CN214918668U - 一种用于硅片加工的脱胶装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种用于硅片加工的脱胶装置，包括清洗机和移动装置，所述移动装置的内部设置有伸缩推杆，所述伸缩推杆的顶端固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有固定块，所述横梁的侧表面设置有活动板，所述固定块的左侧固定连接有固定板。该用于硅片加工的脱胶装置，通过将吊钩和固定杆进行套接，使得固定杆位于吊钩的内部，再将吊钩向上移动，并带动限位杆一同向上移动，使得限位杆的顶端位于限位孔的内部，当固定杆的底端与吊钩的内底壁搭接时，则可以对固定杆进行限位，防止固定杆在吊钩的内部发生移动，从而提高了硅片花篮在移动时的稳定性，防止硅片花篮从吊钩脱落下来。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片加工的脱胶装置。
背景技术
硅片加工用的脱胶装置在对硅片进行清洗时，需要对装有未清洗硅片的硅片花篮进行移动，将硅片花篮移动到清洗槽处进行清洗，而现有的硅片加工用的脱胶装置大多都是通过普通的吊钩对硅片花篮进行悬挂，没有设置防护结构，当硅片花篮的移动速度变快时，则容易导致硅片花篮从吊钩上脱落下来，从而使得硅片花篮内的硅片掉落出来，对硅片造成损坏，因此需要提出一种用于硅片加工的脱胶装置来解决上述所出现的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片加工的脱胶装置，具备便于对装有硅片的硅片花篮进行移动，且不易使得硅片花篮发生脱落等优点，解决了硅片花篮的移动速度变快时，则容易导致硅片花篮从吊钩上脱落下来，从而使得硅片花篮内的硅片掉落出来，对硅片造成损坏的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片加工的脱胶装置，包括清洗机和移动装置，所述移动装置的内部设置有伸缩推杆，所述伸缩推杆的顶端固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有固定块，所述横梁的侧表面设置有活动板，所述固定块的左侧固定连接有固定板，所述活动板和固定板的底部均固定连接有吊钩，所述清洗机的顶部设置有硅片花篮，所述硅片花篮的左右两侧均固定连接有固定杆，所述硅片花篮的内部设置有硅片，所述吊钩的内底壁固定连接有限位杆，所述固定杆的侧表面固定连接有限位孔。
优选的，所述活动板的内部开设有左右贯穿的活动槽，所述活动板的顶部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端活动连接有夹板，所述螺纹杆的顶端固定连接有旋钮。
优选的，所述螺纹孔的底端与活动槽相互连通，所述横梁与活动槽的内部活动插接，所述夹板的底部与横梁的顶部相互搭接，所述旋钮位于活动板的上方。
优选的，所述固定板位于活动板的右侧，所述横梁与固定板的内部固定连接。
优选的，所述吊钩与固定杆活动套接，所述吊钩与固定杆相互适配。
优选的，所述固定杆的底部与吊钩的内底壁搭接，所述限位孔与固定杆的顶部和底部连通，所述限位杆与限位孔的内部活动插接。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片加工的脱胶装置，具备以下有益效果：
1、该用于硅片加工的脱胶装置，通过吊钩、硅片花篮、固定杆、限位杆和限位孔之间的相互配合，从而可以将吊钩和固定杆进行套接，使得固定杆位于吊钩的内部，再将吊钩向上移动，并带动限位杆一同向上移动，使得限位杆的顶端位于限位孔的内部，当固定杆的底端与吊钩的内底壁搭接时，则可以对固定杆进行限位，防止固定杆在吊钩的内部发生移动，从而提高了硅片花篮在移动时的稳定性，防止硅片花篮从吊钩脱落下来。
2、该用于硅片加工的脱胶装置，通过横梁、活动槽、螺纹孔、螺纹杆、夹板和旋钮之间的相互配合，从而可以将旋钮进行逆时针转动，并带动螺纹杆逆时针转动，使得螺纹杆在螺纹孔的内部向上移动，并带动夹板在活动槽的内部向上移动，使得夹板的底部与横梁的顶部分开，从而可以将活动板在横梁上进行移动，从而可以根据不同大小的硅片花篮来调节活动板的位置，使用效果很好。
附图说明
图1为本实用新型正面结构示意图；
图2为本实用新型活动板侧面结构剖视图；
图3为本实用新型图2中A处结构放大图；
图4为本实用新型图2中B处结构放大图。
其中：1、清洗机；2、移动装置；3、伸缩推杆；4、横梁；5、固定块；6、活动板；7、固定板；8、吊钩；9、硅片花篮；10、固定杆；11、硅片；12、限位杆；13、限位孔；14、活动槽；15、螺纹孔；16、螺纹杆；17、夹板；18、旋钮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种用于硅片加工的脱胶装置，包括清洗机1和移动装置2，将装有硅片11的硅片花篮9放入到清洗机1的内部，便可以通过清洗机1对硅片进行清洗，方便对硅片11进行脱胶处理，移动装置2位于清洗机1的左侧，移动装置2的内部设置有伸缩推杆3，伸缩推杆3的数量为两个，且两个伸缩推杆3前后设置，移动装置2进行移动时，带动两个伸缩推杆3一同进行移动，伸缩推杆3的顶端固定连接有横梁4，横梁4设置为矩形，横梁4的右端固定连接有固定块5，固定块5的左侧与两个横梁4的右端固定连接，横梁4的侧表面设置有活动板6，活动板6与两个横梁4活动连接，固定块5的左侧固定连接有固定板7，固定板7位于活动板6的右侧，横梁4与固定板7的内部固定连接，固定板7与两个横梁4固定连接，活动板6和固定板7的底部均固定连接有吊钩8，吊钩8的数量为四个，且活动板6和固定板7的底部均固定连接有两个吊钩8，清洗机1的顶部设置有硅片花篮9，硅片花篮9的左右两侧均固定连接有固定杆10，硅片花篮9的左右两侧均固定连接有两个固定杆10，硅片花篮9的内部设置有硅片11，硅片11的数量为多个，吊钩8的内底壁固定连接有限位杆12，吊钩8与固定杆10活动套接，通过吊钩8将固定杆10进行套接，从而使得吊钩8移动可以带动硅片花篮9一同进行移动，吊钩8与固定杆10相互适配，固定杆10的侧表面固定连接有限位孔13，固定杆10的底部与吊钩8的内底壁搭接，限位孔13与固定杆10的顶部和底部连通，限位杆12与限位孔13的内部活动插接，通过限位杆12与限位孔13的内部活动插接，从而可以对固定杆10进行限位，防止固定杆10在吊钩8的内部发生移动。
