CN214953138U - 检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请的检测设备包括承载件、安装件、光源组件和检测组件。承载件包括相背的第一面和第二面；安装件设置在承载件，安装件的承载面用于放置待测件，承载面低于第一面；光源组件用于向待测件与第一面相背的背面发射光线；检测组件用于接收待测件反射的光线，以检测待测件的缺陷。检测设备通过安装件上低于承载件的第一面的承载面，承载待测件，并通过光源组件照明待测件与第一面相背的背面，并通过检测组件检测待测件的缺陷，由于承载件基本不会遮挡光源组件对待测件中与第一面相背的表面的照明，使得光源组件对待测件的照明效果得到提升，从而提高缺陷检测的准确性。

Description

检测设备

技术领域

本申请涉及检测技术领域，特别涉及一种检测设备。

背景技术

在对晶圆背面的缺陷(如晶圆背面的背胶膜也可能存在气泡、褶皱、破裂等缺陷)进行检测时，由于晶圆正面存在图形电路，一般不会将晶圆正面与承载装置接触，因此，在检测晶圆的背面时，一般晶圆正面依旧朝上，而晶圆背面则承载在承载装置上。在检测时，一般通过暗场光源以多个照射角度朝晶圆背面照射，以使得晶圆背面的每个缺陷的不同部分能够均被照射到，从而获取更准确的缺陷信息。而由于承载装置的阻挡晶圆背面上靠近承载装置的部分，可能只能接收到部分照射角度的暗场光源发射的光线，导致该部分的缺陷可能存在未被照射的部分，从而影响检测准确性。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的实施方式提供了一种检测设备。

本申请实施方式的检测设备包括承载件、安装件、光源组件和检测组件。所述承载件包括相背的第一面和第二面；所述安装件设置在所述承载件，所述安装件的承载面用于放置待测件，所述承载面低于所述第一面；所述光源组件用于向所述待测件与所述第一面相背的背面发射光线；所述检测组件用于接收所述待测件反射的光线，以检测所述待测件的缺陷。

本申请实施方式的检测设备通过安装件上低于承载件的第一面的承载面，承载待测件，并通过光源组件照明待测件与第一面相背的表面，并通过检测组件检测待测件的缺陷，由于承载件基本不会遮挡光源组件对待测件中与第一面相背的表面的照明，使得光源组件对待测件的照明效果得到提升，从而提高缺陷检测的准确性。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的盖板、承载件和安装件的立体组装示意图；

图3是本申请某些实施方式的盖板、承载件和安装件的沿II-II线的剖面示意图；

图4是本申请某些实施方式的盖板、承载件和安装件的立体分解示意图；

图5是本申请某些实施方式的安装件的立体示意图；

图6是本申请某些实施方式的安装件的立体示意图；及

图7是本申请某些实施方式的安装件的立体示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

请参阅图1，本申请实施方式的检测设备100包括承载件20、安装件10、光源组件60和检测组件70。承载件20包括相背的第一面21和第二面22；安装件10设置在承载件20，安装件10的承载面133用于放置待测件200，承载面133低于第一面21；光源组件60用于向待测件200与第一面21相背的背面210发射光线；检测组件70用于接收待测件200反射的光线，以检测待测件200的缺陷。

本申请实施方式的检测设备100通过安装件10上低于承载件20的第一面21的承载面133，承载待测件200，并通过光源组件60照明待测件200与第一面21相背的背面210，并通过检测组件70检测待测件200的缺陷，由于承载件20基本不会遮挡光源组件60对待测件200中与第一面21相背的表面的照明，使得光源组件60对待测件200的照明效果得到提升，从而提高缺陷检测的准确性。且相较于安装件10安装在承载件20的第一面21，使得承载面133高于第一面21，安装空间除了需要留出上料装置(图未示)放置待测件200的空间外，还需要留出安装件10占据的空间，需要更大的安装空间而言，承载面133低于第一面21时，安装空间仅需能够使得上料装置放置待测件200即可，安装空间较小，减小了盖板的体积。

