CN215137930U - 一种尾气前处理装置 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例中提供了一种尾气前处理装置，属于PECVD技术领域，具体包括在线除尘装置；通过本申请的处理方案，除尘控制模块接收到除尘信号后，动力腔推动推杆向下移动，同时，刮刀从过滤网上端缓慢往复运动并刮出过滤网上粉尘，同时吸尘控制模块接收到粉尘吸收信号后，依次打开第四自动阀、第三自动阀、第二自动阀、第一自动阀使收集容器到粉尘截留段形成通路,同时向第二自动阀内通入氮气；被刮刀刮下的粉尘在吸附单元的吸引力下顺利进入收集容器，使得本实用新型可清除废气中的粉尘；同时由于本装置刮刀安装在管道内，可以实现装置工作时无需前后设备停机操作。
Description
技术领域
本申请涉及PECVD技术领域，尤其涉及一种尾气前处理装置。
背景技术
PECVD工艺后的废气直接通过尾气管道进入尾气处理装置，由于工艺后气体存在一定的粉尘，流经尾气管道进入尾气处理装置会附着在管道壁上，长时间积累会使管道气流空间变窄，主要有以下影响：
1、增加PECVD设备排气阻力；
2、增加尾气处理设备进气流量及压差；
3，粉尘带入尾气处理设备影响其正常运行。
发明内容
有鉴于此，本申请实施例提供一种尾气前处理装置，至少部分解决现有技术中存在的问题。
一种尾气前处理装置，用于尾气排放装置与尾气处理装置之间的尾气管道内的气体处理，包括去尘机构、收集机构以及控制机构；
所述去尘机构包括动力单元、格挡单元以及去除单元；其中，所述格挡单元固定安装在所述尾气管道内，且所述格挡单元的一侧安装有去除单元，所述去除单元与动力单元固定连接，所述动力单元由驱动单元驱动，所述驱动单元上设置有隔挡自动阀；
所述收集机构包括收集主管、吸附单元、收集容器、开启阀；其中，收集主管与所述尾气管道相连通且位于所述去尘机构的下端；所述吸附单元安装在收集主管内，且其一端连接所述收集容器、另一端连接有开启阀；
所述控制机构包括气压传感器以及控制器，所述气压传感器用于获取所述尾气管道内的压力差，所述控制器根据所述气压传感器的信号控制所述隔挡自动阀和/或所述开启阀的开闭。
进一步地，所述收集主管的局部段并排连通设置有第一进气支路管与第二进气支路管，且所述第一进气支路管设置在所述格挡单元的一侧，所述第二进气支路管设置在所述格挡单元的另一侧；
所述第一进气支路管的另一端与所述第二进气支路管的另一端相连通，且连通处安装所述气压传感器。
进一步地，所述驱动单元包括驱动壳体和驱动气管，所述驱动壳体安装在所述尾气管道的外侧，且位于所述第一进气支路管与所述第二进气支路管之间；所述驱动壳体内嵌有所述动力单元的一端；
所述驱动气管与所述驱动壳体连通，所述隔挡自动阀设置于所述驱动气管中，且所述驱动气管内通有压缩的气体。
进一步地，所述格挡单元为过滤网，所述过滤网采用具有耐腐蚀、耐高温特性的材料制成且开设有多个设定孔径大小的网孔。
进一步地，所述去除单元为刮刀，所述刮刀采用不锈钢材质制成。
进一步地，所述动力单元为推杆，所述推杆嵌入所述驱动壳体的一端为T 型，且所述推杆的另一端为圆柱形。
进一步地，所述开启阀包括第一自动阀、第二自动阀、第三自动阀、第四自动阀；
所述收集主管的另一端与吸附单元形成T形管路结构，且所述收集主管与所述吸附单元之间安装所述第一自动阀；
所述吸附单元的一端安装所述第二自动阀；
所述吸附单元与所述收集容器之间安装所述第三自动阀；
所述收集容器开设有与其相连通的排放管，且所述排放管与收集容器之间安装所述第四自动阀。
进一步地，其特征在于，所述控制器设置在所述尾气管道的外侧且通过线缆与所述气压传感器、所述隔挡自动阀以及所述开启阀电信号连接。
