槽中移动。

一些实施例中，所述凹槽的底面开有连接孔，所述传动机构通过所述连接孔与安装在所述横梁下的控制系统连接。

一些实施例中，所述传动机构包括：沿所述凹槽的内壁面轴向布置的两条直线导轨；至少两块滑块，每两个滑块对应设置在所述两条直线导轨上，所述滑块可在其所在的直线导轨上做轴向滑动；所述滑块上设有用于安装所述光学头的安装板。

一些实施例中，所述两条直线导轨沿所述凹槽的两个侧壁面轴向对称布置。

一些实施例中，所述两条直线导轨沿所述凹槽的底面轴向布置，且两条直线导轨对称布置在所述检测孔的两侧。

一些实施例中，所述传动机构还包括: 与所述安装板（23）连接的护罩，所述护罩用于覆盖所述滑块与安装板。

一些实施例中，所述光学龙门机构还包括：基座平台，其位于所述支撑平台之下，所述基座平台用于与所述支撑平台连接固定。

一些实施例中，所述第一龙门梁支柱位于所述横梁的轴向前端下方；所述第二龙门梁支柱位于所述横梁的轴向后端下方。

一些实施例中，所述第一龙门梁支柱位于所述横梁的轴向左侧下方；所述第二龙门梁支柱位于所述横梁的轴向右侧下方。

本实用新型的申请实施例发现现有的单侧光学龙门机构存在光学头下垂影响测量精度问题。因此本实用新型实施例通过对称结构的横梁，使重力和温度对横梁两边带来的形变趋势一致。当两边都发生形变时会起相互抵消作用，以使光学头下垂量变小到允许指标内，基本不影响检测，提高了AOI设备的稳定性。并通过配置传动机构，实现光学头的移动，可以或多行检测或对多个样品进行检验。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中龙门结构示意图；

图2为相关技术的实施例中中龙门结构示意图。

图中： 1、光学头；2、传动机构；21、直线导轨；22、滑块；23、安装板；3、横梁；31、凹槽；4、支撑平台；41、第一龙门梁支柱；42、第二龙门梁支柱；5、基座平台。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下结合附图对本实用新型的实施例作进一步详细说明。

参照图1所示，本实用新型实施例提供一种光学龙门机构，其包括：位于基座平台5上的支撑平台，支撑平台4包括间隔设置的第一龙门梁支柱41和第二龙门梁支柱42；支撑在所述的第一龙门梁支柱41和第二龙门梁支柱42上的横梁3，所述横梁3为中部沿轴向开有凹槽31的对称结构；位于所述凹槽31中的光学头1，所述光学头1与所述横梁3连接。所述凹槽31的底部开有检测孔，所述检测孔的位置与位于所述凹槽31内的光学头1对应，其用于为光学头1提供检测位置。

可以理解的是，凹槽31内设有传动机构2，光学头1通过传动机构2与所述横梁3的凹槽31内壁连接；所述传动机构2可带动所述光学头1在凹槽31中移动。加装传动机构2是为了能灵活移动光学头，为检测提供便利。

具体地，上述传动机构2包括：沿凹槽31内壁面轴向布置的两条直线导轨；对应设置在所述两条直线导轨21上的至少两块滑块22，每两个滑块分别设在两条直线导轨上的对应位置上。所述滑块22用于在所述两条直线导轨21上轴向滑动；所述滑块22上可设有用于安装所述光学头1的安装板23。

优选地，参照图1所示两条直线导轨21沿所述凹槽31的底面轴向布置。两条直线导轨21对称布置在所述检测孔的两侧。使两边的传动机构2能够同时与光学头连接支撑。这样布置在不遮挡检测孔的同时，更好的减少了重力G对光学头1本身的影响，有效减小了其可能的下垂量。

可以理解的是，两条直线导轨21还可以沿所述凹槽31的侧壁面轴向对称布置，直线导轨21安装在凹槽31对称的两边。

可以理解的是，出于对强度的需求直线导轨、滑块和安装板采用铝合金材料制成。

值得说明的是，本实施例中的光学龙门机构在正常工作中还会为传动机构2的安装板上加装护罩，护罩用于覆盖滑块22与安装板23以及光学头1。护罩可避免环境中的灰尘等物质对测量设备的影响。