请参阅图1，本申请实施方式的检测设备100包括运动平台30、盖板40、承载件20、安装件10、光源组件60、和检测组件70。盖板40、承载件20、安装件10、压紧件50、光源组件60和检测组件70设置在运动平台30。

运动平台30能够移动，移动包括旋转、平行水平面方向移动、垂直水平面方向移动等。在运动平台30旋转时，能够带动设置在运动平台30的盖板40、承载件20和安装件10旋转；在运动平台30平行水平面方向移动和/或垂直水平面方向移动时，能够带动设置在运动平台30的盖板40、承载件20和安装件10平行水平面方向移动和/或垂直水平面方向移动。也即是说，运动平台30能够带动盖板40、承载件20和安装件10沿预定的旋转轴旋转和/或在三维空间内任意运动，其中，待测件200设置在安装件10，预定的旋转轴可以是待测件200的中心。

运动平台30包括基座31和移动装置32，移动装置32设置在基座31上。

盖板40、承载件20和安装件10均设置在移动装置32上，移动装置32能够带动盖板40、承载件20和安装件10沿预定的旋转轴旋转和在三维空间内任意运动。

光源组件60和检测组件70设置在基座31，移动装置32带动盖板40、承载件20和安装件10沿预定的旋转轴旋转和/或在三维空间内任意运动时，可使得光源组件60照射待测件200的背面210的不同部分，检测组件70接收待测件200的背面210的不同部分反射的光线以检测待测件200的缺陷。

请结合图2和图3，盖板40包括盖板本体41和连接部42。连接部42设置在盖板本体41，并位于盖板本体41的边缘。盖板本体41和连接部42可一体成型，也可分体成型。连接部42和盖板本体41围成安装空间43。

盖板本体41设置在移动装置32。具体可通过螺合、卡合、焊接等方式实现盖板本体41和移动装置32的连接。

请结合图4，连接部42开设有第一缺口421，第一缺口421与安装空间43连通。具体地，第一缺口421贯穿连接部42的顶壁422、侧壁423及底壁424；或者第一缺口421贯穿连接部42的侧壁423。本实施方式中，第一缺口421贯穿连接部42的顶壁422、侧壁423及底壁424，相较于第一缺口421仅贯穿连接部42的侧壁423而言，第一缺口421的尺寸较大，方便上料装置(图未示)夹持待测件200通过第一缺口421进入安装空间43。

在待测件200进入安装空间43后，安装空间43在第二面22的投影(如正投影)覆盖待测件200在第二面22的投影(如正投影)，以保证待测件200能够完全位于安装空间43内。

同时，第一缺口421的宽度D1可大于待测件200的最大宽度，以保证待测件200能够通过第一缺口421进入安装空间43，其中，第一缺口421的宽度D1指的是第一缺口421中，连线平行第二面22的两端的最小距离。

承载件20包括第一面21、第二面22和第三面23。第一面21和第二面22相背，第三面23连接第一面21和第二面22。承载件20与盖板40可一体成型，也可分体成型。第一面21与连接部42的底壁424连接，也即是说，承载件20通过盖板40设置在移动装置32。

承载件20还开设有第二缺口24、贯穿第一面21和第二面22的通孔25和定位孔26。

第二缺口24可贯穿承载件20的第一面21、第二面22和第三面23；或者，第二缺口24可贯穿承载件20的第三面23。本实施方式中，第二缺口24贯穿第一面21、第二面22和第三面23，相较于第二缺口24仅贯穿第三面23而言，第二缺口24的尺寸较大。

通孔25在第二面22的投影(如正投影)覆盖待测件200在第二面22的投影(如正投影)，以使得待测件200进入安装空间43后，能够进入到通孔25。且通孔25在第二面22的投影(如正投影)位于安装空间43在第二面22的投影内，以方便安装空间43内的待测件200进入通孔25内。

第二面22开设有定位孔26，定位孔26的数量为一个或多个。定位孔26为一个时，定位孔26为环形，并环绕通孔25的边缘设置。定位孔26为多个时，定位孔26环绕通孔25的边缘设置。

