CN214974161U - 一种碳化硅晶圆测试载台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体，所述晶圆测试台台体的上端固定连接控制座、一号支撑柱、二号支撑柱、配电箱、固定旋转底座，所述晶圆测试台台体的上端开设有活动槽，所述控制座的上端设置有控制面板，所述一号支撑柱与二号支撑柱的上端固定有操作平台，所述操作平台的一端开设有一号螺母孔。本实用新型所述的一种碳化硅晶圆测试载台，设有滑动旋转放置座与伸缩固定底座，通过增加滑动旋转放置台使取用测试晶圆片更加方便，便于测试使用，通过增加伸缩固定底座，使整个操作台的高度可以人为调控，使晶圆测试载台更加灵活多变，带来更好的使用前景。

Description

一种碳化硅晶圆测试载台

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试载台领域，特别涉及一种碳化硅晶圆测试载台。

背景技术

碳化硅晶圆测试载台是一种进行晶圆测试的支撑设备，伸缩底座便于调节操作台的作业高度，适用各种高度的操作环境，滑动旋转放置台可以方便晶圆片的放置和取用，随着科技的不断发展，人们对于碳化硅晶圆测试载台的制造工艺要求也越来越高。

现有的碳化硅晶圆测试载台在使用时存在一定的弊端，首先，固定的操作高度，不利于人们的使用，还有，固定放置台不利于晶圆片的取用和测试，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种碳化硅晶圆测试载台。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅晶圆测试载台，具备伸缩底座便于调节操作台的作业高度，适用各种高度的操作环境，滑动旋转放置台可以方便晶圆片的放置和取用等优点，可以有效解决背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体，所述晶圆测试台台体的上端固定连接控制座、一号支撑柱、二号支撑柱、配电箱、固定旋转底座，所述晶圆测试台台体的上端开设有活动槽，所述控制座的上端设置有控制面板，所述一号支撑柱与二号支撑柱的上端固定有操作平台，所述操作平台的一端开设有一号螺母孔，所述活动槽的上端活动连接有滑动块，所述滑动块的上端活动连接有转动连接盘，所述转动连接盘的上端开设有二号螺母孔，所述晶圆测试台台体的下端固定连接有连接板，，所述转动连接盘的外侧固定连接有放置旋转操作盘，所述连接板的表面开设有三号螺母孔，所述连接板的下端固定连接有底部伸缩支撑柱，所述底部伸缩支撑柱的下端活动连接有伸缩柱底座，所述伸缩柱底座的下端固定连接有三角固定块，所述伸缩柱底座的下端底面固定连接有底座脚板，所述底座脚板的表面开设有定位孔，所述固定旋转底座的表面开设有四号螺母孔，所述固定旋转底座的上端活动连接有活动旋杆，所述活动旋杆的上端固定连接有一号旋转臂，所述一号旋转臂的一端固定连接有一号固定螺丝，所述一号旋转臂的一侧活动连接有二号旋转臂，所述二号旋转臂的一端活动连接有活动转轴，所述二号旋转臂的一侧固定连接有操作头放置槽、二号固定螺丝。

优选的，所述滑动块与转动连接盘的之间设置有转轴，所述滑动块的上端表面通过转轴与转动连接盘的下端底面固定连接，所述转动连接盘的下端表面通过二号螺母孔与转轴的上端固定连接。

优选的，所述连接板与底部伸缩支撑柱的之间设置有焊接块，所述连接板的下端表面通过焊接块与底部伸缩支撑柱的上端表面固定连接，所述底部伸缩支撑柱与伸缩柱底座的之间设置有活动轴，所述底部伸缩支撑柱的下端通过活动轴与伸缩柱底座的内部活动连接。

优选的，所述滑动块的下端通过活动槽与晶圆测试台台体的上端表面固定连接，所述底座脚板的下端通过定位孔与晶圆测试台台体的上端表面固定连接。

优选的，所述操作平台的一端通过一号螺母孔与一号支撑柱、二号支撑柱的上端表面固定，所述一号支撑柱、二号支撑柱与晶圆测试台台体的下端设置有焊条，所述一号支撑柱、二号支撑柱的下端表面通过焊条与晶圆测试台台体的上端表面固定连接。

