CN214881936U - 一种长晶炉 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种长晶炉，包括冷却管，冷却管包括冷却介质容腔；冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，辅助冷却系统的介质出口与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；辅助冷却系统受电控系统控制，当主冷却介质供入通道和/或主冷却介质排出通道的介质流动异常时，辅助冷却系统对冷却介质容腔提供冷却介质。本申请所公开的所述长晶炉具有冷却可靠、使用安全、便于维护、自动化程度高等优点。

Description

一种长晶炉

技术领域

本申请属于长晶工业技术领域，尤其涉及一种长晶炉。

背景技术

众所周知，晶体在生产和生活中扮演着重要的角色。而晶体往往通过长晶炉来进行生产。碳化硅是重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性，被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。

在碳化硅的生产过程中，需要高温加热，尤其在晶体生长过程中，需要使炉内长期保持在较高的温度，同时，对温度的稳定性也有较高的要求，无论从生产角度还是安全角度考虑，都需要设置冷却系统。在实际的生产过程中，长晶车间往往设置多台长晶炉，而且多台长晶炉共用一个冷却系统集中供送冷却介质，当冷却系统出现故障(例如介质通道堵塞、或冷却介质断流等)时，将影响多台长晶炉的正常工作，给实际的生产工作带来了极大的困扰，甚至由于不能及时排出故障，还可能会诱发安全事故。因此，提高长晶炉的冷却系统的可靠性对长晶生产具有重要的意义。

现有的长晶炉的晶体生长腔绝大部分为双层石英管水冷设计，两层石英管之间的夹层为冷却介质流道。用于晶体生长的坩埚位于内侧石英管所围成的受热区域，坩埚由电感线圈进行感应加热，坩埚辐射出的热量绝大部分由石英管内的冷却介质带走。然而为了确保加热效率，石英管的管壁很薄，极易发生破裂，造成冷却故障；如果不能对其进行实时监控，不仅影响长晶过程，甚至诱发安全事故。除此之外，长晶炉的冷却系统在使用一段时间后极易发生冷却介质管路堵塞等问题，进而使石英管的冷却介质停止循环，在高温的辐射下，冷却介质极易发生沸腾(甚至汽化)，致使石英管内部压力升高，极易造成爆燃、爆炸等安全事故，严重危及设备和人生安全。

除此之外，因安装或操作不当或热胀冷缩等原因极易产生微小的裂纹，导致冷却介质的泄漏，现有技术中并不存在直接检测的手段，也为长晶生产和长晶炉的安全使用埋下极大的隐患。基于上述种种原因，申请人提出了一种具有故障监测、冷却可靠、使用安全等优点的新型长晶炉。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

实用新型内容

本实用新型提供了一种长晶炉，以解决上述技术问题中的至少一个技术问题。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种长晶炉，包括冷却管，所述冷却管包括冷却介质容腔；所述冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；

所述长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，所述辅助冷却系统的介质出口与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；所述辅助冷却系统受所述电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道和/或所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述辅助冷却系统对所述冷却介质容腔提供冷却介质。

优选地，使所述辅助冷却系统包括泵送单元和散热单元，所述散热单元的介质出口经所述泵送单元与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述散热单元的介质入口流路连通设置，所述泵送单元受所述电控系统控制。

优选地，使所述主冷却介质排出通道上设有第一压力监测单元，所述第一压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元的压力大于或小于设置值时，所述第一压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动冷却模式，以对所述冷却介质容腔提供冷却介质。

优选地，使所述主冷却介质供入通道上设有第二压力监测单元，所述第二压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第二压力监测单元的压力小于设置值时，所述第二压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动所述冷却模式。

优选地，使所述主冷却介质排出通道上设有第一流量监测单元，所述主冷却介质供入通道上设有第二流量监测单元，所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元均与所述电控系统信号连接设置，当所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元的差值大于设定范围时，所述电控系统发出故障提示信息。

