CN215118868U - 一种吸盘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸盘结构,包括固定板和吸取板，吸取板包括进气部、吸取部、吸盘侧部和封部，进气部上固设有沿水平进气的进气槽，吸取部和吸盘侧部固设有吸取槽，进气槽与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片，本实用新型在吸盘上设置进气阀，进气阀与真空发生器直接连通，实现一对一的进气方式，减少气体流通路径，每组吸盘的供气量相同，保证不同位置吸盘对硅片的吸取力，提高了硅片的合格率，本实用新型在吸盘上设置吸盘侧部，通孔的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

Description

一种吸盘结构

技术领域

本实用新型属于光伏领域，涉及一种吸盘结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现。

现有工艺中有需求将一个花篮中位于一个凹槽中的两片硅片进行分片、吸取以及合片，通常采用进气组件为吸盘供气，进气组件将气体喷射到气腔内，气腔与每个吸盘连通，即采用一通多的方式进行气体连通，这容易导致不同位置吸盘吸气量存在差异，进而使不同位置吸盘对硅片的吸附力不同，硅片受力不均衡，容易出现破损等问题，本实用新型有效地解决了这种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种吸盘结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种吸盘结构，其特征在于：包括固定板和吸取板，吸取板包括进气部、吸取部、吸盘侧部和封部，进气部上固设有沿水平进气的进气槽，吸取部和吸盘侧部固设有吸取槽，进气槽与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片。

进一步的；所述固定板设置有安装孔和插槽，安装孔作为连接杆的贯穿孔，连接杆贯穿安装孔将若干吸盘进行连接组成吸盘机构，安装孔内设有滑动或者滚动组件，用于连接杆和吸盘的滑动连接。

进一步的；所述安装孔和插槽分别连通有紧固孔，紧固件顶入紧固孔使滑动或者滚动组件与吸盘保持固定，进气部插入插槽，紧固件顶入紧固孔将进气部固定在插槽内。

进一步的；所述进气部连通设置有进气管接头，进气槽与进气管接头连通，进气槽的进气方向设置为水平方向，且进气管接头与吸盘侧部位于吸盘的不同侧。进一步的；所述吸盘侧部固设于吸取部的侧面，吸取部以及吸盘侧部的侧边设置为楔形结构，便于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

进一步的；所述气体通道包括固设于吸盘侧面的通气槽，通气槽与进气槽连通，通气槽连通设置有封腔，封腔与封部相配，封部安装在封腔内，封部安装后与吸取部侧面处于同一平面，通气槽由位于吸取部的通气槽一以及位于吸盘侧部的通气槽二构成，通气槽一分别与进气槽和通气槽二连通，通气槽设置有贯穿的通孔，吸取槽与通气槽位于吸取部相对的侧面，吸取槽由位于吸取部的吸取槽一以及位于吸盘侧部的吸取槽二构成，吸取槽一和吸取槽二分别与通气槽一和通气槽二位置相对，通气槽通过通孔与吸取槽连通。

进一步的；所述吸取板采用一体成型工艺，固定部与吸取板采用分体结构。

进一步的；所述进气部与吸取部通过斜台平滑连接，斜台与进气部的端面以及吸取部的端面所成角度为钝角。

进一步的；所述吸盘侧部设置为两组，进气部、吸取部以及两组吸盘侧部形成F型结构，进气部和吸取部形成F型的竖直结构，两组吸盘侧部与吸取部以直角或近似直角的角度连接。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

1)、本实用新型在吸盘上设置进气管接头，进气管接头与真空发生器直接连通，实现一对一的进气方式，减少气体流通路径，每组吸盘的供气量相同，保证不同位置吸盘对硅片的吸取力，提高了硅片的合格率。

2)、本实用新型增加吸盘侧部对硅片进行吸附，增加吸附硅片的稳定性。

3)、本实用新型的吸取部和吸盘侧部的侧边设置为楔形结构，便于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

