CN215103507U - 一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了磁控溅射镀膜机的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，包括镀膜箱，所述镀膜箱的内顶壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有载物架，所述镀膜箱的右侧壁安装有电子枪，所述镀膜箱的右侧壁转动连接有支撑轴，所述支撑轴的下方设置有转动组件，所述支撑轴的左端铰接有底座，所述支撑轴的外表面固定连接有连接板，所述连接板左侧面的下部铰接有电动推杆。本实用新型设计结构合理，它能够通过第二电机、第一齿轮、第二齿轮、支撑轴、底座、坩埚、镀膜箱、电动推杆以及凹槽的配合设置，对该装置的溅射角度进行调节，提高了该装置的镀膜效果，增加了该装置的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射镀膜机领域，具体是一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机。
背景技术
磁控溅射镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器。在低气压下电子对阴极靶材进行高速撞击，与靶材发生反应，产生金属物质溅射到基面上，对基面进行镀膜，磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
现有的磁控溅射镀膜机无法对溅射角度进行调节，这就造成磁控溅射镀膜机在使用时，电子枪无法将坩埚内的靶材无法完全蒸发，不仅降低了该装置的镀膜效果，而且造成资源的浪费，为此，我们提出一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，包括镀膜箱，所述镀膜箱的内顶壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有载物架，所述镀膜箱的右侧壁安装有电子枪，所述镀膜箱的右侧壁转动连接有支撑轴，所述支撑轴的下方设置有转动组件，所述支撑轴的左端铰接有底座，所述支撑轴的外表面固定连接有连接板，所述连接板左侧面的下部铰接有电动推杆，所述电动推杆的输出端与底座底面的左侧相铰接，所述底座的内部设有坩埚，所述底座与坩埚之间设置有一组卡接组件，所述坩埚的上表面开设有凹槽，所述坩埚的底面固定连接有磁板，所述坩埚的正面安装有把手；通过以上结构的配合设置，启动电子枪，电子枪工作发射出电子对凹槽内部的靶材进行轰击，电子与靶材发生反应，产生金属物质对载物架上的基板进行溅射，从而能够对基板进行镀膜。
作为本实用新型进一步的方案：所述转动组件包括第二电机和第二齿轮，所述第二电机的固定连接于镀膜箱的右侧壁，所述第二电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述支撑轴的外表面固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合；通过以上结构的配合设置，第二电机工作能够带动第一齿轮进行转动，通过第一齿轮与第二齿轮的配合设置，第一齿轮转动能够带动第二齿轮进行转动，第二齿轮转动能够带动支撑轴，从而能够便于带动支撑轴进行转动。
作为本实用新型再进一步的方案：所述卡接组件包括卡槽和滑槽，所述卡槽开设于底座的内壁，所述滑槽开设于坩埚的外表面，所述滑槽的内壁固定连接有弹簧，所述弹簧远离滑槽内壁的一端固定连接有卡珠，所述卡珠的外表面与滑槽的内壁滑动连接，所述卡珠的外表面与卡槽的内壁相卡接；通过以上结构的配合设置，向上拽动把手能够带动坩埚以及卡珠向上移动，由于卡槽的作用力，卡珠向上移动的同时将对弹簧进行压缩，当卡珠完全脱离卡槽的内部时，卡珠将解除与卡槽的卡接，坩埚也将脱离底座的内部，从而能够对将坩埚从底座上取下，无需操作人员将手伸入该装置的内部进行靶材补充，降低了操作难度。
作为本实用新型再进一步的方案：所述凹槽的位置与电子枪的位置相对应；通过以上结构的配合设置，能够使电子枪对凹槽内部的靶材进行准确轰击。
作为本实用新型再进一步的方案：所述镀膜箱的内顶壁固定连接有防护箱，且所述防护箱套设于第一电机的外部；通过设置的防护箱，能够防止该装置在使用时，靶材溅射到第一电机上，避免对第一电机造成损伤。