活动板6的内部开设有左右贯穿的活动槽14，活动槽14的数量为两个，且两个活动槽14均设置为矩形状，两个活动槽14分别与两个横梁4相互适配，活动板6的顶部开设有螺纹孔15，螺纹孔15的数量为两个，螺纹孔15的内部螺纹连接有螺纹杆16，螺纹杆16的底端活动连接有夹板17，螺纹杆16的顶端固定连接有旋钮18，螺纹孔15的底端与活动槽14相互连通，横梁4与活动槽14的内部活动插接，夹板17的底部与横梁4的顶部相互搭接，旋钮18位于活动板6的上方，通过转动旋钮18带动螺纹杆16发生转动，并使得螺纹杆16在螺纹孔15的内部进行上下移动，从而使得夹板17在活动槽14的内部进行移动，当旋钮18逆时针转动时，带动夹板17向上移动，从而使得夹板17与横梁4之间变得松弛，便可以将活动板6在两个横梁4上进行移动，当旋钮18顺时针转动，则使得夹板17的底部与横梁4的顶部搭接，从而将夹板17与横梁4进行固定，进而使得活动板6与横梁4固定，防止活动板6在横梁4上发生移动，因此可以根据硅片花篮9的大小调节活动板6的位置，从而便于对硅片花篮9进行悬挂移动。
在使用时，需要对硅片花篮9进行移动时，通过伸缩推杆3带动横梁4进行移动，调整横梁4的位置，并使对吊钩8的高度进行改变，使得吊钩8开口处的高度与固定杆10的高度相对应，并通过移动装置2进行移动，从而可以带动吊钩8进行移动，使得吊钩8与固定杆10套接，当固定杆10位于吊钩8的内部后，可以通过伸缩推杆3带动横梁4向上移动，并使得吊钩8一同向上移动，且使得限位杆12的顶端位于限位孔13的内部，当固定杆10的底端与吊钩8的内底壁搭接时，则可以对固定杆10进行限位，防止固定杆10在吊钩8的内部发生移动，然后通过移动装置2带动硅片花篮9进行移动，使得硅片花篮9位于清洗机1的正上方，然后使得伸缩推杆3收缩，并带动硅片花篮9向下移动，使得硅片花篮9位于清洗机1的内部，当硅片花篮9的底部与清洗机1的内底壁搭接时，伸缩推杆3继续收缩，带动吊钩8继续向下移动，从而使得限位杆12的顶端从限位孔13的内部移动出来，然后通过移动装置2带动吊钩8进行移动，从而使得吊钩8从固定杆10上移动出来，从而便可以将吊钩8与硅片花篮9分开，然后可以通过清洗机1对硅片花篮9内部的硅片11进行清洗。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于硅片加工的脱胶装置，包括清洗机(1)和移动装置(2)，其特征在于：所述移动装置(2)的内部设置有伸缩推杆(3)，所述伸缩推杆(3)的顶端固定连接有横梁(4)，所述横梁(4)的右端固定连接有固定块(5)，所述横梁(4)的侧表面设置有活动板(6)，所述固定块(5)的左侧固定连接有固定板(7)，所述活动板(6)和固定板(7)的底部均固定连接有吊钩(8)，所述清洗机(1)的顶部设置有硅片花篮(9)，所述硅片花篮(9)的左右两侧均固定连接有固定杆(10)，所述硅片花篮(9)的内部设置有硅片(11)，所述吊钩(8)的内底壁固定连接有限位杆(12)，所述固定杆(10)的侧表面固定连接有限位孔(13)。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的脱胶装置，其特征在于：所述活动板(6)的内部开设有左右贯穿的活动槽(14)，所述活动板(6)的顶部开设有螺纹孔(15)，所述螺纹孔(15)的内部螺纹连接有螺纹杆(16)，所述螺纹杆(16)的底端活动连接有夹板(17)，所述螺纹杆(16)的顶端固定连接有旋钮(18)。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片加工的脱胶装置，其特征在于：所述螺纹孔(15)的底端与活动槽(14)相互连通，所述横梁(4)与活动槽(14)的内部活动插接，所述夹板(17)的底部与横梁(4)的顶部相互搭接，所述旋钮(18)位于活动板(6)的上方。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的脱胶装置，其特征在于：所述固定板(7)位于活动板(6)的右侧，所述横梁(4)与固定板(7)的内部固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的脱胶装置，其特征在于：所述吊钩(8)与固定杆(10)活动套接，所述吊钩(8)与固定杆(10)相互适配。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的脱胶装置，其特征在于：所述固定杆(10)的底部与吊钩(8)的内底壁搭接，所述限位孔(13)与固定杆(10)的顶部和底部连通，所述限位杆(12)与限位孔(13)的内部活动插接。
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