进一步地，所述气压传感器具体为压差变送器，所述控制器为可编程逻辑控制器。
进一步地，所述吸附单元具体为文丘里阀，所述文丘里阀和与其相连的管道构成先收缩而后逐渐扩大的结构。
有益效果
通过除尘控制模块接收到除尘信号后，动力腔推动推杆向下移动，同时，刮刀从过滤网上端缓慢往复运动并刮出过滤网上粉尘，同时吸尘控制模块接收到粉尘吸收信号后，依次打开第四自动阀、第三自动阀、第二自动阀、第一自动阀使收集容器到粉尘截留段形成通路,同时向第二自动阀内通入氮气；被刮刀刮下的粉尘在吸附单元的吸引力下顺利进入收集容器，使得本实用新型可清除废气中的粉尘；同时由于本装置刮刀安装在管道内，可以实现装置工作时无需前后设备停机操作，同时本实用新型装置结构简单操作方便，装置整体及各个零部件均可拆卸保养；
在具体使用中，刮刀一侧的进气支路管容易产生富集灰尘，照成压强差测量不精准，所以通过设置进气支路管的损耗系数Si修正压强差，提高检测的精准度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型实施例的尾气前处理装置的结构框图；
图2为本实用新型实施例的可编程逻辑控制器原理框图；
图3为本实用新型实施例的工作方法流程图。
附图标识中：
1-气压传感器，2-尾气管道，3-推杆，4-刮刀，5-过滤网，6-第二自动阀，7-第一自动阀，8-第四自动阀，9-第三自动阀，10-第一进气支路管，11-第二进气支路管，12-隔挡自动阀；13-收集主管；14-尾气处理装置；15-收集容器； 16-可编程逻辑控制器；17-尾气排放装置；A-气流方向。
具体实施方式
下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
本申请实施例提供一种尾气前处理装置，如图1所示，包括尾气管道2，尾气管道2内设置有在线除尘装置，在线除尘装置包括去尘机构、收集机构以及控制机构。
在本实用新型具体实施中，尾气管道2的一端与尾气排放装置相连，另一端与尾气处理装置相连。
在本实用新型具体实施中，去尘机构包括动力单元、格挡单元以及去除单元。
优选的，格挡单元，为一种过滤网5，且过滤网5采用耐腐蚀耐高温的特性材料做成具有一定孔径大小的网状物体，能够截留住尾气中粉尘且不影响尾气正常排放，在使用时,过滤网5安装在尾气管道2的中间位置，过滤网5的两侧分别安装有第一进气支路管10与第二进气支路管11。
过滤网5的一侧设有去除单元与动力单元，需要注意的是，一侧可以为过滤网5的左侧，也可以是过滤网5的右侧；在本实用新型中不做具体限定。
优选的，去除单元为刮刀4，采用耐腐蚀耐高温材料制作，动力单元为推杆3，推杆3的一端嵌入驱动单元，推杆3的另一端嵌入尾气管道2内与刮刀 4的末端固定连接。
优选的，驱动单元包括驱动壳体和驱动气管，驱动气管与驱动壳体连通，驱动气管内通入压缩的气体，隔挡自动阀12设置于压缩气管上，更加优选地，压缩的气体为氮气；通过冲入与排出氮气实现推杆3在驱动壳体内往复运动。在本实施例中，驱动壳体内用于提供动力腔，实现推杆的往复运动，其功能相当于气压缸。
具体的，推杆3嵌入驱动壳体内的部分为T型，可以更均匀的受力，避免推杆3往复运动受力不均导装置损坏。
更优选的，刮刀4的首段开设有尖锐面，且尖锐面与过滤网5相接触。
优选的，去除单元的下端设有收集机构，具体的，收集机构包括收集主管 13、吸附单元、收集容器、开启阀以及排放管。
在具体实施中，开启阀包括第一自动阀7、第二自动阀6、第三自动阀9、第四自动阀8。在本实施例中，通过在设有第一自动阀7、第二自动阀6、第三自动阀9、第四自动阀8的管道上分别设置电磁阀。通过将电磁阀与可编程逻辑控制器连接，从而经电磁阀控制管道的连通。