优选的，所述固定旋转底座的下端通过四号螺母孔与晶圆测试台台体的上端表面固定连接，所述一号旋转臂的一端通过活动转轴与二号旋转臂的一端活动连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种碳化硅晶圆测试载台，具备以下有益效果：该一种碳化硅晶圆测试载台，通过增加滑动旋转放置台使取用测试晶圆片更加方便，便于测试使用，通过增加伸缩固定底座，使整个操作台的高度可以人为调控，使晶圆测试载台更加灵活多变，可以先调节底部伸缩支撑柱使整个操作载台调节到合适的作业高度，然后通过在定位孔中钻入水泥钉固定整个晶圆测试载台，随后将待测试碳化硅晶圆片放置到放置旋转操作盘的上端表面上，通过旋转放置旋转操作盘使待测晶圆片旋转到合适的待测位置，通过按动电源开关，使测试载台开始工作，可以将滑动块滑动到操作平台的对应卡槽中，固定到操作臂可以操作的合适位置，通过滑动一号旋转臂到合适位置然后旋紧一号固定螺丝，将操作工具头放置到操作头放置槽中，然后旋紧二号固定螺丝，通过转动活动旋杆和活动转轴，使操作臂旋转到合适位置进行测试，测试结束可以再滑动出滑动块，取出放置旋转操作盘上的测试完的晶圆片，更换成待测晶圆片，整个碳化硅晶圆测试载台结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型一种碳化硅晶圆测试载台的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种碳化硅晶圆测试载台中滑动块的结构示意图。

图3为本实用新型一种碳化硅晶圆测试载台中底部伸缩支撑柱的结构示意图。

图4为本实用新型一种碳化硅晶圆测试载台中活动旋杆带动一号旋转臂与二号旋转臂的结构示意图。

图中：1、晶圆测试台台体；2、控制座；3、控制面板；4、一号支撑柱； 5、二号支撑柱；6、一号螺母孔；7、配电箱；8、操作平台；9、活动旋杆； 10、活动槽；11、滑动块；12、底部伸缩支撑柱；13、转动连接盘；14、二号螺母孔；15、连接板；16、三号螺母孔；17、伸缩柱底座；18、三角固定块；19、底座脚板；20、定位孔；21、固定旋转底座；22、四号螺母孔；23、一号固定螺丝；24、一号旋转臂；25、活动转轴；26、二号旋转臂；27、操作头放置槽；28、二号固定螺丝；29、放置旋转操作盘。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-4所示，一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体1，晶圆测试台台体1的上端固定连接控制座2、一号支撑柱4、二号支撑柱5、配电箱7、固定旋转底座21，晶圆测试台台体1的上端开设有活动槽10，控制座2的上端设置有控制面板3，一号支撑柱4与二号支撑柱5的上端固定有操作平台8，操作平台8的一端开设有一号螺母孔6，活动槽10的上端活动连接有滑动块11，滑动块11的上端活动连接有转动连接盘13，转动连接盘13的上端开设有二号螺母孔14，晶圆测试台台体1的下端固定连接有连接板15，，转动连接盘13的外侧固定连接有放置旋转操作盘29，连接板15的表面开设有三号螺母孔16，连接板15的下端固定连接有底部伸缩支撑柱12，底部伸缩支撑柱12的下端活动连接有伸缩柱底座17，伸缩柱底座17的下端固定连接有三角固定块18，伸缩柱底座17的下端底面固定连接有底座脚板19，底座脚板19的表面开设有定位孔20，固定旋转底座21的表面开设有四号螺母孔22，固定旋转底座21的上端活动连接有活动旋杆9，活动旋杆9的上端固定连接有一号旋转臂24，一号旋转臂24的一端固定连接有一号固定螺丝23，一号旋转臂24的一侧活动连接有二号旋转臂26，二号旋转臂26的一端活动连接有活动转轴25，二号旋转臂26的一侧固定连接有操作头放置槽27、二号固定螺丝28。

进一步的，滑动块11与转动连接盘13的之间设置有转轴，滑动块11的上端表面通过转轴与转动连接盘13的下端底面固定连接，转动连接盘13的下端表面通过二号螺母孔14与转轴的上端固定连接，方便更换测试晶圆片。

进一步的，连接板15与底部伸缩支撑柱12的之间设置有焊接块，连接板15的下端表面通过焊接块与底部伸缩支撑柱12的上端表面固定连接，底部伸缩支撑柱12与伸缩柱底座17的之间设置有活动轴，底部伸缩支撑柱12 的下端通过活动轴与伸缩柱底座17的内部活动连接，通过伸缩支撑柱调节操作台高度。

进一步的，滑动块11的下端通过活动槽10与晶圆测试台台体1的上端表面固定连接，底座脚板19的下端通过定位孔20与晶圆测试台台体1的上端表面固定连接，移动滑动块11使晶圆片可以快速移动到操作平台8中。

进一步的，操作平台8的一端通过一号螺母孔6与一号支撑柱4、二号支撑柱5的上端表面固定，一号支撑柱4、二号支撑柱5与晶圆测试台台体1的下端设置有焊条，一号支撑柱4、二号支撑柱5的下端表面通过焊条与晶圆测试台台体1的上端表面固定连接，使整个测试载台结构稳定。