一些实施例中，上述凹槽31的底面开有连接孔，连接孔下面开有内凹槽，内凹槽用于安装所述传动机构2的控制系统和其他附件，该内凹槽可设置在横梁3之中、凹槽31之下，传动机构2通过连接孔与内凹槽中的控制元件连接。

工作时，光学头1会在传动机构2的驱动下从上一个检测孔上方转移到另一个检测孔执行检测任务。也就是说，检测孔与光学头1位置成对应关系，但也可以设置数目多于光学头1的检测孔，可供传动机构2带动光学头1移动检测。

优选地，参照图1所示，第一龙门梁支柱41位于所述横梁3轴向的前端下方；第二龙门梁支柱42位于所述横梁3轴向的后端下方。

当然，第一龙门梁支柱41和第二龙门梁支柱42也可以设在横梁3轴向的两侧下方。

可以理解的是，支撑平台4的下方还设有基座平台5。基座平台5与支撑平台4连接固定，基座平台5用于支撑并稳固支撑平台4。

值得说明的是，横梁3与基座平台5一般采用大理石材料制作。大理石材料组织结构均匀不易变形，且其受温度变形小。

综上所述，本实用新型通过设置对称的横梁，横梁3两侧对称同时形变会互相抵消形变影响，从而减少了光学头1的下垂量从而提升光学检测设备的稳定性。在凹槽31底部加装传动机构2，传动机构2也会对与光学头连接的安装板23有一定的支撑作用，一定程度上缓解了光学头1受重力影响下垂的趋势。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在本申请中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种光学龙门机构，其特征在于，包括：

支撑平台（4），其包括间隔设置的第一龙门梁支柱（41）和第二龙门梁支柱（42）；

横梁（3），其设置在所述第一龙门梁支柱（41）和第二龙门梁支柱（42）上，所述横梁（3）为对称结构且其中部沿轴向开有凹槽（31），所述凹槽（31）内设有光学头（1）；

所述凹槽（31）的底部开有检测孔，所述检测孔的位置与位于所述凹槽（31）内的光学头（1）对应。

2.如权利要求1所述的光学龙门机构，其特征在于，所述光学龙门机构还包括：

设置在所述凹槽（31）中的传动机构（2），所述传动机构（2）与所述光学头（1）连接，所述传动机构（2）可使所述光学头（1）在所述凹槽（31）中移动。

3.如权利要求2所述的光学龙门机构，其特征在于：

所述横梁（3）下设有所述传动机构（2）的控制系统；

所述凹槽（31）的底面开有连接孔，所述传动机构（2）通过所述连接孔与安装在所述横梁（3）下的控制系统连接。

4.如权利要求2所述的光学龙门机构，其特征在于，所述传动机构（2）包括：

沿所述凹槽（31）的内壁面轴向布置的两条直线导轨（21）；

至少两块滑块（22），每两个所述滑块（22）对应设置在所述两条直线导轨（21）上，所述滑块（22）可在其所在的直线导轨（21）上做轴向滑动；

所述滑块（22）上设有用于安装所述光学头（1）的安装板（23）。

5.如权利要求4所述的光学龙门机构，其特征在于：

所述两条直线导轨（21）沿所述凹槽（31）的两个侧壁面轴向对称布置。

6.如权利要求4所述的光学龙门机构，其特征在于：

所述两条直线导轨（21）沿所述凹槽（31）的底面轴向布置，且两条直线导轨（21）对称布置在所述检测孔的两侧。

7.如权利要求4所述的光学龙门机构，其特征在于，所述传动机构（2）还包括：

与所述安装板（23）连接的护罩，所述护罩用于覆盖所述滑块（22）与安装板（23）。

8.如权利要求1所述的光学龙门机构，其特征在于，所述光学龙门机构还包括：

基座平台（5），其位于所述支撑平台（4）之下，所述基座平台（5）用于与所述支撑平台（4）连接固定。

9.如权利要求1所述的光学龙门机构，其特征在于：

所述第一龙门梁支柱（41）位于所述横梁（3）的轴向前端下方；

所述第二龙门梁支柱（42）位于所述横梁（3）的轴向后端下方。

10.如权利要求1所述的光学龙门机构，其特征在于：

所述第一龙门梁支柱（41）位于所述横梁（3）的轴向左侧下方；

所述第二龙门梁支柱（42）位于所述横梁（3）的轴向右侧下方。

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