CN214881795U - 蒸镀坩埚及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。

Description

蒸镀坩埚及蒸镀装置

技术领域

本申请涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

背景技术

在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材上。

目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上呈锥状扩散逸出，以对基材进行蒸镀。

但是，现有技术中蒸镀坩埚在使用时存在着一定的问题，例如，圆桶状的蒸镀坩埚的蒸镀角相对较小，影响蒸镀效率；当需要采用几种不同的蒸镀材料同时蒸镀时，只能同时放入蒸镀坩埚的容腔一同加热，由于不同的蒸镀材料的熔点不同，这样便会导致不同的蒸镀材料被加热蒸镀时消耗的速率不同，也就影响了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。

因此，市面上亟需一种既有较大蒸镀角，又能够以相同的蒸镀消耗速率来同时加热不同蒸镀材料的蒸镀设备。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置不能以相同的蒸镀消耗速率来同时加热不同蒸镀材料的问题。

本申请提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；

所述坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个所述容腔的顶部开设有开口；

所述加热装置设置于所述坩埚本体外部，能够分别加热各个所述容腔；

其中，所述容腔共用一个所述开口。

当使用该蒸镀坩埚对不同种类的蒸镀材料进行加热时，可以将不同的种类的蒸镀材料分别对应放入不同的坩埚本体的不同容腔中，然后根据不同蒸镀材料的熔点高低适应性调节加热装置的加热功率，这样加热装置便能够以适当的加热功率分别加热各个容腔，从而使不同种类的蒸镀材料都能够以相同受热消耗速率来对基材进行蒸镀。而且由于坩埚本体的多个容腔共用一个开口，这样不同容腔中不同种类的蒸镀材料受热后变为气态可以在开口进行混合，从而使不同种类的蒸镀材料可以较为均匀的同时蒸镀到基材上。

因此，与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材5进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。

在一种可能的设计中，多个所述容腔关于所述坩埚本体竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。

这样坩埚本体重心可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔个数设置三个及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便可以稳定放置到工作台面上，具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。

在一种可能的设计中，多个所述容腔中，每两个所述容腔对应设置成一组；

每组中的两个所述容腔关于所述坩埚本体竖直方向的中轴线对称设置。

这样坩埚本体重心同样可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔组数设置两组及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便也可以稳定放置到工作台面上，同样具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。

在一种可能的设计中，各个所述容腔分别与所述坩埚本体竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。

这样各个容腔中的蒸镀材料被加热到气态时，都能够较为顺畅的流动逸散到开口，避免气化的蒸镀材料在容腔中积聚冷却；除此之外，各个容腔中气化的蒸镀材料可以在靠近开口处可以交汇混合，并能够通过开口倾斜向上喷出，与传统腔口竖直设置的蒸镀坩埚相比，该蒸镀坩埚能够具有更大的蒸镀角，能够更高效率的对基材进行蒸镀。

在一种可能的设计中，各个所述容腔分别与所述坩埚本体竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。

这样当多个容腔同时通过开口倾斜向上喷出气化的蒸镀材料时，便可以形成一个较为规整的圆锥状的蒸镀区域，从而使各种不同种类的蒸镀材料都能够在圆锥状蒸镀区域中充分混合，并均匀地蒸镀到基材上。

在一种可能的设计中，所述夹角θ满足：15°≤θ≤75°。

将夹角θ具体限定在15°～75°之间，这样一方面可以避免夹角θ过小导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较狭小的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较宽泛的问题。

在一种可能的设计中，所述蒸镀坩埚还包括外壳；

所述外壳间隔套设于所述坩埚本体的外部，并与所述坩埚本体共同围成用于安装所述加热装置的安装空间。

这样坩埚本体与外壳之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体外周壁的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。

在一种可能的设计中，所述加热装置对应设置于所述坩埚本体围成所述容腔的外周壁；

所述加热装置包括第一加热部和第二加热部；

其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述开口的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述容腔的底部周壁处。

这样坩埚本体靠近开口外周壁的部位也能够被加热装置进行加热，从而可以避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处出现冷却沉积的现象。

另外，本申请还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，所述电源与所述加热装置电连接。

该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。

在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件；

所述固定件能够将基材固定设置所述开口的正上方，且能够带动所述基材沿水平方向转动。

通过设置上的固定件，可以实现将基材稳定连接以及在蒸镀过程中带动基材沿水平方向稳定转动的优点。

本申请实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的纵向剖视图；

图2为本申请实施例提供的蒸镀装置的纵向剖视图。

附图标记：

1-坩埚本体；

11-容腔；

12-开口；

2-加热装置；

3-外壳；

4-固定件；

5-基材。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

下面根据本申请实施例提供的蒸镀坩埚及的蒸镀装置结构，对其具体实施例进行说明。

如图1所示，本申请实施例提供了一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚本体1和加热装置2；坩埚本体1具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔11，且每个容腔11的顶部开设有开口12；加热装置2设置于坩埚本体1外部，能够分别加热各个容腔11；其中，容腔11共用一个开口12。

当使用该蒸镀坩埚对不同种类的蒸镀材料进行加热时，可以将不同的种类的蒸镀材料分别对应放入不同的坩埚本体1的不同容腔11中，然后根据不同蒸镀材料的熔点高低适应性调节加热装置2的加热功率，这样加热装置2便能够以适当的加热功率分别加热各个容腔11，从而使不同种类的蒸镀材料都能够以相同受热消耗速率来对基材5进行蒸镀。而且，由于坩埚本体1的多个容腔11共用一个开口12，这样不同容腔11中不同种类的蒸镀材料受热后变为气态可以在开口12进行混合，从而使不同种类的蒸镀材料可以较为均匀的同时蒸镀到基材5上。

