CN215728599U - 一种方硅芯少数载流子测试用工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方硅芯少数载流子测试用工作台，包括底板、支撑框架、检测仪、检测头、滑轨、支撑仓、移动组件、旋转固定组件和升降组件，所述支撑框架设于底板上，所述检测仪设于支撑框架下，所述检测头设于检测仪下，所述滑轨对称设于支撑框架的侧面上，所述支撑仓可滑动设于滑轨上，所述移动组件设于支撑仓内，所述旋转固定组件设于移动组件上，所述升降组件设于支撑仓下且设于支撑框架的侧面下端。本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体是指一种方硅芯少数载流子测试用工作台。

Description

一种方硅芯少数载流子测试用工作台

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体是指一种方硅芯少数载流子测试用工作台。

背景技术

少数载流子寿命是半导体材料的一个重要参数，半导体材料的少数载流子寿命不仅可以表征半导体材料的质量，还可以评价器件制造过程中的质量控制，集成电路公司利用载流子寿命来表征工艺过程的金属沾污程度，并研究造成器件性能下降的原因。因此，随着集成电路工艺的发展，半导体材料和器件研制单位对载流子寿命的测量要求越来越高。载流子复合寿命测试仪是半导体材料和器件研究和生产中的重要工具。目前已有多种载流子复合寿命测试仪器，如直流光电导寿命测试仪等。但现有的寿命测试仪中，大多数只能对半导体晶体材料的局部区域进行测试，不能对整块半导体晶体材料的载流子寿命的分布情况进行测量，而半导体晶体材料的测量面积越大则越可更完整更真实地反映材料的质量，因此现有的测试仪器均无法适用于厂内方硅芯的测试。

实用新型内容

为了解决上述难题，本实用新型提供了一种通过固定电机带着主动轮转动，主动轮通过从动轮带着环形架和套环转动，套环带着活动杆和固定杆转动，使活动杆和固定杆将方硅芯固定在环形架中间，利用连动轮和移动组件带着旋转的同时且左右移动，使检测头对方硅芯进行多方位检测，以提高检测准确性的方硅芯少数载流子测试用工作台。

为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种方硅芯少数载流子测试用工作台，包括底板、支撑框架、检测仪、检测头、滑轨、支撑仓、移动组件、旋转固定组件和升降组件，所述支撑框架设于底板上，所述检测仪设于支撑框架下，所述检测头设于检测仪下，所述滑轨对称设于支撑框架的侧面上，所述支撑仓可滑动设于滑轨上，所述移动组件设于支撑仓内，所述旋转固定组件设于移动组件上，所述升降组件设于支撑仓下且设于支撑框架的侧面下端；所述旋转固定组件包括连接板、支撑框、支撑杆二、旋转电机、驱动轮、支撑杆一、连动轮、连接杆一、支撑柱、转板、连接杆二、环形架、套环、活动杆、固定杆、电机底座、固定电机、主动轮和从动轮，所述连接板设于移动组件上，所述支撑框设于连接板上一侧，所述支撑杆二设于支撑框下壁上，所述旋转电机设于支撑杆二上，所述驱动轮可转动设于支撑杆二且连接于旋转电机输出端，所述支撑杆一设于支撑框上壁下，所述连动轮可转动设于支撑杆一下且与驱动轮相啮合，所述连接杆一均匀环绕设于连动轮远离支撑框架的侧面上，所支撑柱设于连接板上远离支撑框的一端，所述转板可转动设于支撑柱靠近支撑框侧面的上端，所述连接杆二均匀环绕设于转板靠近支撑框的侧面上，所述环形架连接于连接杆一，所述环形架对称设有两组且另一组连接于连接杆二上，所述套环均匀套接于环形架上，所述活动杆对称铰接于套环上，所述固定杆铰接于相邻的两套环间的活动杆，所述电机底座设于连动轮远离支撑框架的侧面上，所述固定电机设于电机底座上，所述主动轮套接于固定电机的输出端，所述从动轮套接于环形架上且与主动轮相啮合，将需要测试的方硅芯放到环形架内，启动固定电机，固定电机带动主动轮转动，主动轮带动从动轮转动，从动轮带动环形架转动，环形架带着套环转动，套环带着活动杆和固定杆转动，将方硅芯固定到固定杆之间，实现对方硅芯的固定作用，然后启动旋转电机，旋转电机带动驱动轮转动，驱动轮带动连动轮转动，连动轮通过连接杆一带着环形架转动，环形架带着方硅芯转动，同时利用移动组件带着方硅芯左右移动，使检测头对方硅芯进行多方位的测试，使测试结果更完整更真实地反映材料的质量。