4)、本实用新型在吸盘上设置吸盘侧部，通孔的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

附图说明

图1为本实用新型系统组装示意图。

图2为本实用新型的缓存装置示意图。

图3为本实用新型的取片装置示意图。

图4为本实用新型的取片吸盘机构示意图一。

图5为本实用新型的取片吸盘机构示意图二。

图6为本实用新型的第一吸盘示意图一。

图7为本实用新型的第一吸盘示意图二。

图8为本实用新型无封部的第一吸盘示意图三。

图9为本实用新型第一吸盘组装示意图。

图10为图9中A-A的剖切示意图。

图11为图9中B-B的剖切示意图。

图12为本实用新型的上接片机构示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-12所示，一种硅片的导片系统，包括输送装置、缓存装置2、储存装置、取片装置4和接片装置，输送装置、缓存装置2和储存装置对空载花篮或装载硅片的花篮进行输送，取片装置4用于硅片在储存装置和接片装置间的传输。

输送装置包括上料输送机构1和下料输送机构8，上料输送机构1将装载未加工硅片的花篮输送至缓存装置2，下料输送机构8对由缓存装置2输入的空花篮或装载已加工硅片的花篮进行输送，本实施例中，上料输送机构1和下料输送机构8结构相同，以下结构说明以上料输送机构1为例：上料输送机构1设置有两组，且两组对称分布，上料输送机构1采用AGV输送线，其长度可容纳多组花篮同时进行输送，上料输送机构1在输送方向的两端固设有来料阻挡气缸，与缓存装置2相对的上料输送机构1端面两侧固设有对称的两组来料对射传感器，两组来料对射传感器和来料阻挡气缸共同配合实现花篮依次单个输送到缓存装置2的目的，另外，上料输送机构1还设置有若干传感器，传感器的数量与上料输送机构1一次性承载花篮的数量一致，且相邻传感器的间距可调，传感器对花篮满缺料状态进行检测，实现了对硅片数量的精细控制。

缓存装置2设置有两组，分别与两组上料输送机构1或两组下料输送机构8相对，缓存装置2包括缓存升降机构21和缓存输送机构22，缓存升降机构21与缓存输送机构22连接，并控制缓存输送机构22升降，使缓存输送机构22分别与上料输送机构1和下料输送机构8对接，实现花篮在两者间的输送，本实施例中，缓存升降机构21采用滚珠丝杆传动方式控制控制缓存输送机构22升降，具体来说，缓存升降机构21包括缓存机架215和固设在缓存机架215的缓存电机214，缓存电机214的输出端与滚珠丝杆(图未显示)固设连接，滚珠丝杆连接有与缓存机架215滑动连接的缓存移动块211，缓存移动块211与缓存输送机构22固设连接，缓存电机214驱动缓存移动块211上下移动进而带动缓存输送机构22升降，如图2所示，两组缓存输送机构22位置相对；缓存输送机构22的长度与单个花篮长度相配，即缓存输送机构22用于输送单个花篮，缓存输送机构22在输送方向端面固设有缓存阻挡气缸，缓存阻挡气缸两侧固设有对称的两组缓存对射传感器，两组缓存对射传感器和缓存阻挡气缸共同配合实现对单个花篮输送的目的，同时控制花篮输送速度和时间。

