CN210065909U - 一种高效的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高效的真空镀膜机，属于真空镀膜机技术领域，其技术方案要点：包括：安装在镀膜机本体内底部的转架，所述转架包括活动安装在镀膜机本体底侧的公转盘，以及安装在公转盘承载面上的多个承接筒，所述承载筒底部竖直安装有穿过公转盘的转动杆，所述转动杆远离承载筒的一端连接有齿轮，所述镀膜机本体底侧安装有与齿轮相匹配的固定齿轮，所述公转盘上还安装有用于锁定承接筒的锁定组件。本实用新型在使用时，能够均匀镀膜工件，减少工件的镀膜时间，提高工作效率。

Description

一种高效的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种高效的真空镀膜机。

背景技术

镀膜也可以叫涂层，是在真空条件下，用物理的方法（蒸发或溅射等物理形式）将难熔金属涂层材料汽化成原子、分子或电离呈离子。通过气相过程在硬金属材料的表面沉积成涂层，涂层可使工件具备耐磨、耐高温、耐腐蚀。降低摩擦系数等属性，也可以通过涂层改变工件颜色。

目前有一种真空镀膜机，由真空镀膜机本体以及转架组成，转架上放置工件，转架采取公转与自转的方式来使工件能较均匀的镀膜。

但是，当工件在真空镀膜机自转的过程中，难以保证工件能够均匀的面向镀膜源，不能有选择性的镀膜，从而会造成镀膜不均匀，增加了工件的镀膜时间，继而降低了工作效率。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种高效的真空镀膜机，能够均匀镀膜工件，减少工件的镀膜时间，提高工作效率。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种高效的真空镀膜机，包括安装在镀膜机本体内底部的转架，所述转架包括活动安装在镀膜机本体底侧的公转盘，以及安装在公转盘承载面上的多个承载筒，所述承载筒底部竖直安装有穿过公转盘的转动杆，所述转动杆远离承载筒的一端连接有齿轮，所述镀膜机本体底侧安装有与齿轮相匹配的固定齿轮，所述公转盘上还安装有用于锁定承载筒的锁定组件。

采用上述技术方案，公转盘旋转使承载筒与镀膜机本体之间产生相对速度，当承载筒底部的齿轮与固定齿轮相啮合时，由于两者相对速度不同，使齿轮在固定齿轮的驱动下开始旋转，从而带动承载筒旋转，从而达到依靠公转盘的旋转带动承载筒自转的目的，在公转盘上安装的锁定组件能在承载筒自转后锁定承载筒的角度，从而使承载筒内的工件依次不同的角度面向镀膜源，使得工件的镀膜更加均匀，继而提高了工作效率，此设置的结构简单，具有实用意义。

本实用新型进一步设置: 所述锁定组件包括铰接在公转盘上靠近承载筒一侧的多个挡杆，以及均匀安装在承载筒外侧的多个挡块，所述挡杆与挡块相贴合，所述挡杆上设有一端与挡杆侧面连接、另一端与公转盘承载面连接的弹簧。

采用上述技术方案，在自转的过程中，由于固定齿轮与齿轮之间产生的旋转有一定惯性，因此需要设置锁定组件，使得承载筒旋转的角度能更加精准，锁定组件采用挡杆与挡块的设置，在承载筒旋转过程中，承载筒上的挡块在碰到挡杆时，承载筒能停止旋转，通过设置在挡杆上的弹簧，能使挡杆在承载筒开设旋转时，能使挡块脱离挡杆，从而达到了自动锁定与自动解锁的功能。

本实用新型进一步设置: 所述锁定组件包括：嵌合在承载筒底侧与公转盘相抵触的滚珠，以及开设在公转盘上与滚珠相匹配的限位槽，所述滚珠与承载筒的嵌合处之间安装有压缩弹簧。

采用上述技术方案，锁定组件采用滚珠与限位槽的设置，在滚珠移动到限位槽中时，可以锁定承载筒的角度，设置在滚珠的压缩弹簧能使滚珠贴合在公转盘上，当承载筒开设旋转时，能够使滚珠离开限位槽，从而解开承载筒的锁定，同样具有自动锁定，自动解锁的功能。

本实用新型进一步设置：所述承载筒内壁上安装有翻转架，所述翻转架穿出承载筒的部位连接有第一锥齿轮，所述承载筒外侧竖直安装有传动杆，所述传动杆靠近翻转架的一端连接有第二锥齿轮，所述传动杆远离第二锥齿轮的一端连接有平齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮相互啮合，所述平齿轮与齿轮相互啮合。

采用上述技术方案，依靠齿轮间的传动，使得在旋转筒旋转的过程中，能过带动翻转架自动翻转，从而使工件在水平方向旋转的同时，能够在垂直方向上进行翻转，继而使工件镀膜的更加均匀，提高了工作效率。