进一步地，所述升降组件包括升降电机、转杆和升降板，所述升降电机内嵌设于支撑框架的侧面下端，所述转杆一端连接于升降电机输出端且另一端可转动设于支撑框架远离升降电机的侧面上，所述升降板偏心对称套接于转杆上，将方硅芯固定好以后，启动升降电机，升降电机带着转杆转动，转杆带着升降板转动，由于升降板是偏心设置，因此升降板在转动的过程中，顶着支撑仓沿着滑轨向上移动，使方硅芯与检测头接触，一方便实现对方硅芯的升降过程，另一方便对支撑仓起到支撑作用。

进一步地，所述移动组件包括驱动电机、固定块、丝杠、丝杠副和连接块，所述驱动电机设于支撑仓内一端，所述固定块设于支撑仓内远离驱动电机的一端，所述丝杠一端连接于驱动电机输出端且另一端可转动设于固定块内，所述丝杠副可移动套接于丝杠上，所述连接于设于丝杠副上，启动驱动电机，驱动电机带着丝杠转动，线杠带着丝杠副左右移动，丝杠副通过连接块带着连接板左右移动，连接板带着方硅芯左右移动。

进一步地，所述固定杆为伸缩杆结构设置，方便随着活动杆的转带调节长短。

本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：本实用新型提供的一种方硅芯少数载流子测试用工作台，通过固定电机带动主动轮转动，主动轮带动从动轮转动，从动轮带动环形架转动，环形架带着套环转动，套环带着活动杆和固定杆转动，将方硅芯固定到固定杆之间，实现对方硅芯的固定作用，然后启动旋转电机，旋转电机带动驱动轮转动，驱动轮带动连动轮转动，连动轮通过连接杆一带着环形架转动，环形架带着方硅芯转动，同时利用移动组件带着方硅芯左右移动，使检测头对方硅芯进行多方位的测试，使测试结果更完整更真实地反映材料的质量，通过升降电机带着转杆转动，转杆带着升降板转动，由于升降板是偏心设置，因此升降板在转动的过程中，顶着支撑仓沿着滑轨向上移动，使方硅芯与检测头接触，一方便实现对方硅芯的升降过程，另一方便对支撑仓起到支撑作用。

附图说明

图1为本实用新型一种方硅芯少数载流子测试用工作台的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种方硅芯少数载流子测试用工作台中旋转固定组件的结构图；

图3为图2中A处的放大图。

其中，1、底板，2、支撑框架，3、检测仪，4、检测头，5、滑轨，6、支撑仓，7、移动组件，8、旋转固定组件，9、升降组件，10、连接板，11、支撑框，12、支撑杆二，13、旋转电机，14、驱动轮，15、支撑杆一，16、连动轮，17、连接杆一，18、支撑柱，19、转板，20、连接杆二，21、环形架，22、套环，23、活动杆，24、固定杆，25、电机底座，26、固定电机，27、主动轮，28、从动轮，29、升降电机，30、转杆，31、升降板，32、驱动电机，33、固定块，34、丝杠，35、丝杠副，36、连接块。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。

如图1-3所述，本实用新型一种方硅芯少数载流子测试用工作台，包括底板1、支撑框架2、检测仪3、检测头4、滑轨5、支撑仓6、移动组件7、旋转固定组件8和升降组件9，所述支撑框架2设于底板1上，所述检测仪3设于支撑框架2下，所述检测头4设于检测仪3下，所述滑轨5对称设于支撑框架2的侧面上，所述支撑仓6可滑动设于滑轨5上，所述移动组件7设于支撑仓6内，所述旋转固定组件8设于移动组件7上，所述升降组件9设于支撑仓6下且设于支撑框架2的侧面下端；所述旋转固定组件8包括连接板10、支撑框11、支撑杆二12、旋转电机13、驱动轮14、支撑杆一15、连动轮16、连接杆一17、支撑柱18、转板19、连接杆二20、环形架21、套环22、活动杆23、固定杆24、电机底座25、固定电机26、主动轮27和从动轮28，所述连接板10设于移动组件7上，所述支撑框11设于连接板10上一侧，所述支撑杆二12设于支撑框11下壁上，所述旋转电机13设于支撑杆二12上，所述驱动轮14可转动设于支撑杆二12且连接于旋转电机13输出端，所述支撑杆一15设于支撑框11上壁下，所述连动轮16可转动设于支撑杆一15下且与驱动轮14相啮合，所述连接杆一17均匀环绕设于连动轮16远离支撑框架2的侧面上，所支撑柱18设于连接板10上远离支撑框11的一端，所述转板19可转动设于支撑柱18靠近支撑框11侧面的上端，所述连接杆二20均匀环绕设于转板19靠近支撑框11的侧面上，所述环形架21连接于连接杆一17，所述环形架21对称设有两组且另一组连接于连接杆二20上，所述套环22均匀套接于环形架21上，所述活动杆23对称铰接于套环22上，所述固定杆24铰接于相邻的两套环22间的活动杆23，所述电机底座25设于连动轮16远离支撑框架2的侧面上，所述固定电机26设于电机底座25上，所述主动轮27套接于固定电机26的输出端，所述从动轮28套接于环形架21上且与主动轮27相啮合。