因此，与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材5进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。

本实施的可选方案中，多个容腔11关于坩埚本体1竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。

容腔11个数具体可以根据实际的蒸镀情况选取设置，例如在坩埚本体1中设置两个、三个、四个、五个等容腔11，而且将多个容腔11关于坩埚本体1竖直方向的中轴线呈环形阵列设置，这样坩埚本体1重心可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔11个数设置三个及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便可以稳定放置到工作台面上。

上述容腔11的具体设置方式，具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。

本实施的可选方案中，多个容腔11中，每两个容腔11对应设置成一组；每组中的两个容腔11关于坩埚本体1竖直方向的中轴线对称设置。

此时坩埚本体1中容腔11的个数应设置为偶数，例如两个、四个、六个、八个等，将两个容腔11对应设置成一组，且每组中的两个容腔11关于坩埚本体1竖直方向的中轴线对称设置，这样坩埚本体1重心同样可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔11组数设置两组及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便也可以稳定放置到工作台面上。

上述容腔11的具体设置方式，同样具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。

本实施的可选方案中，各个容腔11分别与坩埚本体1竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。

具体的，如图1所述，容腔11可以具体设置成直筒状，将容腔11分别与坩埚本体1竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置，这样各个容腔11中的蒸镀材料被加热到气态时，都能够较为顺畅的流动逸散到开口12，避免气化的蒸镀材料在容腔11中积聚冷却。

除此之外，各个容腔11中气化的蒸镀材料可以在靠近开口12处可以交汇混合，并能够通过开口12倾斜向上喷出，与传统腔口竖直设置的蒸镀坩埚相比，该蒸镀坩埚能够具有更大的蒸镀角，能够更高效率的对基材5进行蒸镀。

本实施的可选方案中，各个容腔11分别与坩埚本体1竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。

具体的，如图1所述，将各个容腔11与坩埚本体1竖直方向的中轴线倾斜形成夹角θ的设置成大小相同，这样多个容腔11同时通过开口12倾斜向上喷出气化的蒸镀材料时，便可以形成一个较为规整的圆锥状的蒸镀区域，从而使各种不同种类的蒸镀材料都能够在圆锥状蒸镀区域中充分混合，并均匀地蒸镀到基材5上。

本实施的可选方案中，夹角θ满足：15°≤θ≤75°。

夹角θ具体可以但不限于为15°、30°、45°、60°、75°，这样一方面可以避免夹角θ过小导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较狭小的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较宽泛的问题，因此将夹角θ具体限定在15°～75°之间。

本实施的可选方案中，蒸镀坩埚还包括外壳3；外壳3间隔套设于坩埚本体1的外部，并与坩埚本体1共同围成用于安装加热装置2的安装空间。

具体的，如图1所示，将外壳3间隔套设于坩埚本体1的外部，这样坩埚本体1与外壳3之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体1外周壁的加热装置2加热时，外壳3能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置2的加热效率。

而且，还可以在外壳3的内周壁设置光滑的反热涂层，以将加热装置2向外发出的热辐射更好的反射回坩埚本体1。

本实施的可选方案中，加热装置2对应设置于坩埚本体1围成容腔11的外周壁；加热装置2包括第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部设置于坩埚本体1的靠近开口12的外周壁处，第二加热部设置于坩埚本体1的靠近容腔11的底部周壁处。

第一加热部、第二加热部可以采用不同的供电系统，也可以采用相同的供电系统，而且第一加热部的加热功率可以具体设置成略大于第二加热部的加热功率，这样坩埚本体1靠近开口12外周壁的温度会略高于坩埚本体1底部外周壁的温度，从而可以避免蒸镀材料在坩埚本体1的开口12出现冷却沉积的现象。

另外，本申请实施例还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，电源与加热装置2电连接。

具体的，如图2所示，该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。

本实施的可选方案中，蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件4；固定件4能够将基材固定设置开口12的正上方，且能够带动基材沿水平方向转动。

具体的，如图2所示，上述的固定件4具体可以但不限于设置成“驱动电机+真空吸盘”的方式，通过真空吸附基材5的非蒸镀侧面的方式与基材5的连接固定，通过驱动电机带动真空吸盘绕电机转轴转动的方式实现带动基材沿水平方向转动。

通过设置上的固定件4，可以实现将基材稳定连接以及在蒸镀过程中带动基材沿水平方向稳定转动的优点。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：

坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔(11)，且每个所述容腔(11)的顶部开设有开口(12)；

加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)外部，能够分别加热各个所述容腔(11)；

其中，所述容腔(11)共用一个所述开口(12)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。

3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)中，每两个所述容腔(11)对应设置成一组；

每组中的两个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线对称设置。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。

5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。

6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述夹角θ满足：15°≤θ≤75°。

7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括外壳(3)；

所述外壳(3)间隔套设于所述坩埚本体(1)的外部，并与所述坩埚本体(1)共同围成用于安装所述加热装置(2)的安装空间。

8.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置(2)对应设置于所述坩埚本体(1)围成所述容腔(11)的外周壁；

所述加热装置(2)包括第一加热部和第二加热部；

其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述开口(12)的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述容腔(11)的底部周壁处。

9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括电源和权利要求1～8中任一项所述的蒸镀坩埚；

其中，所述电源与所述加热装置(2)电连接。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件(4)；

所述固定件(4)能够将基材固定设置所述开口(12)的正上方，且能够带动所述基材沿水平方向转动。

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