进一步的，固定旋转底座21的下端通过四号螺母孔22与晶圆测试台台体1的上端表面固定连接，一号旋转臂24的一端通过活动转轴25与二号旋转臂26的一端活动连接，使整个操作臂灵活多变便于使用。

工作原理：本实用新型包括晶圆测试台台体1、控制座2、控制面板3、一号支撑柱4、二号支撑柱5、一号螺母孔6、配电箱7、操作平台8、活动旋杆9、活动槽10、滑动块11、底部伸缩支撑柱12、转动连接盘13、二号螺母孔14、连接板15、三号螺母孔16、伸缩柱底座17、三角固定块18、底座脚板19、定位孔20、固定旋转底座21、四号螺母孔22、一号固定螺丝23、一号旋转臂24、活动转轴25、二号旋转臂26、操作头放置槽27、二号固定螺丝28、放置旋转操作盘29，使用时，首先可以先调节底部伸缩支撑柱12使整个操作载台调节到合适的作业高度，然后通过在定位孔20中钻入水泥钉固定整个晶圆测试载台，随后将待测试碳化硅晶圆片放置到放置旋转操作盘29 的上端表面上，通过旋转放置旋转操作盘29使待测晶圆片旋转到合适的待测位置，通过按动电源开关，使测试载台开始工作，可以将滑动块11滑动到操作平台8的对应卡槽中，固定到操作臂可以操作的合适位置，通过滑动一号旋转臂24到合适位置然后旋紧一号固定螺丝23，将操作工具头放置到操作头放置槽27中，然后旋紧二号固定螺丝28，通过转动活动旋杆9和活动转轴 25，使操作臂旋转到合适位置进行测试，测试结束可以再滑动出滑动块11，取出放置旋转操作盘29上的测试完的晶圆片，更换成待测晶圆片，本实用新型操作便捷，适用范围广。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二(一号、二号)等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体(1)，其特征在于：所述晶圆测试台台体(1)的上端固定连接控制座(2)、一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)、配电箱(7)、固定旋转底座(21)，所述晶圆测试台台体(1)的上端开设有活动槽(10)，所述控制座(2)的上端设置有控制面板(3)，所述一号支撑柱(4)与二号支撑柱(5)的上端固定有操作平台(8)，所述操作平台(8)的一端开设有一号螺母孔(6)，所述活动槽(10)的上端活动连接有滑动块(11)，所述滑动块(11)的上端活动连接有转动连接盘(13)，所述转动连接盘(13)的上端开设有二号螺母孔(14)，所述晶圆测试台台体(1)的下端固定连接有连接板(15)，所述转动连接盘(13)的外侧固定连接有放置旋转操作盘(29)，所述连接板(15)的表面开设有三号螺母孔(16)，所述连接板(15)的下端固定连接有底部伸缩支撑柱(12)，所述底部伸缩支撑柱(12)的下端活动连接有伸缩柱底座(17)，所述伸缩柱底座(17)的下端固定连接有三角固定块(18)，所述伸缩柱底座(17)的下端底面固定连接有底座脚板(19)，所述底座脚板(19)的表面开设有定位孔(20)，所述固定旋转底座(21)的表面开设有四号螺母孔(22)，所述固定旋转底座(21)的上端活动连接有活动旋杆(9)，所述活动旋杆(9)的上端固定连接有一号旋转臂(24)，所述一号旋转臂(24)的一端固定连接有一号固定螺丝(23)，所述一号旋转臂(24)的一侧活动连接有二号旋转臂(26)，所述二号旋转臂(26)的一端活动连接有活动转轴(25)，所述二号旋转臂(26)的一侧固定连接有操作头放置槽(27)、二号固定螺丝(28)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述滑动块(11)与转动连接盘(13)的之间设置有转轴，所述滑动块(11)的上端表面通过转轴与转动连接盘(13)的下端底面固定连接，所述转动连接盘(13)的下端表面通过二号螺母孔(14)与转轴的上端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述连接板(15)与底部伸缩支撑柱(12)的之间设置有焊接块，所述连接板(15)的下端表面通过焊接块与底部伸缩支撑柱(12)的上端表面固定连接，所述底部伸缩支撑柱(12)与伸缩柱底座(17)的之间设置有活动轴，所述底部伸缩支撑柱(12)的下端通过活动轴与伸缩柱底座(17)的内部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述滑动块(11)的下端通过活动槽(10)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接，所述底座脚板(19)的下端通过定位孔(20)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述操作平台(8)的一端通过一号螺母孔(6)与一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)的上端表面固定，所述一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)与晶圆测试台台体(1)的下端设置有焊条，所述一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)的下端表面通过焊条与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述固定旋转底座(21)的下端通过四号螺母孔(22)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接，所述一号旋转臂(24)的一端通过活动转轴(25)与二号旋转臂(26)的一端活动连接。

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