承载件20还可开设第三缺口27，第三缺口27与第一缺口421对应设置，以增加上料装置(图未示)夹持待测件200以进入安装空间43的操作空间，方便待测件200的放置。

安装件10设置在承载件20。也即是说，安装件10通过承载件20和盖板40设置在移动装置32。

请结合图5，安装件10包括本体11、抵持部12和承载部13。本体11、抵持部12和承载部13一体成型，结合强度较高。

本体11包括相背的顶面111和第一底面112。本体11开设有贯穿顶面111和第一底面112的安装孔113，检测设备100还包括连接件80，连接件80穿设定位孔26和安装孔113，以将安装件10固定在第二面22。也即是说，定位孔26和安装孔113一一对应设置。检测设备100通过连接件80将安装件10设置在承载件20，可实现安装件10和承载件20的可拆卸连接。

本体11的厚度可以大于或等于预定厚度，本体11的厚度为本体11的第一底面112距离顶面111的距离。如预定厚度为5厘米(cm)、8cm、11cm、12cm等，本实施方式中，预定厚度为11cm，以保证足够的空间给上料装置(图未示)放置待测件200。

请结合图4和图6，在其他实施方式中，定位孔26设置在通孔25的内壁251，本体11还包括侧面114，侧面114连接顶面111和第一底面112。侧面114为4个并依次连接，安装孔113贯穿本体11上相对的两个侧面114，连接件80穿设定位孔26和安装孔113，以将安装件10固定在通孔25的内壁251。

定位孔26、安装孔113和连接件80均为多个，连接件80可以是螺钉，定位孔26和安装孔113内可均设置有内螺纹，通过多个连接件80的外螺纹与定位孔26的内螺纹和安装孔113的内螺纹结合，使得安装件10、承载件20和连接件80牢固的连接在一起。在其他实施方式中，定位孔26为一个，安装件10也为一个，本体11呈环形，环形的本体11可通过定位孔26与承载件20卡合；或者，定位孔26为多个并环绕通孔25的边缘设置，安装件10为一个，本体11呈环形，环形的本体11环绕通孔25的边缘设置，多个安装孔113环绕通孔25并与定位孔26一一对应设置，连接件80穿设安装孔113和对应的定位孔26以将安装件10固定在承载件20上。

本实施方式中，安装件10为多个(如3个、4个等)，每个安装件10开设有一个或多个安装孔113。多个安装件10环绕通孔25设置。连接件80穿设安装孔113和对应的定位孔26以将多个安装件10固定在承载件20上，在安装件10的承载面133承载待测件200后，安装件10对待测件200的遮挡较少。

如此，通过定位孔26和安装孔113的配合，只需控制定位孔26的开设位置，即可使得安装件10的能够准确的安装到预设的安装位置，然后通过安装完成且环绕通孔25设置的多个安装件10的承载面133共同承载件20，保证安装件10对待测件200的承载效果。

抵持部12设置在本体11的顶面111，抵持部12自本体11的顶面111朝第一面21方向(或远离顶面111方向)延伸，以伸入通孔25内，并与通孔25的内壁251抵持，抵持部12与通孔25的内壁251抵持的表面可为弧面，且该弧面的弧度与通孔25的内壁251的弧度匹配，从而使得该弧面和通孔25的内壁251完全贴合，该弧面和通孔25的内壁251之间的受力面积较大，防止该弧面和通孔25的内壁251因相互之间的作用力而损坏。

在安装件10受到平行第二面22且朝向通孔25的内壁251的作用力时，抵持部12和通孔25的内壁251配合以抵消该作用力，防止连接件80受到该作用力，从而使得安装件10的安装更为稳固。

承载部13设置在本体11，具体地，承载部13连接本体11朝向通孔25一侧的侧面114。

承载部13包括引导面131、定位面132和承载面133。引导面131、定位面132和承载面133依次连接。

引导面131与本体11朝向通孔25一侧的侧面114形成预定角度，预定角度大于90度。待测件200从通孔25移动到引导面131，经由引导面131引导后，待测件200移动到承载面133上并与定位面132抵持。