优选地，使所述长晶炉还包括泄压单元，所述冷却介质出口依次经所述泄压单元和第一单向开关与所述主冷却介质排出通道流路连通，所述冷却介质出口依次经所述泄压单元和第二单向开关与所述散热单元的介质入口流路连通。

优选地，使所述长晶炉还包括冷却介质存储容器、冷却介质收纳容器和电控开关，所述冷却介质存储容器位于所述冷却管的上方，所述冷却介质收纳容器位于所述冷却介质存储容器的下方，所述冷却介质存储容器的介质出口与所述冷却介质入口流路连通，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器流路连通，所述电控开关设于所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器之间的流体通道上；

所述电控开关受所述电控系统控制，当所述电控开关处于断电状态时，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器处于接通状态，当所述电控开关处于接电状态时，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器处于截止状态。

在包含所述泄压单元的结构中，进一步优选地使所述泄压单元的泄压口与所述冷却介质存储容器连通设置。

优选地，使所述冷却介质出口位于所述冷却管的上部，所述冷却介质入口位于所述冷却管的下部。

优选地，使所述长晶炉还包括预警单元；在具体工作中，当所述主冷却介质供入通道和所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述预警单元发出预警信息；和/或，当所述泵送单元发生异常时，所述预警单元发出预警信息。

通过本申请提出的一种长晶炉能够带来如下有益效果：

1.本申请通过使所述长晶炉包括辅助冷却系统，并使所述辅助冷却系统受电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道和/或所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述辅助冷却系统对所述冷却介质容腔提供冷却介质，以使所述长晶炉的冷却系统具有主冷却和辅助冷却的功能，有效地提高了长晶炉冷却系统的冷却可靠性，进而使所述长晶炉的使用更加安全；同时，在电控系统的作用下，可有效地提升冷却系统的自动化程度，也在一定程度上为长晶炉的长晶质量提供有力的温控保障。

2.本申请通过在所述主冷却介质排出通道上设置第一压力监测单元，并使所述第一压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元的压力大于设置的压力值时，可经过控制系统启动所述辅助冷却系统；同时，给故障诊断提供有力的线索，例如，当第一压力监测单元的压力大于设定值时，可能由于管路的堵塞造成的故障。另外，当所述第一压力监测单元的压力小于设定值时，同样，可经过控制系统启动所述辅助冷却系统，同时，检修人员根据所述第一压力监测单元所反馈的信息预判冷却介质供送不足。由此，本申请通过设置所述第一压力监测单元的作用不仅可以对控制系统提供监测信息，保障长晶炉的冷却要求，而且有效地降低了长晶炉的故障诊断和检修难度。

3.本申请通过在所述主冷却介质供入通道上设置第二压力监测单元，并通过所述第二压力监测单元与所述电控系统信号连接，所述第二压力监测单元对所述电控系统提供监测信息，以在需要时，启动所述辅助冷却系统。这样不仅可以使所述长晶炉的冷却得到有效保障，而且也能够有效地降低了长晶炉的故障诊断和检修难度。例如，当所述第二压力监测单元的压力小于设定值时，可以预判主冷却介质供入通道所提供的冷却介质可能不足。

4.本申请通过在所述主冷却介质排出通道上设置第一流量监测单元，在所述主冷却介质进入通道上设置第二流量监测单元，并使所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元均与所述电控系统信号连接，当所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元的差值大于设定范围时，所述电控系统发出故障提示信息，其也可以预判所述冷却介质入口和所述冷却介质出口之间可能存在泄漏问题，进一步判断可能由冷却管发生破裂造成。

5.本申请通过设置泄压单元，当所述冷却管内的压力达到泄压单元的设定压力时，所述泄压单元处于泄压状态，避免所述冷却介质容腔内部的压力过高造成的安全事故，进而使所述长晶炉的使用更加安全。