缓存装置2还包括缓存感应装置，缓存感应装置包括上缓存传感器210、下缓存传感器213以及限制缓存传感器212，上缓存传感器210以及下缓存传感器213位于缓存机架215的两端，限制缓存传感器212位于上缓存传感器210上方且靠近上缓存传感器210的位置，上缓存传感器210、下缓存传感器213以及限制缓存传感器212结构相同，缓存输送机构22上设有缓存挡片216，缓存挡片216随缓存输送机构22升降，上缓存传感器210采用感光原理，上缓存传感器210、下缓存传感器213以及限制缓存传感器212包括相对设置的感应板，上缓存传感器210、下缓存传感器213以及限制缓存传感器212通电后一侧感应板发出光束，另一侧感应板感应光束，当缓存挡片216随缓存输送机构22移动至上缓存传感器210的感应板之间时，感应端接收不到光束信号，控制缓存电机214使缓存输送机构22与上料输送机构1位置相对，此时上料输送机构1将装载未加工硅片的花篮输送至缓存输送机构22，缓存输送机构22将装载未加工硅片的花篮输送至储存装置，当缓存挡片216随缓存输送机构22移动至下缓存传感器213的感应板之间时，感应端接收不到光束信号，控制缓存电机214使缓存输送机构22与下料输送机构8位置相对，缓存输送机构22将装载未加工硅片的花篮输送至储存装置，输送线翻转后，储存装置将空花篮或装载已加工硅片的花篮输送至缓存输送机构22，缓存输送机构22将空花篮或装载已加工硅片的花篮输送至下料输送机构8，从而实现空载、装载未加工硅片以及已加工硅片的花篮的自动输送；若上缓存传感器213出现问题使缓存输送机构22继续移动时，缓存挡片216移动至限制缓存传感器212的感应板之间时，此时通过信号控制缓存电机214停止工作，综上所述，上缓存传感器210以及下缓存传感器213控制缓存输送机构22分别与上料输送机构1和下料输送机构8对接，限制缓存传感器212为缓存输送机构22进行双重保护，进一步提高了缓存装置2的可靠性和安全性。

储存装置包括上花篮储存机构3和下花篮储存机构7，上花篮储存机构3和下花篮储存机构7结构相同且上下分布，以下以上花篮储存机构3进行结构说明，上花篮储存机构3设置有两组，且两组上花篮储存机构3分别与两组缓存输送机构22对应，上花篮储存机构3包括上储存机架31和上储存输送机构32，上料输送机构1、缓存输送机构22、上储存输送机构32和下储存输送机构组成装载未加工硅片花篮的输出路径，具体来说，上料输送机构1将装载未加工硅片的花篮通过缓存输送机构22输送至上储存输送机构32以及下花篮储存机构7的下储存输送机构，输送线翻转时，上储存输送机构32以及下储存输送机构将空花篮或将装载已加工硅片的花篮输送至缓存输送机构22，缓存输送机构22将空花篮或将装载已加工硅片的花篮输送至下料输送机构8，上储存输送机构32的长度与单个花篮长度相配，输送至上储存输送机构32上的花篮通过夹紧装置固定，防止取片装置4取片时造成偏移，影响取片效率，本实施例中，上花篮储存机构3上设有用于检测花篮内有无硅片的对射传感器以及用于检测来料花篮朝向的朝向传感器，所述朝向传感器防止花篮输送时发生反放错误。

取片装置4包括两组取片吸盘机构41、两组取片升降机构42以及取片横移机构43，一组取片吸盘机构41与一组取片升降机构42形成取片升降机构，两组取片升降机构对称设置，取片横移机构43位于两组取片升降机构之间且分别与两组取片升降机构连接，取片横移机构43控制取片升降机构横向移动，取片横移机构43控制取片吸盘机构41分别与储存装置以及接片装置的对接；取片升降机构42控制取片吸盘机构41升降，取片横移机构43控制取片吸盘机构41横向移动，本实施例中，取片升降机构42与缓存升降机构21结构相同，采用滚珠丝杆传动方式控制取片吸盘机构41升降，取片升降机构42还包括取片感应装置，取片感应装置与缓存感应装置结构相同，取片感应装置控制取片吸盘机构41的向上以及向下的极限位置，保证取片吸盘机构41在设定的范围内移动，提高了取片装置4的可靠性和安全性。

取片装置4还包括取片旋转机构44，取片旋转机构44位于取片吸盘机构41和取片升降机构42之间，取片旋转机构44包括摆动气缸，摆动气缸控制取片吸盘机构41转动，本实施例中，转动角度优选为180°或近似180°，转动角度根据储存装置、接片装置相对于取片装置4的位置决定的。