定位面132为弧面，定位面132的弧度和与待测件200的边缘的弧度匹配，也即是说，定位面132与待测件200的边缘贴合。环绕通孔25设置的多个安装件10的多个定位面132围成承载空间134，使得承载空间134在第二面22的投影刚好覆盖待测件200在第二面22的投影，待测件200承载在承载面133后，即与多个定位面132刚好抵持，从而被定位和固定在承载空间134内。如此，通过多个定位面132实现待测件200的定位，使得待测件200承载在承载面133时，刚好位于承载空间134内。

承载面133与第二面22平行，使得待测件200承载在承载面133后，待测件200的背面210也与第二面22平行。

承载面133的长度D2大于预定长度。如承载面133的长度D2为承载面133沿平行通孔25在第二面22的圆形投影的预定直径(如承载面133的中心对应的直径)方向的长度。预定长度为3cm、5cm、8cm、11cm、12cm等，本实施方式中，预定长度为5cm，以留有足够的面积来保证待测件200承载的稳固性。

请参阅图5，承载部13还包括与承载面133相背的第二底面135，承载部13的第二底面135与本体11的第一底面112位于同一平面。请参阅图7，或者，承载部13的第二底面135和第二面22的夹角大于90度(如120度、150度、170度等)，也即是说，承载部13的第二底面135与本体11的第一底面112的夹角也大于90度，从而使得承载部13中与承载面133对应的部分(如承载部13在第二面22的投影位于承载面133在第二面22的投影内的部分，下称第一部136)，沿通孔25在第二面22的圆形投影的直径方向，第一部136的厚度逐渐增加，使得第一部136被垂直第二面22且平行通孔25的直径(如通孔25在第二面22的投影为圆形)的截面截得的平面呈楔形，有利于减小第一部136的尺寸，从而在待测件200承载在承载面133时，减小第一部136对光源组件60发出的光线的遮挡，提高对待测件200的检测效果。

请参阅图2，压紧件50设置承载件20并至少部分位于第二缺口24内。压紧件50包括驱动部51和移动部52。

驱动部51可以是基于机械驱动、气动驱动、磁力驱动等驱动方式的部件，驱动部51能够驱动移动部52朝通孔25移动，以使得移动部52压紧待测件200的边缘，移动部52与待测件200接触的表面也可为弧面，且该弧面的弧度与待测件200的边缘的弧度匹配，从而使得移动部52抵触待测件200的边缘时，待测件200能够被牢固的固定在承载空间134内，且待测件200的受力较为均匀。在检测完成后，驱动部51驱动移动部52朝远离通孔25方向移动，以松开待测件200，方便取出待测件200。

安装件10和移动部52的材料可以是金属材料制成。金属材料具有一定的强度，不易发生变形或损坏，具有较长的使用寿命。安装件10和移动部52的材料还可以是非金属材料制成。非金属材料上不易产生静电，能够防止静电对待侧件造成损害。例如待测件200为晶圆时，晶圆表面可能设置有电路，若安装件10或移动部52上产生静电，则当安装件10或移动部52、与晶圆的接触时，静电容易对晶圆造成损害。此外，非金属材料的重量较轻，加工难度较低。

光源组件60设置在基座31。光源组件60包括多个光源62。

每个光源62可以均是均匀的面光源，使得光源62能够照射在待测件200的背面210时，能够使得每个光源62在待测件200的背面210照射区域的照射强度基本相同。

多个光源62的入射角度不同且均不垂直第二面22，以从多个不同入射角度照射待测件200，实现暗场照明。例如，光源62的个数为3个，3个光源62的中心围成圆形，且任意2个光源62的中心和圆形中心的连线的夹角为120度。当然，光源62的个数还可以是其他数量如2个、4个、5个等，在此不再一一列举。