6.本申请还通过使所述长晶炉包括冷却介质存储容器、冷却介质收纳容器和电控开关，使其与所述冷却管形成冷却水路，并进一步使所述电控开关在断电时，接通所述冷却水路，在对其供电时，使所述冷却水路作为备用水路，进而在长晶过程中由于断电导致长晶炉冷却系统不能正常工作时，还能对长晶炉提供冷却。

7.本申请通过使所述长晶炉还包括预警单元，当所述主冷却介质供入通道和所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述预警单元发出预警信息；和/或，当所述泵送单元发生异常时，所述预警单元发出预警信息；以提醒工作人员对长晶炉进行有效监测，进而能够有效地避免安全事故的发生。

8.本申请通过设置相关的压力监测单元和或流量监测单元，可以便于对长晶炉进行定期维护工作，以降低长晶炉使用过程中冷却系统发生故障的概率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例所提供的长晶炉所包括的冷却系统的示意图。

其中，1冷却管，11冷却介质容腔，12冷却介质入口，13冷却介质出口，

2受热区域，

3主冷却介质供入通道，

4主冷却介质排出通道，

5辅助冷却系统，51泵送单元，52散热单元，

61第一压力监测单元，62第二压力监测单元，63第一流量监测单元，64第二流量监测单元，

71泄压单元，711泄压口，72第一单向开关，73第二单向开关，74电控开关，

81冷却介质存储容器，82冷却介质收纳容器。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个方案”、“一些方案”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该方案或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个方案或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的方案或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个方案或示例中以合适的方式结合。

本申请中，某个数值以上包括本数，例如两个以上包括两个。

为便于描述，下文中的“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”为长晶炉使用时，相对使用者的方位。

一种长晶炉，如图1所示，包括冷却管1，所述冷却管1包括冷却介质容腔11；所述冷却管1上设有冷却介质入口12和冷却介质出口13，主冷却介质供入通道3与所述冷却介质入口12流路连通设置，所述冷却介质出口13与主冷却介质排出通道4流路连通设置；所述长晶炉还包括辅助冷却系统5和电控系统，所述辅助冷却系统5的介质出口与所述冷却介质入口12流路连通设置，所述冷却介质出口13与所述辅助冷却系统5的介质入口流路连通设置；所述辅助冷却系统5受所述电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道3和/或所述主冷却介质排出通道4的介质流动异常时，所述辅助冷却系统5对所述冷却介质容腔11提供冷却介质。需要说明的是，本申请所述冷却管1不做具体限定，其可以是长晶炉所包括的用于冷却的任何管体，在具体实施时，优选地使所述冷却管1所围成的区域设为受热区域2，进一步优选地使所述冷却管1包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁套装设置，所述第一侧壁和所述第二侧壁之间形成所述冷却介质容腔11，位于内侧的侧壁形成生长腔；为了满足所述冷却管1适应高温的工作环境，优选地使所述冷却管1设为双层石英管。在具体实施时，所述冷却管1所围成的区域至少部分设为受热区域2，并进一步使所述受热区域2设为长晶炉的生长腔，且使所述长晶炉包括能够与所述冷却管1盖合设置的上盖和下盖，在长晶生产时，使坩埚位于所述生长腔内，并对受热区进行高温加热(可采用设定频率的感应线圈对受热区域2进行加热)，以进行长晶过程。另外，所述长晶炉所生产的晶体种类也不做具体限定，优选地使所述长晶炉用于碳化硅晶体的生产。另需要说明的是，在具体实施时，所述主冷却介质供入通道3和所述主冷却介质排出通道4可连接多个长晶炉，以实现对长晶车间设置的多个长晶炉集中提供冷却介质。除此之外，本申请所述冷却介质也不做具体的限定，其可选择任何满足长晶生产过程中实施冷却的介质，进一步优选地使所述冷却介质设为水。除上述说明外，还需要说明的是，本申请中，所谓的“介质流动异常”包括任何不能对长晶炉实施正常冷却的情况，例如，所述主冷却介质供入通道3所供送的冷却介质不满足冷却要求，具体例如冷却介质供应不足等。本申请通过使所述长晶炉包括辅助冷却系统5，并使所述辅助冷却系统5受电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道3和/或所述主冷却介质排出通道4的介质流动异常时，所述辅助冷却系统5对所述冷却介质容腔11提供冷却介质，以使所述长晶炉的冷却系统具有主冷却和辅助冷却的功能，有效地提高了长晶炉冷却系统的冷却可靠性，进而使所述长晶炉的使用更加安全；同时，也在一定程度上为长晶炉的长晶质量提供有力的温控保障。不仅如此，本申请所述辅助冷却系统5受电控系统控制，不需要人工实施监控，便能自主地解决长晶炉的冷却问题。