具体的，收集主管13与尾气管道2相连通，且收集主管13与尾气管道2 之间安装有第一自动阀7；收集主管13的另一端与吸附单元形成T形管路结构，吸附单元的一端安装有第二自动阀6；吸附单元的另一端与收集容器相连，且吸附单元与收集容器之间安装有第三自动阀9；排放管与收集容器相连通，且排放管与收集容器之间安装有自动阀第四自动阀8。
在本实用新型具体实施中，吸附单元具体为文丘里阀，所述文丘里阀具有流文丘里结构，可以通入氮气经过流文丘里结构使得内部管道变窄处形成负压区从而吸引接入到除尘装置内的粉尘快速转移至收集容器。
在本实用新型具体实施中，排放管与收集容器之间还可设置有第二过滤网，防止收集容器内的大颗粒不达标尾气被排放。
优选的，第一进气支路管10与第二进气支路管11交汇处安装有气压传感器1，气压传感器1与可编程逻辑控制器相连接。
在本实用新型具体实施时，气压传感器可选用压差变送器；具体的，压差变送器型号为GG10-D。
优选的，气压传感器1还可以分别设置在过滤网5的两端，且气压传感器 1可设置若干个，在此，本实用新型不做具体限定。
其中，可编程逻辑控制器通过线缆与去尘机构和收集机构进行数据连接，同时可编程逻辑控制器内安装有控制系统，如图2所示，所述控制系统包括压差监测模块、除尘控制模块、吸尘控制模块以及因素赋值模块。
所述因素赋值模块用于对尾气管道2内气压因素进行因素赋值；所述压差监测模块用于监测尾气管道2内气压值以及进口与出气口的压强；所述除尘控制模块与吸尘控制模块分别用于控制去尘机构与收集机构进行工作，在本实用新型具体实施中，压差监测模块将进口的压强标记为ρ进，将出气口的压强标记为ρ出，当ρ进乘以因素赋值后大于ρ出10％时，压差监测模块向除尘控制模块发送除尘信号，同时压差监测模块向吸尘控制模块发送粉尘吸收信号。
在本实用新型具体实施中，因素赋值为去尘机构、收集机构以及控制机构对尾气管道2内压强的影响，具体的，通过公式：
得出因素赋值，式中，Dx与Dy分别为第一进气支路管10与第二进气支路管11，Fd为进气支路管的长度；YU(G)为推杆3嵌入尾气管道2内的面积， IP(G)为刮刀4的体积；Si为进气支路管的损耗系数。
在具体使用中，刮刀4一侧的进气支路管容易产生富集灰尘，照成压强差测量不精准，所以通过设置进气支路管的损耗系数Si修正压强差，提高检测的精准度。
优选的进气支路管的损耗系数通过公式
式中，B(U)为进气支路管公称直径，B(j)为进气支路管监测直径，其中，通过公式Diameter直径＝Velocity×(□T/2)可以得出进气支路管的监测直径。
在本实用新型具体实施时，如图3所示，可按照以下步骤执行；
步骤一：除尘控制模块接收到除尘信号后，驱动单元驱动推杆3缓慢往复移动，同时，刮刀4在过滤网5一端缓慢往复运动并刮出过滤网5上粉尘。
步骤二：吸尘控制模块接收到粉尘吸收信号后，依次打开第四自动阀8、第三自动阀9、第二自动阀6、第一自动阀7使收集容器到粉尘截留段形成通路,同时通过第二自动阀6向收集容器内通入氮气，使得刮刀4刮下的粉尘在吸附单元的吸引力下顺利进入收集容器。
步骤三：当ρ进乘以因素赋值后小于ρ出10％时，推杆3自动回升到原位置，除尘结束。
步骤四：依次关闭第一自动阀7、第二自动阀6、第三自动阀9以及第四自动阀8完成粉尘收集。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种尾气前处理装置，用于尾气排放装置与尾气处理装置之间的尾气管道(2)内的气体处理，其特征在于，包括去尘机构、收集机构以及控制机构；
所述去尘机构包括动力单元、格挡单元以及去除单元；其中，所述格挡单元固定安装在所述尾气管道(2)内，且所述格挡单元的一侧安装有去除单元，所述去除单元与动力单元固定连接，所述动力单元由驱动单元驱动，所述驱动单元上设置有隔挡自动阀(12)；