本实用新型进一步设置: 所述翻转架上安装有多组相对的夹持弹簧，所述夹持弹簧一端连接有固定块，所述夹持弹簧的另一端安装在翻转架上。

采用上述技术方案，设置的弹簧与固定块能较稳固的固定翻转架上的工件，从而减少在翻转架旋转与翻转过程中，工件从翻转架上掉落的情况。

本实用新型进一步设置: 所述承载筒侧面设为网状。

采用上述技术方案，将承载筒设置为网状能提高承载筒的通透性，从而使在承载筒上的工件能更充分的接受镀膜气体的冲击，提高工作效率。

本实用新型进一步设置: 所述承载筒底侧开设有开口，所述开口边缘处铰接有网状门板。

采用上述技术方案，通过设置开口与门板，能使工件更加方便的放入承载筒中，提高工作人员的操作便利性。

本实用新型进一步设置: 所述转动杆穿过公转盘的部位嵌合有轴承。

采用上述技术方案，设置的轴承能够减少传动杆与公转盘之间的摩擦力， 从而提高传动杆的旋转效率。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.公转盘旋转使承载筒与镀膜机本体之间产生相对速度，当承载筒底部的齿轮与固定齿轮相啮合时，由于两者相对速度不同，使齿轮在固定齿轮的驱动下开始旋转，从而带动承载筒旋转，从而达到依靠公转盘的旋转带动承载筒自转的目的，在公转盘上安装的锁定组件能在承载筒自转后锁定承载筒的角度，从而使承载筒内的工件依次不同的角度面向镀膜源，使得工件的镀膜更加均匀，继而提高了工作效率，此设置的结构简单，具有实用意义。

2. 依靠齿轮间的传动，使得在旋转筒旋转的过程中，能过带动翻转架自动翻转，从而使工件在水平方向旋转的同时，能够在垂直方向上进行翻转，继而使工件镀膜的更加均匀，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例1的锁定组件结构示意图；

图3是本实用新型实施例1中部分结构剖视图；

图4是本实用新型实施例2的锁定组件结构示意图。

附图标记：1、镀膜机本体；11、固定齿轮；2、转架；21、公转盘；211、轴承；22、承载筒；221、转动杆；222、齿轮；3、挡杆；31、挡块；32、弹簧；4、滚珠；41、限位槽；42、压缩弹簧；5、翻转架；51、第一锥齿轮；52、传动杆；53、第二锥齿轮；54、平齿轮；6、夹持弹簧；61、固定块；7、网状门板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：一种高效的真空镀膜机，如图1所示，镀膜机本体1包括真空腔体，抽气系统，以及镀膜源，在真空腔体的底部安装有转架2，抽气系统将真空腔体中的空气排出，从而在真空腔体形成近似真空的环境，镀膜源安装在镀膜机本体1的上侧，通过镀膜源上电场的加速，电子飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，从而形成薄膜，在镀膜机本体1内的转架2在旋转过程中，使工件能均匀受到离子与电子的轰击。

转架2包括活动安装在镀膜机本体1内底部的公转盘21，以及安装在公转盘21上的多个承载筒22，承载筒22安装在公转盘21上远离圆心的一侧，多个承载筒22均匀安装在公转盘21上，公转盘21底侧安装有电机，可以驱动公转盘21旋转，使得承载筒22绕着公转盘21中心公转。

在承载筒22底侧安装有转动杆221，转动杆221竖直穿过公转盘21，转动杆221远离承载筒22的一端键接有齿轮222，并且在镀膜机本体1底部侧边上固定有固定齿轮11，固定齿轮11与齿轮222互相匹配，当公转盘21旋转带动承载筒22靠近固定齿轮11时，由于齿轮222与固定齿轮11两者相对速度不同，使得齿轮222在固定齿轮11的啮合下旋转，从而使承载筒22进行自转，在公转盘21上安装有限定承载筒22自转后角度的锁定组件，使得承载筒22在自转后能选择性的将工件的一面面向镀膜源，从而提高了工作效率。

在本实施例中，如图2所示，锁定组件包括,铰接在公转盘21上的一组挡杆3，以及均匀安装在承载筒22外侧的两挡块31，挡杆3远离铰接处的一端安装有弹簧32，弹簧32的另一端安装在公转盘21的承载面上，当承载筒22上的挡块31旋转到挡杆3时，两侧的挡杆3挡住挡块31，使得承载筒22转动180°后锁定，挡杆3与挡块31的接触面均为弧形面，当承载筒22再次转动时，挡杆3依靠弹簧32的弹力，挡块31从挡杆3的接触位置脱离，从而解除锁定，从而使得工件的能够间歇式的停留在镀膜源前，从而提高了工件的镀膜效率。