作为本申请的优选实施方式，在具体实施时，进一步优选地使所述辅助冷却系统5包括泵送单元51和散热单元52，所述散热单元52的介质出口经所述泵送单元51与所述冷却介质入口12流路连通设置，所述冷却介质出口13与所述散热单元52的介质入口流路连通设置，所述泵送单元51受所述电控系统控制。在具体实施时，所述泵送单元51也不做具体的限定，其可选择性地设为任何能够满足对冷却介质泵送的流体泵，并进一步优选地使所述泵送单元51包括驱动电机，通过所述驱动电机与所述电控系统相关联，以实现对所述辅助冷却系统5进行有效控制。除此之外，本申请所述散热单元52也不做具体的限定，其可以是通过热交换的形式进行散热的散热器，或是采用风冷的形式进行散热的散热器。

作为前述实施方式下的优选实施例，在具体实施时，本申请还可进一步优选地使所述主冷却介质排出通道4上设有第一压力监测单元61，所述第一压力监测单元61与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元61的压力大于或小于设置值时，所述第一压力监测单元61对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统5启动冷却模式，以对所述冷却介质容腔11提供冷却介质。本申请通过在所述主冷却介质排出通道4上设置第一压力监测单元61，并使所述第一压力监测单元61与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元61的压力大于设置的压力值时，可经过控制系统启动所述辅助冷却系统5；同时，给故障诊断提供有力的线索，例如，当第一压力监测单元61的压力大于设定值时，可能由于管路的堵塞造成的故障，以便于故障的排除。另外，当所述第一压力监测单元61的压力小于设定值时，同样，可经过控制系统启动所述辅助冷却系统5，同时，检修人员也可根据所述第一压力监测单元61所反馈的信息预判可能存在冷却介质供送不足的问题。由此，本申请通过设置所述第一压力监测单元61的作用不仅可以对控制系统提供监测信息，保障长晶炉的冷却要求，而且有效地降低了长晶炉的故障诊断和检修难度。

作为前述实施形式下的优选示例，本申请前述所有实施方式、实施例、可变换的实施方式及可变换的实施例均可进一步选择性地使所述主冷却介质供入通道3上设有第二压力监测单元62，所述第二压力监测单元62与所述电控系统信号连接设置，当所述第二压力监测单元62的压力小于设置值时，所述第二压力监测单元62对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统5启动所述冷却模式。本申请通过在所述主冷却介质供入通道3上设置第二压力监测单元62，并通过所述第二压力监测单元62与所述电控系统信号连接，所述第二压力监测单元62对所述电控系统提供监测信息，以在需要时，启动所述辅助冷却系统5。这样不仅可以使所述长晶炉的冷却得到有效保障，而且也能够有效地降低了长晶炉的故障诊断和检修难度。例如，当所述第二压力监测单元62的压力小于设定值时，可以预判主冷却介质供入通道3所提供的冷却介质可能不足。

