CN108955545B - 一种调整检测传感器位置的工具及调整方法 - Google Patents

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Abstract

本发明包括一种调整检测传感器位置的工具及调整方法，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，检测传感器包括光线发射端与光线接收端，包括：支架固定于检测工艺机台上，支架包括匚形部，匚形部就有上部横梁、下部横梁以及垂直连杆；固定标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上；游动标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上，并与固定标尺位于上部横梁同侧；固定标尺设置有供光线由固定标尺背向游动标尺一侧射向游动标尺的第一缝隙。有益效果在于：能够快速准确地调整检测传感器的光线发射端与光线接收端的水平与垂直位置，且一次性调整完成，操作简便，有效提高工作效率与质量。

Description

一种调整检测传感器位置的工具及调整方法
技术领域
本发明涉及传感器检测技术领域，尤其涉及一种调整检测传感器位置的工具及调整方法。
背景技术
在半导体技术领域中，检测工艺机台都是利用红外对射传感器进行检测晶圆盒里的晶圆状态，其中晶圆状态包括检测晶圆的厚度和位置；因检测工艺机台长时间的机械传动，气缸磨损等原因造成检测传感器的检测手臂的位置偏移，因而引起检测传感器检测晶圆的厚度异常或者位置异常，我们需要调整其检测传感器的探头与相对的机台的水平位置和垂直位置。
目前的调整方式是使用直角尺来量取两探头相对于机台的高度，因基准水平面的参考位置不一致，量测的数据有偏差，使得调整准确度不高，需要多次进行调整，降低了工作效率。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种调整检测传感器位置的工具及调整方法。
具体技术方案如下：
一种调整检测传感器位置的工具，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，所述检测传感器包括光线发射端与光线接收端，其中，所述工具包括：
一支架，固定于所述检测工艺机台上，所述支架包括一匚形部，所述匚形部就有一上部横梁、一下部横梁以及一垂直连杆；
一固定标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上；
一游动标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上，并与所述固定标尺位于所述上部横梁同侧；
所述固定标尺设置有供光线由所述固定标尺背向所述游动标尺一侧射向所述游动标尺的第一缝隙。
优选的，所述匚形部包括第一螺栓，所述第一螺栓设置于所述下部横梁悬空的一端，用以将所述支架固定于所述检测工艺机台上。
优选的，所述垂直连杆设置有伸缩组件，用以调整所述垂直连杆的长度。
优选的，所述伸缩组件包括：
一中空的固定杆，一端连接所述下部横梁，另一端设置有开口，
一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述上部横梁，
一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动；或者
一中空的固定杆，一端连接所述上部横梁，另一端设置有开口，
一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述下部横梁，
一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动。
优选的，所述固定标尺上及所述游动标尺上分别设有相互对应的刻度。
优选的，所述游动标尺上设有可沿所述游动标尺长度方向滑动的游标，用以连接所述光线接收端。
优选的，所述游动标尺设置有供所述游标滑动的第二缝隙，所述游标嵌设于所述第二缝隙内并以所述第二缝隙为轨道沿所述游动标尺长度方向滑动。
优选的，所述支架由不锈钢材料制成。
一种调整检测传感器位置的调整方法，采用上述所述的工具，其中，包括：
步骤S1、通过所述第一螺栓将所述支架固定于所述检测工艺机台；
步骤S2、调节所述垂直连杆的长度，以供所述光线发射端发射的光线射向所述固定标尺的第一缝隙，且对应指示第一刻度值；
步骤S3、于所述第二缝隙内，滑动所述游动标尺上的游标，以锁定所述光线接收端的位置，且对应指示第二刻度值。
优选的，于所述步骤S3之后，判断所述第一刻度值与所述第二刻度值是否相同，
若相同，则停止滑动所述游动标尺上的游标，锁定所述光线接收端的位置；
若不同，则继续滑动所述游动标尺上的游标，直至所述第一刻度值与所述第二刻度值相同，然后锁定所述光线接收端的位置。