作为本实用新型再进一步的方案：所述底座的内壁开设有限位槽，所述坩埚背面固定连接有限位块，所述限位块卡接于限位槽的内部；通过设置的限位槽和限位块，在对坩埚进行安装时，将限位块插入限位槽的内部，向下压动把手能够带动坩埚向下移动，同时使卡珠卡接于卡槽的内部，从而能够便于对坩埚进行安装。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过第二电机、第一齿轮、第二齿轮、支撑轴、底座、坩埚、镀膜箱、电动推杆以及凹槽的配合设置，第二电机工作能够带动坩埚在垂直于镀膜箱正面的方向上进行转动，电动推杆工作能够带动坩埚在平行于镀膜箱正面的方向进行转动，通过改变坩埚的角度来改变凹槽的角度，进而能够对该装置的溅射角度进行调节，提高了该装置的镀膜效果，增加了该装置的实用性。
2、本实用新型中，通过坩埚、卡珠、卡槽、滑槽以及底座的配合设置，向上拉动把手能够使卡珠脱离卡槽的内部，解除卡槽与卡珠的卡接，当坩埚也脱离底座的内部时，就能够将坩埚从底座上取下，从而无需操作人员将手伸入该装置的内部进行靶材补充，降低了操作难度。
附图说明
图1为本实用新型正视图的剖视图；
图2为本实用新型底座部位的结构示意图；
图3为本实用新型坩埚部位的结构示意图；
图4为本实用新型图1中A处结构放大示意图。
图中：1、镀膜箱；2、第一电机；3、载物架；4、防护箱；5、电子枪；6、支撑轴；7、连接板；8、转动组件；801、第二电机；802、第一齿轮；803、第二齿轮；9、底座；10、电动推杆；11、坩埚；12、卡接组件；121、卡槽；122、滑槽；123、弹簧；124、卡珠；13、凹槽；14、磁板；15、限位块；16、限位槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～4，本实用新型实施例中，镀膜箱1，镀膜箱1的内顶壁固定连接有第一电机2，第一电机2的输出端固定连接有载物架3，镀膜箱1的右侧壁安装有电子枪5，镀膜箱1的右侧壁转动连接有支撑轴6，支撑轴6的下方设置有转动组件8，支撑轴6的左端铰接有底座9，支撑轴6的外表面固定连接有连接板7，连接板7左侧面的下部铰接有电动推杆10，电动推杆10的输出端与底座9底面的左侧相铰接，底座9的内部设有坩埚11，底座9与坩埚11之间设置有一组卡接组件12，坩埚11的上表面开设有凹槽13，坩埚11的底面固定连接有磁板14，坩埚11的正面安装有把手；通过以上结构的配合设置，启动电子枪5，电子枪5工作发射出电子对凹槽13内部的靶材进行轰击，电子与靶材发生反应产生的金属物质对载物架3上的基板进行溅射，从而能够对基板进行镀膜。
其中：转动组件8包括第二电机801和第二齿轮803，第二电机801的固定连接于镀膜箱1的右侧壁，第二电机801的输出端固定连接有第一齿轮802，支撑轴6的外表面固定连接有第二齿轮803，第二齿轮803与第一齿轮802相啮合；通过以上结构的配合设置，第二电机801工作能够带动第一齿轮802进行转动，通过第一齿轮802与第二齿轮803的配合设置，第一齿轮802转动能够带动第二齿轮803进行转动，第二齿轮803转动能够带动支撑轴6，从而能够便于带动支撑轴6进行转动。
其中：卡接组件12包括卡槽121和滑槽122，卡槽121开设于底座9的内壁，滑槽122开设于坩埚11的外表面，滑槽122的内壁固定连接有弹簧123，弹簧123远离滑槽122内壁的一端固定连接有卡珠124，卡珠124的外表面与滑槽122的内壁滑动连接，卡珠124的外表面与卡槽121的内壁相卡接；通过以上结构的配合设置，向上拽动把手能够带动坩埚11以及卡珠124向上移动，由于卡槽121的作用力，卡珠124向上移动的同时将对弹簧123进行压缩，当卡珠124完全脱离卡槽121的内部时，卡珠124将解除与卡槽121的卡接，坩埚11也将脱离底座9的内部，从而能够对将坩埚11从底座9上取下，无需操作人员将手伸入该装置的内部进行靶材补充，降低了操作难度。
其中：凹槽13的位置与电子枪5的位置相对应；通过以上结构的配合设置，能够使电子枪5对凹槽13内部的靶材进行准确轰击。
其中：镀膜箱1的内顶壁固定连接有防护箱4，且防护箱4套设于第一电机2的外部；通过设置的防护箱4，能够防止该装置在使用时，靶材溅射到第一电机2上，避免对第一电机2造成损伤。