作为前述实施形式下的优选示例，本申请前述所有实施方式、实施例、可变换的实施方式及可变换的实施例均可进一步选择性地使所述主冷却介质排出通道4上设有第一流量监测单元63，所述主冷却介质供入通道3上设有第二流量监测单元64，所述第一流量监测单元63和所述第二流量监测单元64均与所述电控系统信号连接设置，当所述第一流量监测单元63和所述第二流量监测单元64的差值大于设定范围时，所述电控系统发出故障提示信息。本申请通过在所述主冷却介质排出通道4上设置第一流量监测单元63，在所述主冷却介质进入通道上设置第二流量监测单元64，并使所述第一流量监测单元63和所述第二流量监测单元64均与所述电控系统信号连接，当所述第一流量监测单元63和所述第二流量监测单元64的差值大于设定范围时，所述电控系统发出故障提示信息；这样，也可以预判所述冷却介质入口12和所述冷却介质出口13之间可能存在泄漏问题，进一步判断可能由冷却管1发生破裂造成。

作为前述实施形式下的优选示例，本申请前述所有实施方式、实施例、示例、可变换的实施方式、可变换的实施例及可变换的示例均可进一步选择性地使所述长晶炉还包括泄压单元71，所述冷却介质出口13依次经所述泄压单元71和第一单向开关72与所述主冷却介质排出通道4流路连通，所述冷却介质出口13依次经所述泄压单元71和第二单向开关73与所述散热单元52的介质入口流路连通。在具体实施时，所述泄压单元71可选择性地设为泄压阀，在具体工作中，所述泄压单元71具有冷却介质的导流作用，当所述冷却介质容腔11内的压力大于设定压力值时，所述泄压单元71起到泄压作用。另外，在具体实施时，还可进一步选择性地使所述第一单向开关72和所述第二单向开关73均设为单向阀。本申请通过设置所述泄压单元71，当所述冷却管1内的压力达到泄压单元71的设定压力时，所述泄压单元71处于泄压状态，避免所述冷却介质容腔11内部的压力过高造成的安全事故，进而使所述长晶炉的使用更加安全。

作为本申请的优选，本申请前述所有实施方式、实施例、示例、可变换的实施方式、可变换的实施例及可变换的示例均可进一步选择性地使所述长晶炉还包括冷却介质存储容器81、冷却介质收纳容器82和电控开关74，所述冷却介质存储容器81位于所述冷却管1的上方，所述冷却介质收纳容器82位于所述冷却介质存储容器81的下方，所述冷却介质存储容器81的介质出口与所述冷却介质入口12流路连通，所述冷却介质出口13与所述冷却介质收纳容器82流路连通，所述电控开关74设于所述冷却介质出口13与所述冷却介质收纳容器82之间的流体通道上；所述电控开关74受所述电控系统控制，当所述电控开关74处于断电状态时，所述冷却介质出口13与所述冷却介质收纳容器82处于接通状态，当所述电控开关74处于接电状态时，所述冷却介质出口13与所述冷却介质收纳容器82处于截止状态。在具体实施时，还可进一步选择性地使所述泄压单元71的泄压口711与所述冷却介质存储容器81连通设置。本申请还通过使所述长晶炉包括冷却介质存储容器81、冷却介质收纳容器82和电控开关74，使其与所述冷却管1形成冷却水路，并进一步使所述电控开关74在断电时，接通所述冷却水路，在对其供电时，使所述冷却水路作为备用水路，进而在长晶过程中由于断电导致长晶炉冷却系统不能正常工作时，还能对长晶炉提供冷却。除此之外，本申请通过设置所述冷却介质存储容器81和所述冷却介质收纳容器82，并通过对其进行相关位置的限定，在长晶车间断电的情况，利用重力的作用便可以对长晶炉实施冷却。

作为前述实施形式下的优选，为了达到更好的冷却效果，在具体实施时，本申请还可进一步选择性地使所述冷却介质出口13位于所述冷却管1的上部，所述冷却介质入口12位于所述冷却管1的下部。