本发明的技术方案有益效果在于：能够快速准确地调整检测传感器的光线发射端与光线接收端的水平与垂直位置，且一次性调整完成，操作简便，有效提高工作效率与质量。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1为本发明中，关于工具的主视图；
图2为本发明中，关于工具的俯视图；
图3为本发明中，关于工具的侧视图；
图4为本发明中，关于固定标尺的结构图；
图5为本发明中，关于游动标尺的结构图；
图6为本发明中，关于检测晶圆的结构图；
图7为本发明中，关于调整方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
本发明包括一种调整检测传感器位置的工具，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆W的厚度与位置的过程中，检测传感器包括光线发射端Lee与光线接收端Lre，其中，工具包括：
一支架1，固定于检测工艺机台(在图中未示出)上，支架1包括一匚形部10，匚形部10就有一上部横梁100、一下部横梁101以及一垂直连杆102；
一固定标尺2，垂直于上部横梁100且垂直于垂直连杆102的连接于上部横梁100上；
一游动标尺3，垂直于上部横梁100且垂直于垂直连杆102的连接于上部横梁100上，并与固定标尺2位于上部横梁100同侧；
固定标尺2设置有供光线由固定标尺2背向游动标尺3一侧射向游动标尺3的第一缝隙20。
通过上述调整检测传感器位置的工具的技术方案，结合图1、2、3所示，工具包括支架1、固定标尺2、游动标尺3，其中支架1固定于检测工艺机台(在图中未示出)上，首先调整垂直连杆102的高度，使得光线发射端Lee发射的光线射向游动标尺3的第一缝隙20内，此时，在固定标尺2上提供一参考位置，其中参考位置包括水平方向和垂直方向上的位置；
进一步地，根据光线发射端Lee与光线接收端Lre之间的距离，在上部横梁100上移动游动标尺3来调整游动标尺3与固定标尺2之间的距离，使得光线能够穿过游动标尺3的第二缝隙31内，且保证光线接收端Lre的接收位置与固定标尺2上的参考位置一致，其中接收位置包括垂直方向上的位置，如图6所示；
进一步地，保证检测传感器的光线发射端Lee与光线接收端Lre在水平方向与垂直方向上一致，并且可以一次性完成，操作简便，进而有效提高工作效率与质量。
在一种较优的实施例中，匚形部10包括第一螺栓103，第一螺栓103设置于下部横梁101悬空的一端，用以将支架1固定于检测工艺机台(在图中未示出)上。结合图1、2所示，通过第一螺栓103将支架1固定于检测工艺机台(在图中未示出)上，使得下部横梁101与检测工艺机台(在图中未示出)保持水平，有效提高整个调整工具的稳定性。
在一种较优的实施例中，垂直连杆102设置有伸缩组件102，用以调整垂直连杆102的长度。结合图1、2、3所示，垂直连杆102设置有伸缩组件102，用以调整垂直连杆102的长度，可适配于不同的检测工艺机台(在图中未示出)中的检测传感器(在图中未示出)的高度，适用范围广泛，实用性强。
在一种较优的实施例中，伸缩组件102包括：
一中空的固定杆1020，一端连接下部横梁101，另一端设置有开口10200，
一活动杆1021，一端可滑动的套设于开口10200内，另一端连接上部横梁100，
一第二螺栓1022，连接于开口10200内，用以限制活动杆1021滑动；或者
一中空的固定杆1020，一端连接上部横梁100，另一端设置有开口10200，
一活动杆1021，一端可滑动的套设于开口10200内，另一端连接下部横梁101，
一第二螺栓1022，连接于开口10200内，用以限制活动杆1021滑动。结合图1、2、3所示，通过第二螺栓1022限制活动杆1021滑动，来适配于不同的检测工艺机台(在图中未示出)中的检测传感器(在图中未示出)的高度，适用范围广泛，实用性强。
在一种较优的实施例中，固定标尺2上及游动标尺3上分别设有相互对应的刻度。如图4、5所示，固定标尺2上及游动标尺3设有相互对应刻度，以便调整相对的垂直方向的位置。
在一种较优的实施例中，游动标尺3上设有可沿游动标尺3长度方向滑动的游标30，用以连接光线接收端Lre。如图5所示，设置游标30调整光线接收端Lre，在垂直方向上能够准确调整，且操作方便，实用性强。
在一种较优的实施例中，游动标尺3设置有供游标30滑动的第二缝隙31，游标30嵌设于第二缝隙31内并以第二缝隙31为轨道沿游动标尺3长度方向滑动。如图5所示，游动标尺3上设有第二缝隙31，以调整光线接收端Lre的水平位置，游标30滑动于第二缝隙31内，以调整光线接收端Lre的垂直位置。
在一种较优的实施例中，支架1由不锈钢材料制成。支架1选用不锈钢材料，经济实惠，节约成本，且不易变形。
一种调整检测传感器位置的调整方法，采用上述的工具，其中包括：
步骤S1、通过第一螺栓103将支架1固定于检测工艺机台(在图中未示出)；
步骤S2、调节垂直连杆102的长度，以供光线发射端Lee发射的光线射向固定标尺2的第一缝隙20，且对应指示第一刻度值200；
