CN213596386U - 一种3d电池后盖真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种3D电池后盖真空镀膜装置，它包括装置本体，所述装置本体的内部通过隔板形成第一容置腔和第二容置腔，所述装置本体的内底部固定安装有电动滑台，所述电动滑台的顶面通过滑块固定安装有负极板，所述负极板的顶面固定安装有靶材，所述第一容置腔的内顶部固定安装有第一安装壳，所述第一安装壳的内部固定安装有第一旋转电机，所述第一旋转电机的转轴端连通第一安装壳固定连接有第一正极板，本实用新型通过采用连续磁控溅射方式镀膜，能在真空环境中磁控溅射一次性镀好，有利于保证连续生产时成品的颜色质量，而且，镀膜精密度较高、黏合性较好，不容易出现气泡、脱落等问题。

Description

一种3D电池后盖真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种3D电池后盖真空镀膜装置。

背景技术

手机电池后盖镀膜可以取代手机贴膜及手机套主要的功能，如防刮伤留下划痕，尤其是整机处理，包含插槽、插孔，同时能够有效增加手机的外观展示。但现有的镀膜工艺由于存在镀膜精密度不高、黏合性较差，容易出现气泡、脱落等问题，同时镀膜过程中连续性不高，通常需要进行停机挂架再进行开机镀膜，不利于企业生产效率的提高，不符合长远发展的要求。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种3D电池后盖真空镀膜装置，该装置通过简单的结构设计，能够有效解决上述背景技术中所提出的问题。

本实用新型的技术方案为：

一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：它包括装置本体，所述装置本体的内部通过隔板形成第一容置腔和第二容置腔，所述装置本体的内底部固定安装有电动滑台，所述电动滑台的顶面通过滑块固定安装有负极板，所述负极板的顶面固定安装有靶材，所述第一容置腔的内顶部固定安装有第一安装壳，所述第一安装壳的内部固定安装有第一旋转电机，所述第一旋转电机的转轴端连通第一安装壳固定连接有第一正极板，所述第一正极板的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖，所述第二容置腔的内顶部固定安装有第二安装壳，所述第二安装壳的内部固定安装有第二旋转电机，所述第二旋转电机的转轴端连通第二安装壳固定连接有第二正极板，所述第二正极板的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖，所述装置本体的顶面两端分别安装有第一氩气连接管和第二氩气连接管，所述装置本体的顶面两端且位于第一氩气连接管和第二氩气连接管之间分别安装有第一真空连接管和第二真空连接管。

进一步的，所述装置本体的左右侧面均安装有门扇。

进一步的，所述装置本体的正面设置有观察口，所述观察口内固定安装有透明钢化玻璃。

进一步的，所述隔板与装置本体的底面不相接触。

进一步的，所述第一氩气连接管和第二氩气连接管均与外部的氩气泵连接，所述第一真空连接管和第二真空连接管均与外部的真空泵连接。

进一步的，所述靶材为高纯铜靶。

本实用新型的有益效果为：

(1)采用连续磁控溅射方式镀膜，能在真空环境中磁控溅射一次性镀好，也使后处理过程得到简化，且有利于保证连续生产时成品的颜色质量，溅出的中性原子与真空腔内同时被离化的气体粒子反应而沉积到工件表面上，形成了一定厚度的膜层，可以实现多种幻彩、哑面、亮面等效果，而且，镀膜精密度较高、黏合性较好，不容易出现气泡、脱落等问题。

(2)通过在装置本体内部设置第一容置腔和第二容置腔，在第一容置腔内部进行镀膜工作时，可对第二容置腔上进行电池后盖的预挂工作，从而实现成批量的镀膜，提高镀膜效率。

(3)通过设有第一旋转电机和第二旋转电机，开启后将带动第一正极板和第二正极板旋转，进而带动其连接的电池后盖旋转，使得电池后盖的镀膜较为均匀。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型磁控溅射的工作原理图。

图中，1、装置本体；2、第一容置腔；3、第二容置腔；4、电动滑台；5、负极板；6、靶材；7、第一安装壳；8、第一旋转电机；9、第一正极板；10、电池后盖；11、第二安装壳；12、第二旋转电机；13、第二正极板；14、第一氩气连接管；15、第二氩气连接管；16、第一真空连接管；17、第二真空连接管；18、门扇；19、隔板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明：