取片吸盘机构41包括吸取组件411、固定组件412和间距调整动力组件，吸取组件411包括第一吸盘组件和第二吸盘组件，第一吸盘组件包括若干第一吸盘，第二吸盘组件包括若干第二吸盘，固定组件412包括安装板4123、固连板4122以及连接安装板4123和固连板4122的若干连接杆4141，第一吸盘以及第二吸盘分别套设并固定在连接杆4141上，第一吸盘以及第二吸盘交错分布，相邻的第一吸盘以及第二吸盘间形成间隙槽，硅片吸取进入间隙槽内，相邻的两组第一吸盘以及相邻的两组第二吸盘间设有间距紧固装置415，间距紧固装置415控制间隙槽的间距。

固定组件412的安装板4123以及固连板4122形成安装吸取组件411的安装区域，第一吸盘组件和第二吸盘组件位于安装区域内，连接杆4141两端分别与安装板4123和固连板4122固定连接，本实施例中，连接杆4141数量设置有四组，第一吸盘组件与第二吸盘组件分别与两组连接杆4141配合，保证第一吸盘组件与第二吸盘组件的稳定性，安装板4123和固连板4122间固设有机板4121，安装板4123、固连板4122和机板4121构成稳定的机架型结构，机板4121与取片旋转机构44连接。

间距调整动力组件包括气缸413，气缸413通过进气机架4124与固定组件412固设连接，气缸413的伸缩杆端面固设有推板4133，位于第一吸盘组件与第二吸盘组件上的一组连接杆4141贯穿推板4133，并与推板4133滑动连接，气缸413驱动推板4133沿连接杆4141滑动，每组第一吸盘和第二吸盘连接有进气管接头4132，进气管接头4132外接真空发生器，实现气体流通。

第一吸盘的数量与第二吸盘的数量相配，且本实施例中第一吸盘和第二吸盘的结构相同，以下以第一吸盘结构进行说明，第一吸盘包括固定板4112和吸取板4111，吸取板4111包括进气部4113、吸取部4111、吸盘侧部4114和封部4115，进气部4113上固设有沿水平进气的进气槽41131，吸取部4111和吸盘侧部4114固设有吸取槽41111，进气槽41131与吸取槽41111间连通有气体通道，第一吸盘通过吸取槽41111吸取硅片。

固定板4112设置有安装孔41123和插槽，安装孔41123作为连接杆4141的贯穿孔，连接杆4141贯穿安装孔41123将若干第一吸盘进行连接，安装孔41123内设有滑动或者滚动组件，比如衬套、滑动轴承等，在本例中为衬套，安装孔41123和插槽分别连通有紧固孔41124，紧固件顶入紧固孔41124使滑动或者滚动组件与第一吸盘保持固定，进气部4113插入插槽，紧固件顶入紧固孔41124将进气部4113固定在插槽内，保证固定板4112和吸取板4111的稳定性。

进气部4113与吸取部4111通过斜台平滑连接，斜台与进气部4113的端面以及吸取部4111的端面所成角度为钝角，防止出现堆积，有利于提高合格率，进气槽41131与进气管接头4132连通，进气槽41131的进气方向为水平方向，且进气管接头4132与吸盘侧部4114位于吸取部4111的不同侧。

本实施例中，吸盘侧部4114设置为两组，进气部4113、吸取部4111以及两组吸盘侧部4114形成F型结构，进气部4113和吸取部4111形成F型的竖直结构，两组吸盘侧部4114固设于吸取部4111的侧面，并与吸取部4111以设定角度连接，优选角度为直角或近似直角，吸取部4111以及吸盘侧部4114的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