3个光源62在待测件200的照射区域可重合，使得光源组件60的多个光源62同时照射同一照射区域，其中，光源62的入射角度为光源62的中心轴的角度，光源62的中心轴位于光源62的中心且垂直光源62的发光面。当然，多个光源62在待测件200的照射区域也可部分重合，重合区域的光强大于非重合部分的光强，在进行缺陷检测时，可利用两者的光强特性，识别重合区域和非重合区域，从而实现对重合区域的缺陷的检测，提高缺陷检测的准确性。

可以理解，待测件200的缺陷是立体的，如晶圆的背面210通常需要贴背胶膜，背胶膜的缺陷包括气泡、异物、褶皱、破裂等。单独从一个入射方向照射的光线可能使得待测件200的缺陷存在未被照射的部分，从而影响缺陷检测准确性。而光源组件60通过多个不同入射角度的光源62照射待测件200的同一部分，从而使得待测件200被照射的部分的缺陷完全被照射，从而提升缺陷检测的准确性。

检测组件70包括一个或多个传感器72。

例如，传感器72为一个，且为可见光摄像头或深度摄像头。传感器72为可见光摄像头时，光源62为可见光光源62；在传感器72为深度摄像头时，光源62为红外光源62。

再例如，在传感器72为多个时，多个传感器72可以是不同类型的传感器72，如传感器72为2个，分别为可见光摄像头和深度摄像头，光源组件60则包括多个可见光光源62和多个红外光源62，以实现可见光图像和深度图像的采集。本实施方式中，传感器72为一个，且为可见光摄像头，光源组件60则包括多个可见光光源62。

运动平台30能够移动盖板40以带动待测件200，以使得传感器72能够采集待测件200背面210的不同部分的信息，如传感器72拍摄待测件200背面210的可见光图像。

待测件200除了前述提到的晶圆外，还可以是其他如显示屏面板、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板40、玻璃、木材、铁板、任何装置的壳体(例如手机壳)等需要进行加工或者检测的元件。本申请实施方式则主要以晶圆为例进行说明，但不并不限制待测件200只能是晶圆。

请参阅图1至图4，以下以晶圆为例，完整介绍本申请的检测设备100实现晶圆背面210的缺陷的检测的具体流程：

首先，检测设备100通过上料装置(如机械手、机械夹具等，图未示)夹持晶圆，并从第一缺口421将晶圆送入安装空间43，然后送入通孔25，此时上料装置可松开晶圆，以使得晶圆经过多个安装件10的引导面131引导后进入到承载空间134，最后承载在承载面133并与安装件10的定位面132抵持。

此时检测设备100的压紧件50的驱动部51驱动移动部52朝通孔25移动，然后移动部52抵持晶圆的边缘，移动部52上可设置有压力传感器72，以检测移动部52和晶圆的边缘之间的作用力，在作用力大于预设压力阈值时，则认为移动部52已压紧晶圆，晶圆定位和放置完成。

然后运动平台30移动盖板40以带动晶圆移动到预定位置，以使得光源组件60的多个光源62能够照射到晶圆的背面210。

在一个例子中，多个光源62在待测件200的照射区域重合，该照射区域可刚好覆盖整个晶圆的背面210，光源组件60的多个光源62能够从多个角度照射晶圆的背面210。

在预定位置处，检测组件70的传感器72(即可见光摄像头)的视场范围也刚好覆盖晶圆，即，可见光摄像头的视场中心与晶圆的中心对准。此时传感器72能够直接获取到整个晶圆的背面210的待测图像。检测设备100还包括处理器90，处理器90能够对待测图像进行检测，以检测晶圆的背面210的缺陷。

当然，安装件10的第一部136会部分遮挡晶圆的背面210，在拍摄以获取一张待测图像后，可旋转晶圆，如压紧件50的移动部52能够沿着通孔25的内壁251的切向移动，从而在不取出晶圆的情况下，旋转晶圆，以使得原本被安装件10遮挡的部分暴露，从而重新获取一张待测图像以检测被安装件10遮挡的部分的缺陷，以完成整个晶圆的背面210的缺陷检测。在其他实施方式中，检测设备100可通过上料装置取出晶圆后调整晶圆的放置角度，同样能够使得原本被安装件10遮挡的部分暴露。