其中：底座9的内壁开设有限位槽16，坩埚11背面固定连接有限位块15，限位块15卡接于限位槽16的内部；通过设置的限位槽16和限位块15，在对坩埚11进行安装时，将限位块15插入限位槽16的内部，向下压动把手能够带动坩埚11向下移动，同时使卡珠124卡接于卡槽121的内部，从而能够便于对坩埚11进行安装。
本实用新型的工作原理是：当需要对该装置的溅射角度进行调节时，首先启动第二电机801，第二电机801工作能够带动第一齿轮802进行转动，通过第一齿轮802与第二齿轮803的配合设置，第一齿轮802转动能够带动第二齿轮803进行转动，第二齿轮803转动能够带动支撑轴6、底座9以及坩埚11进行转动，从而能够坩埚11垂直于镀膜箱1正面方向上的角度，启动电动推杆10，电动推杆10工作能够带动底座9的左端以底座9的右端为圆心进行转动，底座9的转动能够带动坩埚11进行转动，从而能够改变坩埚11平行于镀膜箱1正面方向上的角度，通过改变坩埚11的角度来改变凹槽13的角度，进而能够对该装置的溅射角度进行调节，提高了该装置的镀膜效果，增加了该装置的实用性，当需要对该装置进行靶材补充时，向上拉动把手能够带动坩埚11以及卡珠124向上移动，由于卡槽121的作用力，卡珠124向上移动的同时将对滑槽122进行压缩，当卡珠124完全脱离卡槽121的内部时，卡槽121将解除与卡珠124的卡接，坩埚11也将脱离底座9的内部，从而能够将坩埚11从底座9上取下，无需操作人员将手伸入该装置的内部进行靶材补充，降低了操作难度。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)的内顶壁固定连接有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出端固定连接有载物架(3)，所述镀膜箱(1)的右侧壁安装有电子枪(5)，所述镀膜箱(1)的右侧壁转动连接有支撑轴(6)，所述支撑轴(6)的下方设置有转动组件(8)，所述支撑轴(6)的左端铰接有底座(9)，所述支撑轴(6)的外表面固定连接有连接板(7)，所述连接板(7)左侧面的下部铰接有电动推杆(10)，所述电动推杆(10)的输出端与底座(9)底面的左侧相铰接，所述底座(9)的内部设有坩埚(11)，所述底座(9)与坩埚(11)之间设置有一组卡接组件(12)，所述坩埚(11)的上表面开设有凹槽(13)，所述坩埚(11)的底面固定连接有磁板(14)，所述坩埚(11)的正面安装有把手。
2.根据权利要求1所述的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述转动组件(8)包括第二电机(801)和第二齿轮(803)，所述第二电机(801)的固定连接于镀膜箱(1)的右侧壁，所述第二电机(801)的输出端固定连接有第一齿轮(802)，所述支撑轴(6)的外表面固定连接有第二齿轮(803)，所述第二齿轮(803)与第一齿轮(802)相啮合。
3.根据权利要求1所述的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述卡接组件(12)包括卡槽(121)和滑槽(122)，所述卡槽(121)开设于底座(9)的内壁，所述滑槽(122)开设于坩埚(11)的外表面，所述滑槽(122)的内壁固定连接有弹簧(123)，所述弹簧(123)远离滑槽(122)内壁的一端固定连接有卡珠(124)，所述卡珠(124)的外表面与滑槽(122)的内壁滑动连接，所述卡珠(124)的外表面与卡槽(121)的内壁相卡接。
4.根据权利要求1所述的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述凹槽(13)的位置与电子枪(5)的位置相对应。
5.根据权利要求1所述的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜箱(1)的内顶壁固定连接有防护箱(4)，且所述防护箱(4)套设于第一电机(2)的外部。
6.根据权利要求1所述的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述底座(9)的内壁开设有限位槽(16)，所述坩埚(11)背面固定连接有限位块(15)，且所述限位块(15)卡接于限位槽(16)的内部。
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