气体通道包括固设于吸盘侧面且开口朝外的通气槽41113，通气槽41113与进气槽41131连通，通气槽41113前侧连通设置有封腔41114，封腔41114宽度大于通气槽41113的宽度，封腔41114与封部4115相配，封部4115安装在封腔41114内，封部4115安装后与吸取部4111侧面处于同一平面，避免影响硅片的吸取，通气槽41113由位于吸取部4111的通气槽一以及位于吸盘侧部4114的通气槽二构成，通气槽一与两组通气槽二形成F型结构，通气槽一分别与进气槽41131和通气槽二连通，通气槽41113设置有贯穿的通孔41112，本实施例中，通孔41112数量设置有五组，其中两组通孔41112分别固设在通气槽二上，其余三组通孔41112固设在通气槽一，吸取槽41111与通气槽41113位于吸取部4111相对的侧面，吸取槽41111的宽度与通孔41112直径相配，吸取槽41111由位于吸取部4111的吸取槽一以及位于吸盘侧部4114的吸取槽二构成，吸取槽一和吸取槽二分别与通气槽一和通气槽二位置相对，两组通孔41112分别位于两组吸取槽二内且与吸取槽二连通，三组通孔41112均匀分布在吸取槽一内，即通气槽41113通过通孔41112与吸取槽41111连通，通孔41112的分布位置增加了第一吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

如图10-11所示，以第一吸盘组件为例，间距紧固装置415包括第一连接件4151和第二连接件4152，第一连接件4151包括顶端和连接端，顶端的直径大于连接端的直径，第一吸盘的固定板4112上固设有第一间距孔41121和第三间距孔41125，相邻第一吸盘上的第一间距孔41121和第三间距孔41125位置相反，使一组第一吸盘上的第一间距孔41121与相邻另一组第一吸盘上的第三间距孔41125位置相对，第一间距孔41121连通有第二间距孔41122，第一间距孔41121以及第二间距孔41122形成沉孔结构，第一间距孔41121的尺寸大于第三间距孔41125尺寸，且第一间距孔41121尺寸与第一连接件4151的顶端尺寸相配，第三间距孔41125尺寸与第一连接件4151的连接端尺寸相配，第一连接件4151装配时，第一连接件4151的连接端与一组第一吸盘上的第三间距孔41125固设连接，第一连接件4151的顶端插入另一组第一吸盘上的第一间距孔41121，通过第一连接件4151的顶端在第一间距孔41121的移动控制间距，另外也可通过控制连接端插入第三间距孔41125的长度，进一步控制间距，第二连接件4152插入第二间距孔41122并向相邻的另一组第一吸盘延伸，第二连接件4152控制间距的最小值，本实施例间距调整过程如下，如图5所示，气缸413驱动推板4133移动，进而推动与之相邻的第一组第一吸盘，第一组第一吸盘移动直至第二连接件4152与第二组第一吸盘相抵，此时第一组第一吸盘和第二组第一吸盘间距为最小值，气缸413继续工作，通过第二连接件4152的抵接力带动第三组第一吸盘滑动，依次操作，直至第一吸盘组件的间距达到最小值，气缸413反向工作，使第一吸盘组件的间距达到最大值，从而控制间隙槽的间距，使装置可适应不同硅片的提取，提高了装置的适用范围。

接片装置包括上接片机构5和下接片机构6，上接片机构5和下接片机构6分别设置有两组，上接片机构5和下接片机构6结构相同，以下以上接片机构5的结构进行说明，上接片机构5包括调整组件51和接片组件52，接片组件52设置有两组，两组接片组件52的相对侧面固设有接片板521，相邻的接片板521构成收纳硅片的接片槽，调整组件51相对于接片组件52移动，对进入接片槽的硅片进行规整，保证硅片齐整，方便后续工序，另外，两组接片组件52的间距可通过手动调节，以便适应不同尺寸的硅片，接片槽长度方向与取片装置4的硅片输送方向一致，相邻的接片槽平行设置，当硅片输送至接片槽时，通过接片槽对硅片进行一致性规整，取片装置4实现了将硅片依次导入接片槽的目的。