在另一个例子中，晶圆的背面210可分为多个待测区域，多个光源62在待测件200的照射区域重合，该照射区域可覆盖晶圆的背面210的一个待测区域，光源组件60的多个光源62能够从多个角度照射该待测区域。

在预定位置处，检测组件70的传感器72(即可见光摄像头)的视场范围也覆盖待测区域，即，可见光摄像头的视场中心与待测区域中心对准。此时传感器72能够直接获取到一个待测区域的待测图像。然后运到平台控制移动装置32旋转或沿平行第二面22方向平移盖板40，以使得照射区域和时长范围覆盖其他待测区域，以依次获取每个待测区域的待测图像。检测设备100还包括处理器90，处理器90能够对多个待测图像进行检测，以检测整个晶圆的背面210的缺陷。与前述例子类似的，可通过压紧件50或上料装置旋转晶圆以使得第一部136遮挡的晶圆的背面210的部分暴露，从而再次获取每个安装件10对应的待测区域的待测图像，从而完成整个晶圆的背面210的缺陷检测。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、供“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

承载件，所述承载件包括相背的第一面和第二面；

安装件，所述安装件设置在所述承载件，所述安装件的承载面用于放置待测件，所述承载面低于所述第一面；

光源组件，所述光源组件用于向所述待测件与所述第一面相背的背面发射光线；及

检测组件，所述检测组件用于接收所述待测件反射的光线，以检测所述待测件的缺陷。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载件开设有贯穿所述第一面和所述第二面的通孔，所述通孔在所述第二面的投影覆盖所述待测件在所述第二面的投影，所述第二面开设有定位孔，所述安装件开设有安装孔，所述检测设备还包括连接件，所述连接件穿设所述定位孔和所述安装孔，以将所述安装件固定在所述第二面。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述安装件包括本体和抵持部，所述安装孔穿设所述本体，所述抵持部位于所述通孔内并抵持所述通孔的内壁。

4.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述安装件包括本体和承载部，所述安装孔穿设所述本体，所述承载部包括相互连接的承载面和定位面，所述承载面平行所述第二面，所述待测件承载在所述承载面并与所述定位面抵持。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述定位面为弧面，所述定位面的弧度与所述待测件的边缘的弧度匹配。

6.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述承载部还包括与所述承载面相背的底面，所述底面与所述第二面的夹角大于90度。

7.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述安装件为多个，所述安装件环绕所述通孔设置；或，所述安装件呈环形，并环绕所述通孔设置。

8.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括盖板，所述盖板设置在所述承载件并与所述第一面连接，所述盖板包括盖板本体和连接部，所述连接部与所述第一面连接，所述连接部沿所述盖板本体的边缘设置，并与所述盖板本体围成安装空间，所述通孔在所述第二面的投影位于所述安装空间在所述第二面的投影内，所述连接部开设有第一缺口，所述第一缺口与所述安装空间连通，所述第一缺口的宽度大于所述待测件的最大宽度。

9.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括压紧件，所述承载件开设有第二缺口，所述第二缺口与所述通孔连通，所述压紧件至少部分设置在所述第二缺口，所述压紧件能够朝所述通孔移动，以抵触所述待测件。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载件开设有贯穿所述第一面和所述第二面的通孔，所述通孔在所述第二面的投影覆盖所述待测件在所述第二面的投影，所述通孔的内壁开设有定位孔，所述安装件开设有安装孔，所述检测设备还包括连接件，所述连接件穿设所述定位孔和所述安装孔，以将所述安装件固定在所述内壁。

11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述安装件和所述承载件一体成型；或，所述安装件和所述承载件分体成型。

12.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述光源组件包括多个光源，多个所述光源的入射角度不同，且均不垂直所述第二面。

13.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括运动平台，所述检测组件包括传感器，所述承载件设置在所述运动平台，所述运动平台用于移动所述承载件，以使得所述传感器采集所述待测件不同部分的信息。

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