如图3所示，在承载筒22内壁中间部位上安装有翻转架5，翻转架5为一个可转动的架子，翻转架5两端为转动轴，转动轴的一端与承载筒22内壁相抵触，转动轴的另一端穿出承载筒22，并且在转动轴位于承载筒22外侧的部位键接有第一锥齿轮51，第一锥齿轮51通过传动杆52传动，传动杆52竖直安装在承载筒22外侧，传动杆52的靠近第一锥齿轮51的一端键接有第二锥齿轮53，第一锥齿轮51与第二锥齿轮53之间相互啮合，传动杆52远离第二锥齿轮53的一端穿过公转盘21，并且键接有平齿轮54，平齿轮54位于远离公转盘21边缘的一侧，且平齿轮54与齿轮222之间相互啮合，翻转架5可承载工件，通过齿轮222的带动，使可以使翻转架5在承载筒22内进行翻转，从而提高工件的镀膜效率。

其中，在翻转架5上安装有两组相对的夹持弹簧6，夹持弹簧6的一端安装在翻转架5上、另一端连接有固定块61，固定块61之间相互抵触，在工件放置在翻转架5上时，拉开固定块61，使得固定块61通过夹持弹簧6的弹力将工件固定在翻转架5上，从而减少工件在翻转架5上翻转和转动时从翻转架5上掉落的情况。

承载筒22的侧面设置为网状，并且在承载筒22的底部侧面开设有开口，开口边缘处铰接有网状门板7，网状门板7可通过铰链闭合承载筒22的开口，工件放入承载筒22后将网状门板7闭合，并且网状的承载筒22与网状门板7可提高承载筒22的通透性，从而提高工件在镀膜机本体1中的镀膜效率。

在转动杆221穿过公转盘21的通孔部位嵌合有轴承211，轴承211可减少转动杆221与公转盘21之间的摩擦力，从而提高转动杆221在转动时的效率，从而更容易的带动翻转架5的翻转以及对承载筒22的转动。

实施例2：如图4所示，与实施例1的不同部分在于锁定组件的不同，在本实施例中，锁定组件包括嵌合在承载筒22底侧上，并且与公转盘21相抵触的滚珠4，以及开设在公转盘21上的限位槽41，滚珠4分布在承载筒22底侧远离圆心的两边，限位槽41开设在公转盘21与滚珠4相对应的位置上，在滚珠4与承载筒22之间连接有压缩弹簧42，压缩弹簧42的一端连接在承载筒22底侧的容纳滚珠4的圆孔底壁上，另一端与滚珠4相固定，在承载筒22自转时，滚珠4嵌合在承载筒22上并且被承载筒22带动下在公转盘21上相对转动，当滚珠4移动到限位槽41时，滚珠4通过压缩弹簧42的弹力嵌合入限位槽41中，从而起到锁定承载筒22的作用，在下一周期时，承载筒22被带动，使滚珠4从限位槽41滑出，从而解除锁定。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种高效的真空镀膜机，其特征在于，包括：安装在镀膜机本体（1）内底部的转架（2），所述转架（2）包括活动安装在镀膜机本体（1）底侧的公转盘（21），以及安装在公转盘（21）承载面上的多个承载筒（22），所述承载筒（22）底部竖直安装有穿过公转盘（21）的转动杆（221），所述转动杆（221）远离承载筒（22）的一端连接有齿轮（222），所述镀膜机本体（1）底侧安装有与齿轮（222）相匹配的固定齿轮（11），所述公转盘（21）上还安装有用于锁定承载筒（22）的锁定组件。

2.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述锁定组件包括：铰接在公转盘（21）上靠近承载筒（22）一侧的多个挡杆（3），以及均匀安装在承载筒（22）外侧的多个挡块（31），所述挡杆（3）与挡块（31）相贴合，所述挡杆（3）上设有一端与挡杆（3）侧面连接、另一端与公转盘（21）承载面连接的弹簧（32）。

3.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述锁定组件包括：嵌合在承载筒（22）底侧与公转盘（21）相抵触的滚珠（4），以及开设在公转盘（21）上与滚珠（4）相匹配的限位槽（41），所述滚珠（4）与承载筒（22）的嵌合处之间安装有压缩弹簧（42）。

4.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述承载筒（22）内壁上安装有翻转架（5），所述翻转架（5）穿出承载筒（22）的部位连接有第一锥齿轮（51），所述承载筒（22）外侧竖直安装有传动杆（52），所述传动杆（52）靠近翻转架（5）的一端连接有第二锥齿轮（53），所述传动杆（52）远离第二锥齿轮（53）的一端连接有平齿轮（54），所述第一锥齿轮（51）与第二锥齿轮（53）相互啮合，所述平齿轮（54）与齿轮（222）相互啮合。

5.根据权利要求4所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述翻转架（5）上安装有多组相对的夹持弹簧（6），所述夹持弹簧（6）一端连接有固定块（61），所述夹持弹簧（6）的另一端安装在翻转架（5）上。

6.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述承载筒（22）侧面设为网状。

7.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述承载筒（22）底侧开设有开口，所述开口边缘处铰接有网状门板（7）。

8.根据权利要求1所述的一种高效的真空镀膜机，其特征在于，所述转动杆（221）穿过公转盘（21）的部位嵌合有轴承（211）。

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