在本实施例实施过程中，上料输送机构1将装载未加工硅片的花篮通过缓存输送机构22输送至上储存输送机构32，取片横移机构43以及取片升降机构42控制取片吸盘机构41与位于上储存输送机构32上的花篮相配，并通过取片吸盘机构41依次将硅片吸取并输送至上接片机构5的接片槽内，方便硅片的后续加工，为最大限度提高导片工作效率，缓存升降机构21控制缓存输送机构22与下储存输送机构相对，装载未加工硅片的花篮通过缓存输送机构22输送至下储存输送机构，取片吸盘机构41将位于下储存输送机构上花篮内的硅片吸取并输送至下接片机构6的接片槽内，上述机构依次交替运行，保证了取片装置4始终处于导片状态，最大限度提高导片工作效率，当位于上储存输送机构32以及下储存输送机构上的花篮内硅片完全导出，将上储存输送机构32以及下储存输送机构反转，将空花篮输送至缓存输送机构22，再输送至下料输送机构8，从而实现将未加工硅片从花篮输送至接片装置的上料工序，硅片加工完成后，上述工序反转操作，实现将已加工硅片从接片装置导入至花篮的下料工序，如此循环往复实现硅片自动上下料。

本实施例中，吸取组件411还可包括真空过滤器，真空过滤器可过滤空气中的杂质，保护设备的正常使用，从而提高设备的使用寿命。

本实施例，吸取板4111采用一体成型工艺，固定部411与吸取板4111采用分体结构。

在其他实施例中，固定部411与吸取板4111也可采用一体成型工艺。

在其他实施例中，吸取组件411可仅包括第一吸盘组件或第二吸盘组件。

在其他实施例中，吸盘侧部4114也可设置一组，吸盘侧部4114、进气部4113和吸取部4111形成T型的竖直结构，或吸盘侧部4114数量设置为三组、四组或更多。

在其他实施例中，取片旋转机构44也可采用旋转电机控制取片吸盘机构41转动。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (9)

1.一种吸盘结构,其特征在于：包括固定板和吸取板，吸取板包括进气部、吸取部、吸盘侧部和封部，进气部上固设有沿水平进气的进气槽，吸取部和吸盘侧部固设有吸取槽，进气槽与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片。

2.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述固定板设置有安装孔和插槽，安装孔作为连接杆的贯穿孔，连接杆贯穿安装孔将若干吸盘进行连接组成吸盘机构，安装孔内设有滑动或者滚动组件，用于连接杆和吸盘的滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述安装孔和插槽分别连通有紧固孔，紧固件顶入紧固孔使滑动或者滚动组件与吸盘保持固定，进气部插入插槽，紧固件顶入紧固孔将进气部固定在插槽内。

4.根据权利要求3所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述进气部连通设置有进气管接头，进气槽与进气管接头连通，进气槽的进气方向设置为水平方向，且进气管接头与吸盘侧部位于吸盘的不同侧。

5.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述吸盘侧部固设于吸取部的侧面，吸取部以及吸盘侧部的侧边设置为楔形结构，便于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

6.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述气体通道包括固设于吸盘侧面的通气槽，通气槽与进气槽连通，通气槽连通设置有封腔，封腔与封部相配，封部安装在封腔内，封部安装后与吸取部侧面处于同一平面，通气槽由位于吸取部的通气槽一以及位于吸盘侧部的通气槽二构成，通气槽一分别与进气槽和通气槽二连通，通气槽设置有贯穿的通孔，吸取槽与通气槽位于吸取部相对的侧面，吸取槽由位于吸取部的吸取槽一以及位于吸盘侧部的吸取槽二构成，吸取槽一和吸取槽二分别与通气槽一和通气槽二位置相对，通气槽通过通孔与吸取槽连通。

7.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述吸取板采用一体成型工艺，固定部与吸取板采用分体结构。

8.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述进气部与吸取部通过斜台平滑连接，斜台与进气部的端面以及吸取部的端面所成角度为钝角。

9.根据权利要求1所述的一种吸盘结构，其特征在于：所述吸盘侧部设置为两组，进气部、吸取部以及两组吸盘侧部形成F型结构，进气部和吸取部形成F型的竖直结构，两组吸盘侧部与吸取部以直角或近似直角的角度连接。

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