作为前述实施形式下的优选，本申请还可进一步选择性地使所述长晶炉还包括预警单元；当所述主冷却介质供入通道3和所述主冷却介质排出通道4的介质流动异常时，所述预警单元发出预警信息；和/或，当所述泵送单元51发生异常时，所述预警单元发出预警信息。需要说明的是，所述泵送单元51发生异常包括泵送单元51不能正常工作，例如泵送单元51的驱动电机断电等导致辅助冷却系统5不能正常工作。本申请通过使所述长晶炉还包括预警单元，当所述主冷却介质供入通道3和所述主冷却介质排出通道4的介质流动异常时，所述预警单元发出预警信息；和/或，当所述泵送单元51发生异常时，所述预警单元发出预警信息；以提醒工作人员对长晶炉进行更有效、更具有针对性的监测，继而能够有效地避免安全事故的发生。

需要说明的是，本申请在具体实施时，还可根据实际的需要，在必要的位置设置必要的部件，例如为了可以控制冷却介质的流动方向，避免回流等问题，可根据实际需要，在相关的流道上设置单向阀。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种长晶炉，其特征在于，

包括冷却管，所述冷却管包括冷却介质容腔；所述冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；

所述长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，所述辅助冷却系统的介质出口与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；所述辅助冷却系统受所述电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道和/或所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述辅助冷却系统对所述冷却介质容腔提供冷却介质。

2.根据权利要求1所述长晶炉，其特征在于，

所述辅助冷却系统包括泵送单元和散热单元，所述散热单元的介质出口经所述泵送单元与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述散热单元的介质入口流路连通设置，所述泵送单元受所述电控系统控制。

3.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，

所述主冷却介质排出通道上设有第一压力监测单元，所述第一压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元的压力大于或小于设置值时，所述第一压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动冷却模式，以对所述冷却介质容腔提供冷却介质。

4.根据权利要求3所述长晶炉，其特征在于，

所述主冷却介质供入通道上设有第二压力监测单元，所述第二压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第二压力监测单元的压力小于设置值时，所述第二压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动所述冷却模式。

5.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，

所述主冷却介质排出通道上设有第一流量监测单元，所述主冷却介质供入通道上设有第二流量监测单元，所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元均与所述电控系统信号连接设置，当所述第一流量监测单元和所述第二流量监测单元的差值大于设定范围时，所述电控系统发出故障提示信息。

6.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，

所述长晶炉还包括泄压单元，所述冷却介质出口依次经所述泄压单元和第一单向开关与所述主冷却介质排出通道流路连通，所述冷却介质出口依次经所述泄压单元和第二单向开关与所述散热单元的介质入口流路连通。

7.根据权利要求6所述长晶炉，其特征在于，

所述长晶炉还包括冷却介质存储容器、冷却介质收纳容器和电控开关，所述冷却介质存储容器位于所述冷却管的上方，所述冷却介质收纳容器位于所述冷却介质存储容器的下方，所述冷却介质存储容器的介质出口与所述冷却介质入口流路连通，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器流路连通，所述电控开关设于所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器之间的流体通道上；

所述电控开关受所述电控系统控制，当所述电控开关处于断电状态时，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器处于接通状态，当所述电控开关处于接电状态时，所述冷却介质出口与所述冷却介质收纳容器处于截止状态。

8.根据权利要求7所述长晶炉，其特征在于，

在包含所述泄压单元的结构中，所述泄压单元的泄压口与所述冷却介质存储容器连通设置。

9.根据权利要求1至6中任一项所述长晶炉，其特征在于，

所述冷却介质出口位于所述冷却管的上部，所述冷却介质入口位于所述冷却管的下部。

10.根据权利要求2至6中任一项所述长晶炉，其特征在于，

所述长晶炉还包括预警单元；

当所述主冷却介质供入通道和所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述预警单元发出预警信息；和/或，

当所述泵送单元发生异常时，所述预警单元发出预警信息。

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