所述收集机构包括收集主管(13)、吸附单元、收集容器、开启阀；其中，收集主管(13)与所述尾气管道(2)相连通且位于所述去尘机构的下端；所述吸附单元安装在收集主管(13)内，且其一端连接所述收集容器、另一端连接有开启阀；
所述控制机构包括气压传感器(1)以及控制器，所述气压传感器(1)用于获取所述尾气管道(2)内的压力差，所述控制器根据所述气压传感器(1)的信号控制所述隔挡自动阀(12)和/或所述开启阀的开闭。
2.根据权利要求1所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述收集主管(13)的局部段并排连通设置有第一进气支路管(10)与第二进气支路管(11)，且所述第一进气支路管(10)设置在所述格挡单元的一侧，所述第二进气支路管(11)设置在所述格挡单元的另一侧；
所述第一进气支路管(10)的另一端与所述第二进气支路管(11)的另一端相连通，且连通处安装所述气压传感器(1)。
3.根据权利要求2所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动壳体和驱动气管，所述驱动壳体安装在所述尾气管道(2)的外侧，且位于所述第一进气支路管(10)与所述第二进气支路管(11)之间；所述驱动壳体内嵌有所述动力单元的一端；
所述驱动气管与所述驱动壳体连通，所述隔挡自动阀(12)设置于所述驱动气管中，且所述驱动气管内通有压缩的气体。
4.根据权利要求1所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述格挡单元为过滤网(5)，所述过滤网(5)采用具有耐腐蚀、耐高温特性的材料制成且开设有多个设定孔径大小的网孔。
5.根据权利要求1所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述去除单元为刮刀(4)，所述刮刀(4)采用不锈钢材质制成。
6.根据权利要求3所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述动力单元为推杆(3)，所述推杆(3)嵌入所述驱动壳体的一端为T型，且所述推杆(3)的另一端为圆柱形。
7.根据权利要求1所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述开启阀包括第一自动阀(7)、第二自动阀(6)、第三自动阀(9)、第四自动阀(8)；
所述收集主管(13)的另一端与吸附单元形成T形管路结构，且所述收集主管(13)与所述吸附单元之间安装所述第一自动阀(7)；
所述吸附单元的一端安装所述第二自动阀(6)；
所述吸附单元与所述收集容器之间安装所述第三自动阀(9)；
所述收集容器开设有与其相连通的排放管，且所述排放管与收集容器之间安装所述第四自动阀(8)。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述控制器设置在所述尾气管道(2)的外侧且通过线缆与所述气压传感器(1)、所述隔挡自动阀(12)以及所述开启阀电信号连接。
9.根据权利要求1-7任一项所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述气压传感器(1)具体为压差变送器，所述控制器为可编程逻辑控制器。
10.根据权利要求1-7任一项所述的一种尾气前处理装置，其特征在于，所述吸附单元具体为文丘里阀，所述文丘里阀和与其相连的管道构成先收缩而后逐渐扩大的结构。
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