所述升降组件9包括升降电机29、转杆30和升降板31，所述升降电机29内嵌设于支撑框架2的侧面下端，所述转杆30一端连接于升降电机29输出端且另一端可转动设于支撑框架2远离升降电机29的侧面上，所述升降板31偏心对称套接于转杆30上。

所述移动组件7包括驱动电机32、固定块33、丝杠34、丝杠副35和连接块36，所述驱动电机32设于支撑仓6内一端，所述固定块33设于支撑仓6内远离驱动电机32的一端，所述丝杠34一端连接于驱动电机32输出端且另一端可转动设于固定块33内，所述丝杠副35可移动套接于丝杠34上，所述连接于设于丝杠副35上。

所述固定杆24为伸缩杆结构设置。

具体使用时，将需要测试的方硅芯放到环形架21内，启动固定电机26，固定电机26带动主动轮27转动，主动轮27带动从动轮28转动，从动轮28带动环形架21转动，环形架21带着套环22转动，套环22带着活动杆23和固定杆24转动，将方硅芯固定到固定杆24之间，实现对方硅芯的固定作用，启动升降电机29，升降电机29带着转杆30转动，转杆30带着升降板31转动，由于升降板31是偏心设置，因此升降板31在转动的过程中，顶着支撑仓6沿着滑轨5向上移动，使方硅芯与检测头4接触，然后启动旋转电机13，旋转电机13带动驱动轮14转动，驱动轮14带动连动轮16转动，连动轮16通过连接杆一17带着环形架21转动，环形架21带着方硅芯转动，同时启动驱动电机32，驱动电机32带着丝杠34转动，线杠带着丝杠副35左右移动，丝杠副35通过连接块36带着连接板10左右移动，连接板10带着方硅芯左右移动，使检测头4对方硅芯进行多方位的测试。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种方硅芯少数载流子测试用工作台，其特征在于：包括底板、支撑框架、检测仪、检测头、滑轨、支撑仓、移动组件、旋转固定组件和升降组件，所述支撑框架设于底板上，所述检测仪设于支撑框架下，所述检测头设于检测仪下，所述滑轨对称设于支撑框架的侧面上，所述支撑仓可滑动设于滑轨上，所述移动组件设于支撑仓内，所述旋转固定组件设于移动组件上，所述升降组件设于支撑仓下且设于支撑框架的侧面下端；所述旋转固定组件包括连接板、支撑框、支撑杆二、旋转电机、驱动轮、支撑杆一、连动轮、连接杆一、支撑柱、转板、连接杆二、环形架、套环、活动杆、固定杆、电机底座、固定电机、主动轮和从动轮，所述连接板设于移动组件上，所述支撑框设于连接板上一侧，所述支撑杆二设于支撑框下壁上，所述旋转电机设于支撑杆二上，所述驱动轮可转动设于支撑杆二且连接于旋转电机输出端，所述支撑杆一设于支撑框上壁下，所述连动轮可转动设于支撑杆一下且与驱动轮相啮合，所述连接杆一均匀环绕设于连动轮远离支撑框架的侧面上，所支撑柱设于连接板上远离支撑框的一端，所述转板可转动设于支撑柱靠近支撑框侧面的上端，所述连接杆二均匀环绕设于转板靠近支撑框的侧面上，所述环形架连接于连接杆一，所述环形架对称设有两组且另一组连接于连接杆二上，所述套环均匀套接于环形架上，所述活动杆对称铰接于套环上，所述固定杆铰接于相邻的两套环间的活动杆，所述电机底座设于连动轮远离支撑框架的侧面上，所述固定电机设于电机底座上，所述主动轮套接于固定电机的输出端，所述从动轮套接于环形架上且与主动轮相啮合。

2.根据权利要求1所述的一种方硅芯少数载流子测试用工作台，其特征在于：所述升降组件包括升降电机、转杆和升降板，所述升降电机内嵌设于支撑框架的侧面下端，所述转杆一端连接于升降电机输出端且另一端可转动设于支撑框架远离升降电机的侧面上，所述升降板偏心对称套接于转杆上。

3.根据权利要求2所述的一种方硅芯少数载流子测试用工作台，其特征在于：所述移动组件包括驱动电机、固定块、丝杠、丝杠副和连接块，所述驱动电机设于支撑仓内一端，所述固定块设于支撑仓内远离驱动电机的一端，所述丝杠一端连接于驱动电机输出端且另一端可转动设于固定块内，所述丝杠副可移动套接于丝杠上，所述连接于设于丝杠副上。

4.根据权利要求3所述的一种方硅芯少数载流子测试用工作台，其特征在于：所述固定杆为伸缩杆结构设置。

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