步骤S3、于第二缝隙31内，滑动游动标尺3上的游标30，以锁定光线接收端Lre的位置，且对应指示第二刻度值300。
在一种较优的实施例中，于步骤S3之后，判断第一刻度值200与第二刻度值300是否相同，
若相同，则停止滑动游动标尺3上的游标30，锁定光线接收端Lre的位置；
若不同，则继续滑动游动标尺3上的游标30，直至第一刻度值200与第二刻度值300相同，然后锁定光线接收端Lre的位置。
具体地，如图7所示，首先通过第一螺栓103将支架1固定于检测工艺机台(在图中未示出)，然后调节垂直连杆102的长度，以供光线发射端Lee发射的光线射向固定标尺2的第一缝隙20，且对应指示第一刻度值200，接着滑动游动标尺3上的游标30，以锁定光线接收端Lre的位置，且对应指示第二刻度值300，其中，在步骤S3之后，判断第一刻度值200与第二刻度值300是否相同，若相同，则停止滑动游动标尺3上的游标30，锁定光线接收端Lre的位置，若不同，则继续滑动游动标尺3上的游标30，直至第一刻度值200与第二刻度值300相同，然后锁定光线接收端Lre的位置；
进一步地，保证检测传感器的光线发射端与光线接收端在水平方向与垂直方向上一致，并且可以一次性完成，操作简便，进而有效提高工作效率与质量。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种调整检测传感器位置的工具，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，所述检测传感器包括光线发射端与光线接收端，其特征在于，所述工具包括：
一支架，固定于所述检测工艺机台上，所述支架包括一匚形部，所述匚形部就有一上部横梁、一下部横梁以及一垂直连杆；
一固定标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上；
一游动标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上，并与所述固定标尺位于所述上部横梁同侧；
所述固定标尺设置有供光线由所述固定标尺背向所述游动标尺一侧射向所述游动标尺的第一缝隙；
所述游动标尺上设有可沿所述游动标尺长度方向滑动的游标，用以连接所述光线接收端；
所述游动标尺设置有供所述游标滑动的第二缝隙，所述游标嵌设于所述第二缝隙内并以所述第二缝隙为轨道沿所述游动标尺长度方向滑动。
2.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述匚形部包括第一螺栓，所述第一螺栓设置于所述下部横梁悬空的一端，用以将所述支架固定于所述检测工艺机台上。
3.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述垂直连杆设置有伸缩组件，用以调整所述垂直连杆的长度。
4.根据权利要求3所述的工具，其特征在于，所述伸缩组件包括：
一中空的固定杆，一端连接所述下部横梁，另一端设置有开口，
一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述上部横梁，
一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动；或者
一中空的固定杆，一端连接所述上部横梁，另一端设置有开口，
一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述下部横梁，
一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动。
5.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述固定标尺上及所述游动标尺上分别设有相互对应的刻度。
6.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，所述支架由不锈钢材料制成。
7.一种调整检测传感器位置的调整方法，采用上述权利要求1-6中任意一项所述的工具，其特征在于，包括：
步骤S1、通过所述第一螺栓将所述支架固定于所述检测工艺机台；
步骤S2、调节所述垂直连杆的长度，以供所述光线发射端发射的光线射向所述固定标尺的第一缝隙，且对应指示第一刻度值；
步骤S3、于所述第二缝隙内，滑动所述游动标尺上的游标，以锁定所述光线接收端的位置，且对应指示第二刻度值。
8.根据权利要求7所述的调整方法，其特征在于，于所述步骤S3之后，判断所述第一刻度值与所述第二刻度值是否相同，
若相同，则停止滑动所述游动标尺上的游标，锁定所述光线接收端的位置；
若不同，则继续滑动所述游动标尺上的游标，直至所述第一刻度值与所述第二刻度值相同，然后锁定所述光线接收端的位置。
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