CN215102330U - 一种集成电路芯片切割水处理系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种集成电路芯片切割水处理系统，属于废水处理领域，本实用新型包括沉淀池、UF循环池、UF膜组件、浓缩液收集桶、溶解油吸附池、清水收集桶、压滤机，沉淀池内设有倾斜设置的滤网，沉淀池在滤网的上方设有排泥口，沉淀池在滤网的下方设有出水口并通过水泵连接至UF循环池的入口，UF循环池的出口接UF膜组件的入口，UF膜组件的浓水出口接浓缩液收集桶的入口、UF循环池的入口，浓缩液收集桶的出口、排泥口接压滤机的入口，UF膜组件的产水出口接溶解油吸附池的入口，溶解油吸附池的出口接清水收集桶的入口。
Description
技术领域
本实用新型涉及废水处理领域，具体涉及一种集成电路芯片切割水处理系统。
背景技术
半导体器件行业是目前及将来电子信息产业的重要组成部分，随着半导体产业的兴起，国际市场对半导体的产品需要越来越大，在半导体制作过程中，每台切割机的纯水用量约为2.4L/min，每台研磨机的纯水用量约为8L/min，因此硅片研磨/切割产生了大量的废水。
现有技术中对切割水的处理工艺比较单一，处理成本高，如中国专利公开号CN102070227A，申请日为2009年11月19日的专利申请文件公开了一种切割研磨废水之UF回收处理系统，包括废水回收储存槽、进水泵、CDA缓冲槽、UF过滤器和UF产水储桶，系切割研磨废水回收于储存槽后，经进水泵进入UF过滤器，产水后再储入UF产水储桶，UF过滤器采用全流式(Dead-end)过滤系统，利用立式之中空纤维模，配合定期水洗、气洗和药洗机制，该发明的处理方法使用的设备成本高、UF膜寿命短，易堵塞，需经常更换，整体回收系统的使用寿命也会相对较短，不符合经济效益。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种设置有切割水预处理装置的集成电路芯片切割水处理系统。
本实用新型的技术方案是：一种集成电路芯片切割水处理系统，包括沉淀池、UF循环池、UF膜组件、浓缩液收集桶、溶解油吸附池、清水收集桶、压滤机，所述沉淀池内设有倾斜设置的滤网，沉淀池在滤网的上方设有排泥口，沉淀池在滤网的下方设有出水口并通过水泵连接至UF循环池的入口，UF循环池的出口接UF膜组件的入口，UF膜组件的浓水出口接浓缩液收集桶的入口、UF循环池的入口，浓缩液收集桶的出口、排泥口接压滤机的入口，UF膜组件的产水出口接溶解油吸附池的入口，溶解油吸附池的出口接清水收集桶的入口。
进一步的技术方案，溶解油吸附池上设置有吸附剂添加装置。
进一步的技术方案，所述吸附剂添加装置内设有可循环吸附剂。
进一步的技术方案，可循环吸附剂为活性炭或吸附树脂。
本实用新型的有益效果：
本实用新型针对在集成电路芯片切割过程中产生的废水进行处理，沉淀池对废水进行预处理，将沉淀下来的大颗粒状切割屑排出后直接送至压滤机，减少对UF膜组件的过滤压力，延长UF膜组件的使用寿命；UF膜组件通过纳米级微孔截留废水中99％以上的乳化油、60％以上溶解油和截留99％以上的悬浮物(SS)及大分子污染物、胶体污染物，UF膜组件的产水出口连接至溶解油吸附池，利用可循环使用的吸附颗粒吸附剩余溶解油，最终得到的干净的优质水作为车间其他工序的生产用水，做到节能减排。
附图说明
图1为本实用新型的结构连接示意图，
其中，图中箭头方向代表水流方向；
1、沉淀池，11、滤网，12、排泥口，13、出水口，2、水泵，3、UF循环池，4、UF膜组件，5、浓缩液收集桶，6、压滤机，7、溶解油吸附池，71、吸附剂添加装置，8、清水收集桶。
具体实施方式
下面通过非限制性实施例，进一步阐述本实用新型，理解本实用新型。
如图1所示，本实用新型提供了一种集成电路芯片切割水处理系统，包括沉淀池1、UF循环池3、UF膜组件4、浓缩液收集桶5、溶解油吸附池7、清水收集桶8、压滤机6，沉淀池1内设有倾斜设置的滤网11，沉淀池1在滤网11的上方设有排泥口12，沉淀池1在滤网11的下方设有出水口13并通过水泵2连接至UF循环池3的入口，UF循环池3的出口接UF膜组件4的入口，UF膜组件4的浓水出口接浓缩液收集桶5的入口、UF循环池3的入口，浓缩液收集桶5的出口、排泥口12接压滤机6的入口，UF膜组件4的产水出口接溶解油吸附池7的入口，溶解油吸附池7的出口接清水收集桶8的入口。溶解油吸附池7上设置有用于放置可循环吸附剂的吸附剂添加装置71，本实用新型中采用的可循环吸附剂为活性炭或吸附树脂。
工作时，将污水通入沉淀池1后，水泵2与设置在滤网11下方的出水口13连接，将污水池内经滤网11过滤后的水抽送至UF循环池3，大颗粒状切割屑将被阻隔在滤网11的上方，沉淀池1中的液体完全抽出后，可将大颗粒状切割屑通过排泥口12送至压滤机6处。
UF膜组件4对UF循环池3内的水进行处理，通过纳米级微孔截留废水中99％以上的乳化油、60％以上溶解油和截留99％以上的悬浮物(SS)及大分子污染物、胶体污染物，溶解油吸附池7内的可循环吸附剂对其进行二次处理吸附。通过UF膜组件4截留的污染物则送至压滤机6处，压滤机6对大颗粒状切割屑、截留的污染物处理成泥饼后运输出去。
SS＜1000、pH为6-9、含油量≤10的污水经本系统处理过后各项指标可达：SS＜2、pH为6-9、含油量≤1。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种集成电路芯片切割水处理系统，其特征在于：包括沉淀池、UF循环池、UF膜组件、浓缩液收集桶、溶解油吸附池、清水收集桶、压滤机，所述沉淀池内设有倾斜设置的滤网，所述沉淀池在滤网的上方设有排泥口，所述沉淀池在滤网的下方设有出水口并通过水泵连接至UF循环池的入口，UF循环池的出口接UF膜组件的入口，UF膜组件的浓水出口接浓缩液收集桶的入口、UF循环池的入口，浓缩液收集桶的出口、排泥口接压滤机的入口，UF膜组件的产水出口接溶解油吸附池的入口，溶解油吸附池的出口接清水收集桶的入口。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片切割水处理系统，其特征在于：所述溶解油吸附池上设置有吸附剂添加装置。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路芯片切割水处理系统，其特征在于：所述所述吸附剂添加装置内设有可循环吸附剂。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片切割水处理系统，其特征在于：所述可循环吸附剂为活性炭或吸附树脂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120257635.5U CN215102330U (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 一种集成电路芯片切割水处理系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202120257635.5U CN215102330U (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 一种集成电路芯片切割水处理系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215102330U true CN215102330U (zh) | 2021-12-10 |
Family
ID=79333301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120257635.5U Active CN215102330U (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 一种集成电路芯片切割水处理系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215102330U (zh) |
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2021
- 2021-01-29 CN CN202120257635.5U patent/CN215102330U/zh active Active
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