如图1-2所示，一种3D电池后盖真空镀膜装置，它包括装置本体1，所述装置本体1的内部通过隔板19形成第一容置腔2和第二容置腔3，所述装置本体1的内底部固定安装有电动滑台4，所述电动滑台4的顶面通过滑块固定安装有负极板5，所述负极板5的顶面固定安装有靶材6，所述第一容置腔2的内顶部固定安装有第一安装壳7，所述第一安装壳7的内部固定安装有第一旋转电机8，所述第一旋转电机8的转轴端连通第一安装壳7固定连接有第一正极板9，所述第一正极板9的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖10，所述第二容置腔3的内顶部固定安装有第二安装壳11，所述第二安装壳11的内部固定安装有第二旋转电机12，所述第二旋转电机12的转轴端连通第二安装壳11固定连接有第二正极板13，所述第二正极板13的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖10，所述装置本体1的顶面两端分别安装有第一氩气连接管14和第二氩气连接管15，所述装置本体1的顶面两端且位于第一氩气连接管14和第二氩气连接管15之间分别安装有第一真空连接管16和第二真空连接管17。

所述装置本体1的左右侧面均安装有门扇18。通过设有门扇，能够便于工作人员进入第一容置腔和第二容置腔内部，分别进行其内部电池后盖的预挂工作。

所述装置本体1的正面设置有观察口(未图示)，所述观察口内固定安装有透明钢化玻璃。通过设有透明钢化玻璃，能够便于观察装置本体内部的情况。

所述隔板19与装置本体1的底面不相接触。该设计的目的在于：便于靶材左右移动。

所述第一氩气连接管14和第二氩气连接管15均与外部的氩气泵连接，所述第一真空连接管16和第二真空连接管17均与外部的真空泵连接。

所述靶材6为高纯铜靶。

本实用新型的工作原理为：工作时，启动电动滑台4，将靶材6移动至第一正极板9的正下方，接着，启动外部的氩气泵和真空泵，向第一容置腔2通入氩气的同时对其内部进行抽真空，使其形成真空腔，此时，分别接通负极板5和第一正极板9，使其内部形成电场，对电池后盖10进行真空磁控溅射镀膜，在镀膜过程中，工作人员通过打开装置本体1右侧面的门扇18，对第二容置腔3内部进行电池后盖10的预挂工作，从而实现成批量的镀膜，提高镀膜效率；第一容置腔2内部完成镀膜工作后，电动滑台4将靶材6移动至第二正极板13的正下方，对第二容置腔3进行电池后盖10的镀膜工作，而第一容置腔2内部继续进行电池后盖10的预挂工作。

本实用新型磁控溅射的原理为：磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片(电池后盖)过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出氩正离子和新的电子，新电子飞向基片(电池后盖)，氩离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片(电池后盖)上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E(电场)×B(磁场)所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线，若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的氩离子来轰击靶材，从而实现高沉积速率，随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片(电池后盖)上，由于该电子的能量很低，传递给基片(电池后盖)的能量很小，致使基片(电池后盖)温升较低，磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程，入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。

上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理和最佳实施例，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：它包括装置本体(1)，所述装置本体(1)的内部通过隔板(19)形成第一容置腔(2)和第二容置腔(3)，所述装置本体(1)的内底部固定安装有电动滑台(4)，所述电动滑台(4)的顶面通过滑块固定安装有负极板(5)，所述负极板(5)的顶面固定安装有靶材(6)，所述第一容置腔(2)的内顶部固定安装有第一安装壳(7)，所述第一安装壳(7)的内部固定安装有第一旋转电机(8)，所述第一旋转电机(8)的转轴端连通第一安装壳(7)固定连接有第一正极板(9)，所述第一正极板(9)的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖(10)，所述第二容置腔(3)的内顶部固定安装有第二安装壳(11)，所述第二安装壳(11)的内部固定安装有第二旋转电机(12)，所述第二旋转电机(12)的转轴端连通第二安装壳(11)固定连接有第二正极板(13)，所述第二正极板(13)的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖(10)，所述装置本体(1)的顶面两端分别安装有第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)，所述装置本体(1)的顶面两端且位于第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)之间分别安装有第一真空连接管(16)和第二真空连接管(17)。

2.根据权利要求1所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述装置本体(1)的左右侧面均安装有门扇(18)。

3.根据权利要求2所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述装置本体(1)的正面设置有观察口，所述观察口内固定安装有透明钢化玻璃。

4.根据权利要求3所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述隔板(19)与装置本体(1)的底面不相接触。

5.根据权利要求4所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)均与外部的氩气泵连接，所述第一真空连接管(16)和第二真空连接管(17)均与外部的真空泵连接。

6.根据权利要求5所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述靶材(6)为高纯铜靶。

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